Данилин Б.С. - Вакуумное нанесение тонких плёнок (1051250), страница 57
Текст из файла (страница 57)
Н ап|1 3 е11е г 1. Р, Оаь АЬяогрЬоп Ьу Часиит Ечарога1еб Манне!|с Гг!гпь, 1959, Часишп Ьутроыи|т| ТгапьасЬопь 98 !4аияеЬацег С А ап|! Ейча1! Р А, Чарогбероы1еб 5ирегсопбис1|че Г|1|пь о1 ЫЬ, Та апб Ч, Зоигп о1 Аррйеб РЬ1ысь, Мзгсй 1964, ч 35, № 3, р 347 — 553 99 Маг с Ь,г п |1 1 Г апб Ч си с та Л, Ыо1е о1 5||регсопбпсЬпб Та Г|1|пь, РЫП|рь Реь Керйь 1959, ч 14, р 427 — 429 100 О егь1еп Ь ег 3 Тг аиб Н а11 Р М, Зирегсопбисйпя ТЬ|п Гйпз о! Нгобгшп, Тап1а!ит, Тац1а1ип| Нг!пбе, Тап1а1ит Са|Ьгбе апг! 308 №оЬвт Н|1г!Пе, Зоигп Е!ес1госйе|п Зос, Аидиь1 1964, ч П1, № 8, р 936 †9 101 С а ыч е! 1 Н о! 1 | ь Ь, 1)Ига.Н|8Ь Часишп Ечарога1огь апб Реыдиа1 Оаь Апа1уыз, РЬуыся о1 ТЬгп Г|1ть, Лсабетгс Ргеьы Не|ч Чогй апд Ьопбоп, !964 |102 5 ц11| ч а п Р Г, Р е1!е я г | п О, ТЫп Г|1гп Ечарогс1огь — ТЬе 51а1е о! Гпе Аг1, 5СР апб Зо1|б 51а1е Тесйпо1о8у, 1965, ч 8 Лг 12 103 Ьа Гог1е 1 Т, Часиит Ьеай Ое1ес1|оп, ЗСР апб Зойб 51а1е Тесйпо!оду, 1965, ч 8, № !2 104 ТЫп Гйт Мгсгое!ес1гопгсь, ебйеб Ьу 1.
НоПапй СЬаггпап апб НаП, Еопбоп, 1965 105 Ко| и Ь а г б О!а п 8, Ма1епаВ апб Ргосеььеь 1ог Раьыхе ТЫп Г|1т СотропспЬЬ ТЬе Зонги о1 Часиит Зс|епсе апд Тесйпо1ону, 1966, ч 3, № 2 106 Лто|нпоп Ю, 1лтг1еь ас1иеПеы1еь бгьроы1|1ь бе ргобис1|оп беь Ьаьеь ргеьыопь, 1.е Ч№е, 1966, № 121 107 Сгатч1еу В 3, Сьегпа1оп у Ь, Ведаыпд СЬагас1епьЬсь о1 5оте «О» Ргпд Ма1епаЬЬ Часишп, 1964, ч 14, № ! 108 М чоп Агбейпе, КоЬ1 Н, 1 огепк Е, Еп1иг|сЫипя, АияГийгипя ипб Ве1пеЬь»ег1шИеп е|псг пеиеп 1опеп-?егь1аг|Ьегри|пре го1а1|опьзупипе1пьсйег Ваиаг1, Чазшипгсесйпгй, 1966, Вб 15, № 1, 5 8 — г!4 109 Ап бега оп О, А 5иттагу о1 ТЬ|п Г|1т Персы!гоп Тесйпгйиеь, ЗСР апб Зо!|б 51а1е Тесйпо!о8у, 1966, ч 9, № 12 110 Р е | с Ь е11 ТЧ, РгоЫете Ье| бег Негь1еПипн бг|ппег Зс1исйеп, Чайиит1ссйпй, 1966, № 1 111 14|сйегь ЗоЬп %, Моьеьоп Робсг, 1опспр1аьп|аксгь1аиЬипя, Чайиит1есйпгй, 1965, Л" 6 !12 Л!оч|сс М А, 51геььеып Ечарога1сб ВП|соп Мопохгбе Г|!гпь, Часиит, 1964, ч 14, № 10 !!3 К|сне! О, тУи1« М, С|не Кгуоригпре !иг Ве1г|еЬь1ет.
рсгарцгеп ип1егйа1Ъ 4,2' К пи1 ьейг нег|пнет Кг|Ыт|11е!чегбгаисй, Чайиит1есйпй, 1966, № 2 114 Аверина А П, Линник Л Н, Никвтип Г Т, Масс спектрометры для измерения парциальных давлений в вакуумных системах, ПТЭ, 1965, ЛЪ 4 1!5 Мартинсон Е Н, Плевен Б И, Путягин Ю Т, Цеолитовые вакуумные агрегаты непрерывного действия для безмасляной откачки, ПТЭ, 1965, № 4 1!6 Д э ш и а н С, Научные основы вакуумной техники, взд во «Мир», 1964 117 Современвая вакуумная техника, Сборник статей под обшей редакцией Н В Черепнина, Изд.во иностранной литературы, 1963 118 Пипко А И, Плнсковскнй В Я, Пенчко Е А, Оборудование для откачки вакуумных приборов, изд во «Энергия», !965 1!9 Б а с а л а е в а Н Я, ЖТФ, 1958, т 28, № 5 120 г!е реп ни н Н В, Вакуумные свойства материалов для электронных приборов, изд во «Советское радио», 1966 121 Тонкие магнитные пленки, перевод с английского и немецкого под редакцией В М Глушкова и Л В Киренского, Киев, Госиздат технической литературы УССР, 1963, !22.
Сор о к и ц М. М., Высокозаьуумные паромасляные насо- сы с улучшенными характернстикалси, ПТЭ, 1965, № 6. 123. Б . Б а р ы шева Н. М., Высоковакуумные ловуцжн к паро- масляным диффузионным насосам, ПТЭ, 1965, № 6. !24. Б у л ы г а Л. В., Полупроводниковые теплоэлектрцческне вакуумметры, изд-во «Энергия», 1966. 125, 1965. 1 5, М е н х Г. Х., Техника высокого вакуума, цзд-во «Энергия», !26.
Волосов В. И, Забродов А. Л., Пальчиков В. Е., Уел ьни к Ф. Л., Использование полифенилового эфира в паро- масляном васосе Н|С2, ПТЭ, 1966, № 6. !27. Л. . Ллашкевнч М. Л., Миримаиоза В. И,, Получение вакуума !О-» тор пароструйными насосами с полнфеннловым эфи- ром без вымораживающих ловушек, ПТЭ, 1966, № б. !29. П 128. П и п к о Л, И., Вакуумная задвигсска, П'1'Э, 1965, № 3. ипко Л, И., Плисковский В.
П» Устройство для передачи движения в вакуум, ПТЭ, 1965», № 6. 130. В а с и л ь е в Г. А., Эффективная быстрота откачки алек. троразрядного насоса, ПТЭ, 1965, Лй 1. 131. А . Арефьев А. В., Уплотнение нндисм разъемных соедине- ний гверхвысоковакуумных систем, ПТЭ, !966, № 4. 132. Кр у с спер Б. В., Кузнецов Г. П., Мел коня н А. Л., ПТЭ, 1966, № 3.
Ловушка для вакуумных установок с паромаслянымн насосаыи, 133. Ми и . Мир исоа Н. 3., Установка для получения ферромагнит- ных пленок испарением в высоком вакууме, ПТЭ, 1965, № 5. 134. . Сорокин М. М., Барышева Н. М., Получение сверх- высокого вакуума с помощью паромасляных диффузионных насо- сов, Известия АН СССР, серия физическая, 1966,, ЗО, № !.
! ,т., » П сто 35. Б у т у з о в С С., К о н я е в В. П., М а с л е н н и Е А„ ков у о войт Ю. М., Получение сверхвысокого вакуума на уста- новке Огра-!, ЖТФ, 1966, т. Зб, Н 2. ! 36. . Виноградов М. И„Рудницкий Е, М,, Триодный магниторазрядный насос с охлаждаемыми электродами, ПТЭ, 1966, 137. Пал . Пал а т н и к Л, С, Структура и свойства конденсирован- ных пленок, сб.
«Структура и свойства металлических пленок», изд-во «Наукова Думка», Кнсв, 1966. 138. Ойагпо1о Н, апб Мига1сашс У., Л песч 1урс о| йПи- Лй 2. яоп рцпср Ьойег 1ог ссИга-Ыдй часцшп цье, Насцшп, '967, . !7, 1, ч. 139. Ве|1 Р. И., Моогс Е. Г. апб !Нуг|с1с А 3, ЯагИпй ьриИег-!оп рцшрь апб |йе оц1йаьь!пй о1 сче! шебИ ьиг1асеь, На- сицгп, 1967, ч. 17, № 2. 140. . Р е с с Ь е|1 %., РгоЫегпе Ье| бег НегйеИцпй Ойппег ЯсЫс|ь 1еп, На!сииш1есйпйи !966, № 1. 141. Ь ! о у б Р., ЕПес1 о| ечарогаИоп ргсь«иге оп |Ье геяь!апсе о| а|шп|пшсп |Ипсь, ВгИ.
й Лрр|. РЬуь, 1964, ч. 15. 142. Я 1 е с 1с е 1 ш а с Ь е г ТН., Е и й 11 ь Ь 3, В а 1 Ь Н. Н Н а у- п е ь О., Н о| д е и 1. Т„Н а! 1 а и б Ь, Оероьйюп апб Мопйог|пй Аррага1из 1ог Ргераппн Раьь1че М|сго-Ссгсшби ЯСР апб ЯоИВ Яа1е ТесЬпо|ойу, 1965, ч. 8, № 1. 143. Ка з ц о Наш а н|ьЫ, Насцисп берояИоп Ьу шеапз о| Е|ес1гоп Велш, Гсгй !п1егпаИопа| Соп1егепсе оп ЬИес1гоп апд 1оп Велш, Яссепсе ассб Тесйпо!ону, Гзй Ьу ГЬ Вайьй, !.опбоп, |965, 310 144. Нсгеачег С., Ягцс1цгс апб ргорегИеь о1 йс!сс1пс Ишы, Насцшп, 1965, ч.
15, № 4. 145. Ь ц с а ь Т. Е., Ргорегбез о1 ЫОЬ часшип рипсрз, Насиипт, 1965, ч. !5, № 5. 146. М он п1ч а|а А. 3 апб АЬосч|1з О., Тех|ига! сйагас1е. гВИсь апб е|ес1пса| ргорегИсь о1 ласииш счарога1еб яИсоп |Ипж, Нзсциш, 1965, ч. !5, № 7. 147. МсСга сйеп О. М., ТЬе рег1оппапсе о1 а Ь!нЬ ьрееб Ое||ег ршпр ссь!пн а соо!еб |Иашшп !Игл, Насишп, 1965, ч. 15, № 9. 148, 1п!енса|ей с|гсшбн Ось!йп рппс1р!ез апб РаЬг!са!!оп, Ма|ого!а, |пс, Лссч Уог1с, МсОгасч-НИЬ 1965 149. 1п1снгз1еб с|гсш1ь Епйшеег!пй3 Вайс Тесйпо1ону, 1п1енга1еб С|гсш1 Епб|пеег!пн СогрогаИоп, СаспЬг!бне, Вопил Тесйп|са| РцЬИьйегь, !966.
150. М|сго апб ТЫп.ГИгп Е1ес|гопкз; Иеаб1пнь, ей1еб Ьу Ьейпе, Я. Н. Хесч Уогй, НоИ, И|пейаг! апб ТН1пь!оп, 1964. 151. Нсг!11! а и ЛЬ Низа, Абчапсеь Ы Ярц|!ег!пн Ейц!ршеп1 Тес!спи!сну, ЯСР апс| Яойс1 51а1е Тесйпо1ону, 1965, ч. 9, № 12. 152. 51е|п Ь е га Н. А. апб Н а Ь! а и|а п М.
Н., Н|йЬ Насииш Яуь1егпз 1ог Т!пп Рйш ЛррйсаИоп, ЯСР апс! Яойй 51а1е Тес|!по. 1ойу, 1966, ч. 9, № 12. 153. М а р! е Т. О., !п1ейга1еб С1гсиИ Маьй ГаЪпсаИоп, ЯСР апб Яойб Яа1е Тесйпо!ону, 1966, ч. 9, № 8. 154. То|ш|е Е. О., ТЬе шаьь ьрес1госгарЫс апа1уяз о1 а гсь!бца! а1споьрЬеге аЪоче яйсоп 705 |п а 6-!по|с рцшр, Насицгп, 1965„ч. !5, № 1О. !55. Я Ь е г а 1о и %. Л., Соп1апипабоп |п ьриИег 1оп ршпреб ьуь1сгпь, Насишп, 1965, ч. 15, Лй 12. !56. ТЬогп1оп С. О., Ыесч Тгепбэ |п М!сгое!ес1гопкь РаЬ- псаИоп Тесйпо1о у, ЯСР апб Яо|Ы Яа1е Тесйпо|ойу, !966, ч.
9, № 3. 157. Роз 8 оп у с О. А, Р о| с 1 о !Н. 1, Я с Ь ш з ге В, О!1гаЬ!нЬ часципс ь1айоп 1ог |Ь!пбйш апб геь№ца! Оаз апа!уь!ь, ь1цйеь, Насшпп, 1966, ч. 16, № 3. 158. Но11апб 1., 1.ацгепьоп 1., Рц|йег М. 3., ТЬе Насишп рег1оппапсе о1 а сопсЫпеб гайа| е!ес1пс Пе!б ршпр апб Реип1пн рцшр, Насишп, 1966, ч. 16, № 12. 159. О о и н| а ь И. А., 2 а Ь г! 1 ь 1с с й апб Н е г Ь И.
О., ОгЬс1. гоп Насиигп Ршпр, И. Я. 1., 1965, ч. 36, № 1. 160. С ь е гп а1оп у Ь, ТЬе ргорег1|еь о1 НИоп «А» е|аь1ошегз, р1. 1, 11, Н| апб |Н, Насишп, 1966, ч. 16, № 1, 3, 5, 8. ! 61. М а г 1с 1 и п б !., О а и! е1 ь о п Н., Иеь!бца| наь апа1уяь |п а часицгп ечарога1ог, Насццгп, 1966, ч. 16, № 7. 162. В а п с е Н. И., С г з |н И. О., Яоспе сйагас1епь!!сь о| 1гю«1е 1оп рцгпрь, Насццсп, !965, ч. 16, Лй 12. 163.
О ач1бье Р. О., ТЬеогу асй ргасИсе о1 ИГ ьрц11еппй, Насицпс, 1967, ч. 17, № 3. 164. Я ее ш а и Л. М., В|аь ьри!|еппн. |Ы 1есйп|йцеь апб аррйсаИопь, Насишп, 1967, ч. 17, № 3. 165. Мс с Ь а 11с Е. М., Ьочг епегну ьрц11сг|пн о1 геь!ь|!че И1псь, Насцшп, 1967, ч. 17, № б. 166. Н а!1 й Н., Яоше аррИсаИопь о1 1побе зри!!ег!пн |о !п|ерга1еб с|гсшбн Насишп, 1967, ч. !7, 5, № 5. 311 ОГЛАВЛЕНИЕ 12 20 23 27 32 136 154 154 Предисловие 3 Г л а в а п е р в а я. Получение и применение тонких пленок 7 1-1.
Термическое испарение в вакууме . . . . ' 7 1-2. Обработка пленок с помощью электронных а ионных пучков и оптических квантовых генераторов 1-3. Кагодное распыление 1-4. Ионна-плазменное распыление 1-5. Осаждение пленок из паровой и газовой фаз 1-6. Тонкопленочные микросхемы 1-7. Тонкие пленки в технике СВь!, оптике и запоминаяэщих устройствах Гл а в а в т о р а я.
Получение и измерение вануума 2-1. Требования к вакууму и составу остаточной среды при напылении тонких пленок . . . . 77 2-2. Откачные средства . . . . . . . . 35 2 3. Приборы для измерения вакуума и парцнальных давлений Гл а в а т р е т ь я. Вакуумное иапылительное оборудование 3.1. Вакуумные конструкционные материалы 3-2. Конструкционные элементы вакуумных напылительных установок .
. . . . . . . , 170 3-3. Испарители...,, . „. „., 214 3-4. Контроль скорости напыления и толщвны тонких плевок . . . , . . . . . . . . 243 3-5. Вакуумные напылительные установки и линии . 267 Литература . . . . . . . . . , . 304 .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
