Данилин Б.С. - Вакуумное нанесение тонких плёнок (1051250), страница 56
Текст из файла (страница 56)
Новый метод металлографического исследования сплавов. Этюды металлографии конденсированных систем, Гостехиздат, 1944. 2. Палатиик Л. С., Папнров Н Пе Ориентированная кристаллизация, изд-во «Металлургия», 1964. 3. Ю г о в В. А., Тонкие пленки и ях применение в радиоиэмерительиой технике, Изд-во государственного комитета стандартов, мер и измерительных приборов СССР, !964. 4. Слуцкая В. В., Тонкие пяснки в технике сверхвысоких частот, Госэнергоиздат, 1962. 5. Б еле в цен А.
Т., Мнкроминнатюризация радиозлектрон. ной аппаратуры, изд-во «Энергия», 19бо. б. Холла нд Л„Нанесение тонких пленок в вакууме, Госэнергоиздат, 1963. 7. Тонкие ферромагнитные пленки, перевод с немецкого под редакцией Р. В. Телесннна, нзд-во «Мир», 1964. 8. Палатник Л. С., Коллпнк Ю. Ф., О кинетике конденсации металлов в вакууме, ДАН, !959, т. 126, Л 1. 9.
Палатник Л. С, н Конник Ю. Ф., О механизме кон. денсацни металлов в вакууме, Рост кристаллов, Изд-во АН СССР, 1961. 10. Пал ат пик Л. С. и Гладких Н. И., Об условиах конденсацив во второй (нижней) граничной области температур, ЖТФ, 1962, т. 4, № 2. 11. Палатник Л. С., Гладких Н, Ф., О механизме конденсацин сплавов, ДАН СССР, 1961, т. 140, № б, 304 12. Бережной А. И., Светочувствительные стекла и стеклокристалляческие материалы типа «пнрокерам», ВИНИТИ АН СССР, 1966. 13. «Стекло и керамика», !959, № 5, стр. 48 — 49, Рй Бережной А, И., Ситаллы и фотоситаллы, изд-во сМашиностроение», 1966.
15, Егоров В. В., Оптические и щуповые приборы для определения шероховатости воверхности,Машгиз, !961. 16. Т р е яд елен бур г Э., Сверхвысокий вакуум, изд-во «Мир» 1966. 17. Б а д л е в с к и и Ю. Н., Ш а р у и е н к о !1. 81, Физические методы измерения толщины тонких пленок. Передовой научно-технический и производственный опыт, тема 14, вып. 2, 1962. 18. Денисов Ф.
П., Активационный метод йзмерения толщнн тонких пленок и фольг, «Приборы и техника эксперимента», 1963, №е !. 19. Плаксин И. Н., Беликов М. А., Старчик Л. П., Измерение толщины фольги п пленок при помощи ядерной реакции, ПТЭ, 1963, № 5. 20. Д у р а с о в а Ю, А., Р ы б а к Е. Н., Установка для измерения толщаны тонких пленок, ПТЭ, 1963, № 1. 21. Л обои С.
Н., Цу кер ма н В, А., Измерение толщвн фольг и пленок прн помощи мягкого рентгеновского излучения, ПТЭ, !963, № 4. 22. Заславский Ю. А., Шор Г. И., Стукни А. Д., Стуки и Е. Д., Измерение толщины покрытий путем регистрации рассеянного бетаизлучеияя, ПТЭ, 1963, № 1. 23. Перевертаев В. Д., Куприянов В. П., Мец и к М. С., Фотоэлектронная установка для измерения толщины тонких пленок, ПТЭ, 1963, № 3. 24.
Аки шин А. И., Зазулин В. С., Контроль толщины пленок, полученных в вакууме, кварцевым резонатором, ПТЭ, 1963, № 1. 25. Виноградов М И., Р>дницкнй Е. Мп Триодиый магииторазрядиыи насос с охлаждаемыми электродами, ПТЭ, 1966, № 2. 26. Меньшиков М. И, Развитие техники получения вануума, ПТЭ, 1959, № 4. 27. Векшииский С.
А., Меньшиков М. И, Рабин о в и ч И С., Высоковакуумные насосы и агрегаты, «Электроника», 1958, №т 12. 28. Д а и и л и н Б. С., Вакуумные насосы и агрегаты, Госэнергоиздат, 1957. 29. Кузнецов В. И., Механические вакуумные насосы, Госзпергоиздат, 1959. ЗО. Кузнецов В. И., Механические насосы, Сборник «Вакуумная металлургия»,Металлургнздат, 1962. 31. Мнриманова В. И., Алешкевич М. Л,, Новости нефтяной и газовой техники, серна «Нефтепереработка и нефтехимия», 1962, № б, стр. 24 — 26.
32. Назаров А С., Ивановский Г, Ф., Кузнец о в М. В., Геттерно-ионные насосы с прямонакальными испарителямн титана, ПТЭ, 1966, № 2. ЗЗ, Назаров А. С., Ивановский Г. Ф., Меньшиков М. М., Геттерно-нониьй нзсос с прямонакальнымн испарнтелямн титана и хрома, ПТЭ, !963, № 5. 305 34 Масленников Е А Некрасов А Н Пусто. войт Ю. М., Некоторые вопросы получения и поддержания дап. лений ниже 1.10-« тор в больших металлических сосудах, ПТЭ, 1963, № 5. 35.
М а р т и н с о н Е. И., Получение сверхнизких давлений в стеклянных установках сорбцией газов напыленными пленками титана, ПТЭ, 1960, № 3. 36. Гр ишаев И. А., Терехов Б. А., Мякушко Л. К., Ф у р с о в Г. Л., Лве конструкцнп татанового ионна-сорбционного насоса, НТЭ, 1960, ЛЪ 3. 37. Сорбцнонные процессы в вакууме, Атомиздат, 1966 38. Карпов Ю. А., Контор Е.
И., Таленский О. Н., Л!зенитные злектроразрлдные насосы с холодными катодами, ПТЭ, 1964, № 2. 39. Л а за ре в Б. Г., федорова М. Ф., Вакуумный адсорб. ционный насос, ЖТФ, 1959, т. 29, вып. 7. 40. Л аз а рея Б. Г., Феда ров а М. ф., Вакуумный адсорбцпонный насос больша!г производительности, ЖТФ, 1960, т. ЗО, вып.
7. 41. Л аз а р е в Б. Г., федоров а М. Ф., Высаковакуумный адсорбцноиный насос длл откачки водорода, ЖТФ, 1961, т. 31, вып. 7. 42. Шумский К. П., Вакуумные конденсаторы химического машиностроения, Машгиз, 1961. 43. 1»удив цк и й Е. М., С ел л х Г. С., Высоковакуумный агрегат безмасляной откачки с магнитным электроразрядным наса. сом, ПТЭ, 1963, № 6. 44. Лмитриев А.
Ь., Левеи-Фишер Н. П., Система централизованной откачки вакуумных установок, ПТЭ, 1961, № 45. Б р о д с к и й С, И., 3 а й д е л ь И. Н., Х а с к о в и ч Л. Л., Промышленная схема группового включения ваиуумиых установок в систему централизованного форвакуума, Сборник «Электровакуумная техника», вып. 34, 1964. 46. Ц е й тли н А. Б., Пароструйные вакуумные насосы, изд-во «Энергия», 1965. 47.
Ц ей тл и н А. Б., Пароструйные вакуумные насосы, Сбор. ник «Вакуумная металлургия», Мегаллургнздат, 1962. 48. М а л ко в М. П. н др., Справочник по физико-техническим основам глубокого охлаждения, Госэнергоиздат, 1963. 49. М н н д и н Г. Р., Электронагревательные трубчатые элементы, Госэнергоиздат, 1960. 50. В и в о г р адов М.
И., Техника испарения металлов в вакууме, ПТЭ, 1960, № 4. 51. Ф еда р он а М. Ф., Изотермы адсорбции газов на угле БАУ прн низких температурах в области давлений 1О-» — 10-» мм рт. сг., ЖТФ, 1963, т. 37, № 5. 52. Х а в к и н Л. П., Об измерении давления разли пзых газов термопарным манометром, ЖТФ, 1955, т. 25, № 4. 53. Х а в к и н Л. П., Измезаение термопарным манометром давлений воздуха в диапазоне 10- — 1О-' мм рт. сг., ПТЭ, 1956, № 3. 64.
Биршерт А. А., Инерционность теплоэлектрических маномстрических преобразователей, ПТЭ, 1965, ЛЪ 5. 55. Пе ил к о Е. А., Воздухостойкий нонязационный манометр, ПТЭ, 1961, № 1. 56. Пенчко Е.А.,Рафельсон А.Э.,Цымберов М.Я., 306 № !. Ионизационный манометр на диапазон 1 — 1.10-', ПТЭ, !964, — тор, 57. П ч еи ко Е. А., Х анкин Л. П., Тетрадный ионизацион- вый манометр, ПТЭ, Лй 1, 1959. 58. '1 к Д ек Лж., Измерение давления в вакуумных системах, нзд-во «Мир», 1966. 59. Х ПТЭ, 1960, № 5. . Х а в к и н Л.
П., Плутониевый ралиоактнвный манометр, 60. А к и ш ив А. И., Радиоактивный ионизационнын манометр для высокого вакуума, ПТЭ, 1959, № 2. 61. Григорьев А. М., Волков Г. И., Расширение диапа- зова давлений, измерлемых электроразряднымв манометрами, «Элек- троника», 1958, Лй 12. 62. Грлгорьев А М., Манометры для измерения сверхвы- сокого вакуума, ПТЭ, 1959, № 6. Лй 6. 63. П а ты Л., Измерение сверхвысокого вакуума, ПТЭ, 1959, 64. Се ге .
С е р г е е в А. Ф., Инверсно-магнетронный манометр, «Пере- довой научно-технический и производственный опыт», вып, 2, 1963. 65. Х . Х а в к и н Л. П., Номограмма лля расчета компрсссионных манометрон, «Заводская лаборатория», 1954, № 3. ббк' . К о р о л е в Б. И., Основы вакуулгвой техники, изд-во «Энергия», 1964. 67. 1.еяяог А. Е., Ма|яяе! 1.. 1. апб ТЬип й Е., Т1ип- ГИш С!гсиИ ТесЬпо1ойу, р! 1, ТЫп-ГИгп й — С Ые1зчогйя, 1ЕЕЕ 5 ес- 1пип, 1964, ч. 1, № 4. я, рес- 68.
С а яиге11 Н 1., ТЫп-ГИгп С1гсиИ Тесйпо1ону, р1 П, ТЫп- Гйгп 5ирегсопбггс11пя Реч~сея, 1ЕЕЕ Зрес1гигп, 1964, ч. 1, № 5. 69. Г а и1е г А. В., ТЫп-Г11гп С!гсий Тес№зо1ацу, р1 !П, ТЬ1п- ГИгп АсИче Реч1сея, !ЕЕЕ Брес1гигп, 1964, ч. 1, № 6. 70. Н1гп с а Т«г., 51а и1 В. Г. апб Т Ь и и й. Е, Ргос1исИоп Ейи1ршеп1 !ог ТЫп-Г|1ш С1гсиИгу Рапе1я, Тгапз. 9чй Зушр. Апгег.
Часиигп Зос., Ыечг Уогй, 1962. 71. . В о г 1г а п Н., Рероягйпй дейче апб Разя!те ТЫп.ГИш Е1ешеп1я оп Опе СЫр, Е1ес1гоп!ся, 1964, ч 37, № 14. 72. 5 1г а д не я С мг,, РЬо1оЬЕ1сЬ!пя ТЫп-Гйгп С!гсийз, Шес- 1гоп1сз, 9964, ч. 37, № 18 73. О е г я 1 е п Ь е г и Р., йеас1№е Зрийег1пй о! йе!гас1огу Ме1а1 Сошроипбз, ВеП 1.аЬя. йес, '1964, ч. 42, № 10. 7Я .. Г ге ой е1 1., ТЬеопе бег АЬзогрйоп ипг1 згегсчап61е Егя- сйс1пипцеп, 2. Р1зуяйц 1924, Вб 26. 75, 1.еч!пз1е|п Н., ТЬе Огагч!Ь апб 51гис1иге о! ТЫп Ме- 1ацс Г11шз, Л о! Аррйеб РЬуяся, 1949, ч.
20, № 4. 76.Мс1.еап Р. А, Зсйтчаг1т № апб Т!сб Р,, Тап1а1. Гйгп Тес!гни!оку, Ргос. 1ЕЕЕ, 1964, ч. 52, № 12. 77. . 516 е г1з О., Сап Е1ес1гоп Веапш Ргобисе 1псгеб1Ыу 5шаИ С!гсийяу Е!ес1гоп1ся, 1964, ч. 37, Лй 29 78. В е Ь гп 61 К. Н, 1.оч е й, 'чу., Аи1огпайс Сап!го! а! Гйгп-РероЫИоп йа1с з»ИЬ бйе Сгуйа! ОясИ!а1аг 1ог РгерагаИап а! АИоч ГИгп, згасиипц 1962, ч. 12, № 1. 79.
Нае е !ае!ег й. А, ОЬег !опепЬаШе 1и «уег1зймйнтц тИ ешсг 1иййеййЫ1еп О!1611!ия1опзригпре, '«гайгшпг1есйп!1с, 1962, № 11. 80. Р а ч16 яе Р. Р., ТЬеогу апб РгасИсе о! й. Г. Зри11ег!пй, 5СР впб 5о1№ 51а1е Тесйпо1оцу, 1966, ч. 9, № 12. 307 81 5 сЬ и1ке Н 1 ипд Не и бе О, Оп1егьисйипд ЬЬег йе Лпвгепбипй деь 1опепЬаП1еь Ье| Е1ейсгопепгойгепбеь1еИипб, Чайцшп. 1есЬпй, 1|961, № 10 82 Нсияечоьь 1 апд НиЬег Чгг К, ТЬе 1пПиепсе а1 Гоге Часишп СопбИюп оп Игаса Н|8Ь Часишп Ригпр|ггя Зуь1еп| вг|1Ь О|! П|Пиыоп Ригпря, Часишп, 1961, х 13, №! 83 М чоп Агдеппе, Ьогеп|к Е ипб %еь1тейег Н, ОЬег е|пе Ое11ег-!опепригпре пи1 Т|1аптегдатр1ипи ипб Ьойеп 51аг1- бгисй, Ехрегппеп1а!е Тесйпй бег РЬуьй, 1962, № 1 84 Но! !а п |! 1., 5оигсеь о1 Зиг1асе Соп1апипа1|оп |п Часцшп Ечарогайоп Зуь1ет, Часиит, 1963, ч 13, № 5 85 Но!1апд Е, Ьаигепьоп Е апд Ргегз11апб С, Соп1апипа1шп т И1га И|85 Часишп Р!ап1, Речгевг бе|си!И|с 1пь1пппепЬЬ 1963, ч 34, № 4 86 М|1!егап %, Ке|па1к Р 5, Рег1огтапсе о1 а 5|х!псЬ Тггобе Р 1 О Рцтр Сотрагед 1о а «Рег1ес1 Ритр», 9НЧЗТ, 1962 87 М о 11 ТЬ 1, Соа1|пй Тесйш|р|е ш НИга-Нгнй Часишп, 8НЧ5Т, 1961 88 «Насйча1|ишп1есйпй», Ка1а1оя !961, № 1000 Агрпиг Р1еП1ег, О М В Н 1Че1к!аи, Е! — Е4 89 Р и *ег К, 5 и11| ч а г 1 1, Рг явите Мсаьигетеп1 АЬаче 1р Быпн Соттегс|а! 1оп|ка1|оп Оаияеь, Кеч Зс|сп1 1пь1гип|, 1962, ч ЗЗ,Л" 5 90 5 сЬ и1г е Н 3, 51ой Г, ОЬег беп ЕгпПиьь бег Зуь1стйеоте1пе ипб бег Ве1пеЬзЬегйпдип8еп аи! йе Оаыопепйопь1ап1е чоп 1опшаЬопыпапогпе1ггоЬгеп пасЬ Вауагб.А1рег1, Чайицш1есйп|й, 1962, Вб 1, ЛЬ 5 91 В е с 1|е г %, ?иг ТЬеопе бег ТигЬо Мо1ейи!аг-Ритре, Часиигп1есйпй, Л" 9, 1966 92 Зсйи1ке Н 3, Неппгпиь К Е, Е|пе пене е|п|чапйбе ОНЧ-Аирбап|р1ап1аде тИ ьейг ясппяеп ХуЫиьке|1еп, Чайггит!есЬ- пй, 19Глб, |№ 5 93 В е Ь г п 61 К Н, 1пПиепсе о1 ЬЬе Оероьц|оп Соп|ЬЬоп" оп Оготч1Ь апб 5!гис1иге о1 Ечарога1еб Г|1гпь, Часивп, 1963, ч 13, № 9 94 Попа!6 3, бап1е1ег, ЕПес1 о1 Част|в Епвгоптеп1 оп ТЬ!и Г|1т Соп|ропеп1 КейаЬ|Ыу, 5СР апб ЗоЬВ 51а1е Тесйпо!одух 1965,ч 8,№1 95 С а ыч е11 Н о!1| я 1., ЕПсс1 о1 Реыбца1 Оаьеь оп бирегсопбггс1|пд СЬагас1епь1|сь о1 ТЫп Г|1ть, .1оигп о1 Лррйсб РЬуысь, 1961, ч 32, № ! 96 С а ыч е11 Н а!1| ь 1., ЕИес1 о1 Кеыбиа1 Оаьеь оп Гпе РгорегЬеь о1 1пдггнп Г|1т, Зоигп о1 Лрр!в|! РЬуысь, 19Г»1, | 32, № 12 97 О!е а ь о п Г К, О г е г и е г 1.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
