Нанотехнологии (Статья) (1042557)
Текст из файла
АНО «Аналитика и высокие технологии»СодержаниеВведение ............................................................................................................................... 2Технологическое оборудование для нанотехнологий ...................................................... 3«Наномагна» вакуумная установка магнетронного напыления............................... 3«Наноалмаз» вакуумная установка плазмохимического осаждения.......................
5«Наноплазма» вакуумная установка ионно-плазменного травления ...................... 6«Отжиг» электропечь для обработки в водороде...................................................... 8Растровые электронные микроскопы ................................................................................. 9JEOL JSM–7700F.......................................................................................................... 9JEOL JSM–7401F.......................................................................................................... 9JEOL JSM–7000F........................................................................................................ 10JEOL JSM–6700F........................................................................................................
10Серия JEOL JSM–6490/JSM–6490LV ....................................................................... 12Серия JEOL JSM–6390/JSM–6390LV ....................................................................... 13Сканирующие зондовые микроскопы .............................................................................. 15Серия JEOL JSPM–5200 ............................................................................................ 15JEOL JSPM–4610........................................................................................................ 15JSPM–4500 .................................................................................................................. 16Нанотехнологический комплекс «Умка».................................................................
18Вспомогательное оборудование ....................................................................................... 21Тестовые ячейки для калибровки сканирующего туннельного микроскопа........ 21Установка для заточки зондов туннельных микроскопов...................................... 21Фотометрический спектроэллипсометр........................................................................... 24ВведениеНанотехнологииявляютсябыстроразвивающимсянаправлениемпромышленности и науки с выходом в самые разнообразные области, например,доставка лекарств в поражённый орган, создание высокоэффективных твёрдотельныхлазеров, производство сверхбыстродействующих компьютеров на принципиальноновой элементной базе, получение материалов с уникальными, не имеющими аналоговсвойствами.
Для осуществления таких нанотехнологических проектов необходимо, вопозволяющеепервых,соответствующеетехнологическоеоборудование,воспроизводимо создавать объекты с характерными размерами менее 100 нм, вовторых, измерительные приборы, позволяющие проводить эффективный контроль,осуществляемыйнеразрушающимиметодами,инаучныеисследования,предоставляющие достоверную информацию о структуре наноформирований иструктурированности квизиоднородных областей, и, в-третьих, системы дляреализации технологических требований по чистоте воздуха в рабочих помещениях итехнической воды.Автономная некоммерческая организация «Аналитика и Высокие Технологии»(АНО АВТех, ANO AWTech) поставляет и технологические установки, применяемыев наноразмерной электронике, включая квантовую, и аппаратуру, позволяющуюосуществлять неразрушающий контроль, и приборы для проведения научныхисследований, и системы очистки воздуха и воды до требуемых кондиций.
Мыпредлагаем комплексные инжиниринговые решения по подбору оборудования иобустройству технологических помещений.Последнее выходит за рамки этой брошюры. Коротко, предлагаютсяоборудование для создания чистых помещений и чистых зон, боксы и ламинарныестанции, предназначенные для электронного и другого нанопроизводства, установкиводоподготовки, станции для производства жидкого азота.Для получения дополнительной информации обращаться на сайт АНО АВТехwww.awt.ru, по электронной почте info@awt.ru, info@awtec.ru, или по телефонам+7(495)937–34–41, +7(495)937–34–18.–2–Оборудование для нанотехнологийТехнологическое оборудование для нанотехнологий«Наномагна»вакуумная установка магнетронного напыленияНазначение и применение:Нанесение металлических (магнитных инемагнитных) пленок для формированиякаталитических слоев наноструктур (Fe, Ni,Co и др.)Оснащение:● Рабочаякамерасмагнетроннымраспылительнымустройствомдляосаждения пленок на подложки диаметромдо 150 мм.● Шлюзовая система поштучной загрузкивыгрузки подложек.● Планарное магнетронное распылительное устройство (МРУ) с источником питанияна постоянном токе или ВЧ–питания с дисковой мишенью 280 мм илимультикатодное МРУ стремя мишенями диаметром 100 мм для нанесениямногослойных или многокомпонентных пленок заданного состава.● Безмаслянная система откачки.● Микропроцессорная системауправления.● Встраиваетсяв«чистую»комнату.Технологическиехарактеристики:● Скорость нанесения:– металлических пленок – до0,5 мкм/мин– диэлектрических пленок –до 0,2 мкм/мин● Неравномерность пленок потолщине ±1,5%–3–АНО «Аналитика и высокие технологии»Планарный магнетрон:Назначение и применение:● Предназначенодлянанесенияпленокнаполупроводниковые пластины методом магнетронногораспыления дисковой мишени из вращающейсяразрядной зоны.Особенности:● Катод с дисковой мишенью.● Комбинированный магнитный блок с электроприводомвращения центральной секции.● Нанесение пленок проводящих материалов в режиме постоянного тока и пленокдиэлектрических материалов в ВЧ–режиме.Мультикатодный магнетрон:Назначение и применение:● Предназначенодлянанесенияпленокнаполупроводниковые пластины методом магнетронногораспыления вращающихся мишеней.Особенности:● Три автономных магнетронных узла с дисковымимишенями малого диаметра.● Вращение магнетронных узлов относительно центральной оси.● Нанесение многокомпонентных пленок заданного состава, достигаемогорегулированием мощности магнетронных узлов; нанесение пленок проводящихматериалов, включая тугоплавкие и драгоценные металлы; нанесение пленок,обладающих свойствами высокотемпературной сверхпроводимости.–4–Оборудование для нанотехнологий«Наноалмаз»вакуумная установка плазмохимического осажденияАНО «Аналитика и высокие технологии»Микрофотография нанотрубокНазначение и применение:Осаждение материалов в вакуумномреакторе из газовой фазы с плазменнойактивацией (PECVD) для формированияпленочных структур и нанотрубок.Оснащение:● Рабочая камера с реактором ВЧ и/или СВЧплазмы (ICP и ECR) для осаждения пленокна подложки диаметром до 150 мм.● Шлюзовая система поштучной загрузкивыгрузки подложек.● Рабочий стол с нагревателем до 1000°C иподачейнапряжениясмещениянаподложку.● Многоканальная (2-6 каналов)газовая система.● Безмаслянная система откачки.● Микропроцессорнаясистемауправления.● Встраиваетсяв«чистую»комнату.Технологическиехарактеристики:● Неравномерностьосажденияпленок ±4%.● Осаждение пленок SiO2, Si3N4,Si*,SiC,алмазоподобныхпленок,углеродныхнанотрубок и др.–5–«Наноплазма»вакуумная установка ионно-плазменного травленияНазначение и применение:Реактивно-ионное травление проводящихидиэлектрическихматериаловдляформированиянаноструктуримикроэлектронных механических систем(МЭМС).Оснащение:● Рабочая камера с ВЧ–реактором реактивноионного травления подложек диаметром до150 мм.● Шлюзовая система поштучной загрузкивыгрузки подложек.● Химически стойкие средства откачки и измерения вакуума: турбомолекулярный ифорвакуумные насосы, вакуумметры, баротроны.● Гелиевое охлаждение подложек на рабочем столе.● Многоканальная (2–6) газовая система.● Микропроцессорная система управления.● Встраивается в «чистую» комнату.–6–Оборудование для нанотехнологийТехнологическиехарактеристики:● Неравномерностьтравления±2%● Скоростьанизотропноготравления Si – (1÷3) мкм/мин.● Скоростьанизотропноготравления SiO2, кварца, стекла«пирекс» – (0,5÷1) мкм/мин.● Аспектное соотношение – 1/10÷ 1/30.Острие кантиливераЩели кремнияСквозное травление кремнияКонтактные окна–7–АНО «Аналитика и высокие технологии»«Отжиг»электропечь для обработки в водородеНазначение и применение:Газотермическая обработка нанопорошков в средерабочего газа при нормальном (атмосферном)давлении.Оснащение:● Однореакторнаятрехсекционнаяэлектропечьгоризонтального типа● Двухканальная газовая система с электроннымирегуляторами расхода газа, регуляторами давления ифильтрами тонкой очистки.● Микропроцессорная система управления.● Встраивается в чистую комнату.Технические характеристики:● Режим работы● Внутренний диаметр реактора● Диапазон рабочих температур● Длина рабочей зоны с погрешностью распределениятемпературы не хуже (±2)°C● Нестабильность поддержания температуры по опорнойточке (среднеквадратичное отклонение) в рабочей тепловойзоне● Время разогрева до максимальной рабочей температуры– полуавтоматический– 80 мм– (300 ÷ 1000)°C– не менее 180 мм– не менее 1,5°C– не более 20 минОсобенности:● Управление скоростью разогрева и охлаждения реактора.● Свободное программирование параметров термообработки (с возможностью запретаперепрограммирования параметров)–8–Оборудование для нанотехнологийРастровые электронные микроскопыJEOL JSM–7700FНовыйРЭМJSM–7700Fсавтоэмиссионнымкатодом–единственныйкоммерческийРЭМ,электронная оптическая система которогообеспечиваеткоррекциюихроматической и сферической абберации.Кроме того, этот прибор имеетразрешение 0,6 нм на ускоряющемнапряжении 5 кВ, что открывает новыевозможности для исследования веществана наноуровне.
JSM–7700F специальнооптимизирован для работы на низкихускоряющих напряжениях, что особеннодляполупроводниковойактуальнопромышленности.● Ускоряющее напряжение: от 0,1 до 4,9 кВ (с шагом 10 В), от 5 до 30 кВ (с шагом100 В)JEOL JSM–7401FАНО «Аналитика и высокие технологии»JEOL JSM–7000FНовейший РЭМ JEOL JSM–7000F с автоэмиссионным катодомпозволяет получать изображения сочень высоким разрешением. Оноснащенмногоцелевойкамеройобразцов со шлюзом для быстройсмены образцов, автоматическиммоторизованнымстоликомифункциональнонаполненнымпрограммным обеспечением.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
