Нанотехнологии (Статья) (1042557), страница 3
Текст из файла (страница 3)
Это создает реальные предпосылки для массовоговнедрения комплекса, как в сферу подготовки профессиональных кадров, так и вомногие отрасли российской промышленности с целью их технологическогоперевооружения, отвечающего современным требованиям научно-техническогопрогресса. Около ста комплексов «Умка», поставленные в ряд ВУЗов, академическихинститутов и отраслевых НИИ, уже зарекомендовали себя с самой лучшей стороны,позволив получить научные результаты высокого уровня.Предлагаемые модели комплекса «Умка»МодельБАЗОВАЯ«Учебная» модель«Низкотоковая» модельНаименование«Газонаполненная» модельУМКА–02–GУМКА–02–EУМКА–02–LОсобенность моделиРабочая камера работает ватмосферных условияхДля биологических объектовРабочая камера может иметьатмосферу, необходимуюпользователюОбласти применения:● Обучение современным практическим методам работы с наноразмернымиструктурами.● Осуществление научно-исследовательских и прикладных работ в научных иуниверситетских лабораториях.● Неразрушающее исследование поверхностей методами туннельной микроскопии испектроскопии.– 19 –Основные достоинства:● высокая надежность и достоверность получаемых результатов;● высокая скорость сканирования;● «интелектуальные» алгоритмы сканирования и подвода;● высокая температурная стабильность, позволяющая проводить длительныеманипуляции с отдельными группами атомов;● повышенная виброустойчивость, акустическая и электропомехозащищенность;● низкий уровень собственных шумов;● простота в обучении, использовании и обслуживании;● не требует специального обучения (закрепление образца и смена иглы – на уровнепростейших лаборантских навыков);● малые габариты.Минимальный комплектпоставки НТК «Умка» включает:● блок пьезоманипуляторов, с системой виброизоляции;● блок управления;● программное обеспечение с системой плагинов;● наборы тестовых образцов, материалов, инструментов;● лабораторный практикум;● инструкцию по изготовлению зондов для СТМ;● паспорт;● руководство пользователя нанотехнологического оборудования;● галерею сканов, полученных на нанотехнологическом комплексе «Умка»;● учебный фильм.ПРОИЗВОДИМЫЕ СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ:● вольфрамовые иглы для СТМ с электрохимической и ионной заточкой;● устройство для электрохимической заточки игл;● тестовые ячейки для калибровки СТМ.– 20 –Оборудование для нанотехнологийАНО «Аналитика и высокие технологии»Общий видВспомогательное оборудованиеТестовые ячейки для калибровкисканирующего туннельного микроскопаТестовая ячейка изготавливается на пластине кремния КЭФ 1,0.
Металлнаносится магнетронным напылением. С помощью фотолитографии иплазмохимического травления вытравливаливаются окна диаметром 4 мкм с шагом5 мкм по всей пластине. Далее на алмазном скрайбере пластины разрезаются накристаллы размером 8×8 мм2.В качестве напыляемых металлов используются титан, никель и золото. Толщинанапыляемых пленок указана в таблице:Типы тестовых ячеекТестовая ячейка №1Металл 1ТитанМеталл 2НикельТестовая ячейка №2ТитанНикельТестовая ячейка №3ТитанЗолотоА, нм60 ± 5%120 ±3%100 ±9%В, нм100С, нм100100100100100Достоинства установки:● возможность заточки зондов из заготовок разного диаметра;● дистанционный контроль отключения тока;● высокая воспроизводимость точности заточки зондов;● автоматизация процесса заточки;● не требует высокой квалификации для работы.ХарактеристикиДиаметр затачиваемого зонда, ммВремя заточки, мин.Радиус заточенного зонда, нмВид зондамасштаб 10 мкмПоперечное сечение тестовой ячейкина кремнии и СТМ изображение.Поле сканирования 5×5 мкмУстановкадля заточки зондов туннельных микроскоповПредлагается установка для заточки зондов, используемых в туннельныхмикроскопах при исследовании поверхностей на атомно-молекулярном уровне.– 21 –0,240,250,5630не более 100Вид зонда,масштаб 1 мкмКомплектация установки включает:● микрометрическую головку;● держатель зонда;● монитор;– 22 –Оборудование для нанотехнологий● блок питания;● телекамеру с блоком питания;● микроскоп;● штатив;● емкость для электролита с катодом;● наборы проводов, клемм, инструментов, вспомогательных емкостей и расходныхматериалов.АНО «Аналитика и высокие технологии»Фотометрический спектроэллипсометрПредлагается новый фотометрический спектроэллипсометр.Назначение прибора:● измерение толщин тонких пленок и многослойных пленочных структур;● определение спектров оптических постоянных и диэлектрическихматериалов;● анализ состояния поверхности и структуры тонких поверхностных слоев.свойствОбласти примененияПриборостроительные и материаловедческие предприятия, научные лабораториидля контроля параметров в процессе производства и осуществления неразрушающегоанализа структуры материалов (пористости, степени кристалличности, фазовогосостава, нерегулярности распределения наполнителя в нанокомпозите, наличияинородных включений, неоднородностей наноразмерного масштаба, состава и толщинмежфазных границ).Технические характеристикиДиапазон длин волнСпектральное разрешениеВоспроизводимостьТочностьУгол паденияДиапазон толщинДиаметр светового лучаТипичное время измерения спектра380÷1000 нмне хуже 4 нм0,0050 и 0,010 для ψ и Δтолщина – не хуже 0,1 нм,показатель преломления – 0,005 (для SiO2 на Si)45° ÷ 80° с интервалом 5°0,1 нм ÷ 2 мкм2 мм (0,2 мм с микроприставкой)1÷2 минСравнение с аналогамиТехнические характеристики прибора находятся на уровне мировых стандартов.Приборы с близкими техническими параметрами существуют в типовом рядеприборов, выпускаемых ведущими фирмами, такими как Woollam, Micro Photonics идр.
Однако эти приборы не всегда обладают возможностью проведения локальныхизмерений, а стоимость их значительно превышает планируемую стоимостьпредлагаемого спектроэллипсометра. Приборы зарубежных производителей, имеющиесопоставимую стоимость, обладают существенно меньшими измерительнымивозможностями, например, не имеют функции проведения спектральных измерений.Существенно выигрывая у аналогов в соотношении ЦЕНА–КАЧЕСТВО,предлагаемый спектроэллипсометр конкурентоспособен как на отечественном, так имеждународном рынках.– 23 –– 24 –.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
