Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 74
Текст из файла (страница 74)
Из-эа малой теплот, Фозодности воны контакта опорного Ззлиндра с катодом максимальная '"лз тока разряда 300 А, что лимити- И' И ' грч рПЭ Рзс 12 2 Ззззсзнзсть быстроты откзчкк водорОда, дкоксндз угззрздз, азота з зоздукз !кркзыз зззтззтстззннз 1, 2, 3 н 4) от дзззззкз зрз рззззчзоа сказ тока дугн 1 1 — 1 Ззз А; 11 — '1 = 200 Аз 111— я 1 140 А руст производительность.
Электромеханическое устройство для инициирования разряда не очень надежно, поэтому иа испарителях устанавливают три одинаковых устройства. Лля сверхвысоковакуумиой откачки ускорителей, термоядерных установок н специализированного технологического оборудования предназначены дуговые насосы типа НЛМ (иасос дуговой) [39) — рис. 12.11. Лля питаняя испа- е ЯЮ йг, НЕ 4Ю 180 Га,е Рнс.
12.10. Зззкснмзстз числа зтзызз ИТ! тзззкз к чксзз молекул ЛГЫ ззглз- 1 ззазмзгз кзота з здзязяу зрзызнк от скзм тека дугэ 1 Исееэиемлллие ттт»элиа месесм ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СРЕДСТНА ОТКАЧКИ 352 Табл иди !27 Зеачеиае параметре для ввсосэ Параметр НИБ-10 * НИБ-За НИБ.Э0 НИБ.Я НИБ.! Быстрота действия 3, мз/с, прн охлаждении» водой по азоту водой по водороду жидким авотом по азату жидким азотом по воде роду Число испарителей Масса геттера (титана), г Обьем жидкого азота в насосе, мэ !! входного отверстия, мм Габаритные размеры, мм, при установке накопителя жндкога азота: вертикальной 3 6 4 1О 1О Ю 15 40 60 100 70 200 2 1О 11 4 100 Ю 7 ' 170 75 7 170 130 1200 И 590Х Я 900Х Х 470 Х 840 Я 590Х Я 900Х Х 700 Х 1100 Я 335Х Х 270 !»» ЗЗЗХ Х 270 ю! 1425Х Х 12Ю 8 1426Х Х 1600 О !875Х Х !625 Я !875Х Х 2000 горизонтальной Таблица 128 Заечеэие параметре для насосе Переме»р АВЭД.З0/0ЗОМ АВэд-з/заем АВЭД 40!000 ВЭД 1 Быстрота действия 3, мл/с» по азату по водороду Масса геттеоа (титана), кг Ресурс (при работе в режиме негрерывного испарения), ч ») входного отверстия, л»м Габаритные размеры, мм 50 90 4,3 40 80 7,5 10 7,5 2 4 4,3 2000Х Х 2450Х Х 2300 1050Х Х 1780Х Х 2250 900Х! 870Х Х !000 925Х 885Х Х10Ю- П р и и е ч а и и е.
)(ля указанных насосов наибольшее давлеияе запуска 7 Па; предельное остаточное давление 4.10 з Па. П р и м е ч а н и е. Для указанных в таблице насосов максимальное давит ние запуска 1О з Па, предельное остаточное давление не более 1О з Па. Таблица 129 е параметра дээ насосе НДМ.»0 НДМ-00 НДМ-Ье 4 5 5 12 1О 13 15 35 15 18 20 50 25 ЗО 30 70 60 75 80 200 7 1О-в 1-!О з О,З 1.10-8 4.10-0 1,4 ! ° 10 э 3 10-з- 4,0 3 !О-* 5 !о- О,З 4.!0»е 1 ° !О 4,8 30 Рол (2 !Ол) 30 4 !Оз (8.'!Ол) 70 6 !Оэ (!О ) 200 10е (2 1О') 300 7. !Оэ (! Ол) 250 670 Х Х 52ОХ Х 385 60 400 700 Х Хб!ОХ Х 750 150 500 94 ОХ Х 800Х Х 860 200 630 900 Х Х 1ОООХ Х 1220 330 ! 000 !28ОХ Х 1500Х Х 1650 950 Масса, кг л Откачка азота (р = 1 ° !О з Па).
П име р, ча и не. Для указанных насосов на 6,5 Па, лредаллиоеостаточное с в наибольшее давление *..... ноедавлеииеприохлаждеиииво ой ри ахлзжтении жидким азатом (5 ... 8) !О т П . 1О- Па. 12 П»р И. а. 4»р»тевэ запуска 1О" э Па, рнтелей используют ясточник с падюошей вольт.ампервой хзрактерист!»кой. Насосы »мают цилнндричгску»о форму. Корпус 1 насоса выполнен в ваде»онкастеннаге цилиндра с двойным профилированием г»енок, обеспечиваюп»им необходимую прочность и жесткость в жтггаиии с минимальной металлосмкостью.
Полость мех»ду ст»нхамн корпуса используют дли подачи лладзгеьта. Во входном сечеяии васо а устзи илеи поворотный экран-жалюзи 8 с электр»мехаиичес»им !или ручным) привалом»А Дугоаой разряд ва»б»уждается плазмой, вс.иикающей в момент электрического проб»»я па наверх»,ости керач»шесхгго электрода с панессняым на еес тонки!» слоем материала катода- Быстрота действия 3, мэ(с, при охлаждении! водой по азоту водой ио водороду жидким эло»ом по азоту жидким азо~ом по водороду Наи! ольшее рабочее давление, На, по азоту при охлаждении; водой азот! и Мас а геттерз »титана), кг Ресурс испарителя, ч, при испат нин: не.
огрызком периодическом л с охлал»„окнам водой (жидким азота х) !)т ":оди.го отверстия, мм Габаритные размеры, мм испарителя 2 прн включения поджигаюшего устройства 4. В зависимости ат газового потока насосы могут работать в непрерывном нля периодическом режиме испарения. Продолжительности периода папы: ения и периода между последоиз"т.ьными включениями испарителя апрсде.
ляютси жесткой временной программой либо регулируютсч звтомагичесхи ио си» !»ал ам блока ровочиого вакуумметра. Электродуговь е насосы типе НЛМ обеспечивиот получение предею ного остаточного давлении ниже 1,3 Х 1з. Основные технические ха— л рактеристики насосов приве,»гиы в табл. !2 9. Электродуговые насосы не обеспечн- СРЕДСТВЯ ОТКЯЧКЕ Гете«эйве-вэввыэ элээсы 354 ЭЛЕКТРОФИЭМЧЕСКМЕ Ряс. ш.сс. схвыв насосов тввв ндмс С вЂ” койлус; 2 — катод в«вэрвтвль; У экрвв; Э вЂ” лоджвсэющвв устрой««во. У вЂ” в«копатель жэдвагь вэатв; У вЂ” рв.
ввствээый нагреватель; 7 — наружный комуээ У вЂ” эвтээ- кэлюэв: й — элввтроыввввв«вский эйввьд экрана вают откачки инертных газов, поэтому нх используют в комбинации с диффузионными, турбоыолекуляриьшн н.си магнятными электроразрядяыми насосами. Геттерные испзрительные'насосы малоэффективны при откачке газовых смесей, содержащих инертные газы и легкие углеводороды; поэтому их применяют в сочетании с вакуумными насосами других типов.
12.3. Геттерно-эоииые насосы В геттерно-ионных нассках, наряду с хемосарбцией, происходит ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера. Насосы, в которых поверхность геттера палучасат непрерыв1ным или периодическим испарением, иазывасот испарительао-ионными. Возбужденле и ионизация остаточных газов и ускорение ионов в наврав. ленни к поверхности геттера электрн. ческим полем увеличивают поглоти- тельную способность поверхностей системы и быстроту откачки.
Иснизацию газа используют для откачки инертных газов и углеводородов в виде положительных ионов отрицательно заряженными элементами насоса, а также внед- выполняют неразборными и беэ водяного охлаждения. Типнчяые зависимости быстроты откачки ат давления и спектр остаточных газов приведены на рис. 12.13 и 12.И.
12« Текчические характеристики насосов типа ГИН дакы в табл. 12.!О, Сссорасть поглошессня газов в геттерно-иоикых насосах в известных преде. лах модена регулировать изменением реннем ионов инертных газов и нх «замуровываииемэ, кроме того, для диссопиации сложных молеку;с гп ров воды, метана, тяжелых углеводородов), В этих насосах испарительные н ' ноннзацнонные системы обычно разделены функционально.
Наиболее распространены геттэрно., ионные насосы типа ГИН на основе прямонаьальных биметаллических ис. пэрителей. Эти насосы вьшалнясот в виде прогреваемого цилиндрнчсскаго корпуса 4 из коррозионно-стайжф статй с рубашкой водяного охлажтсс пя (рнс. 12.!2]. На одном из торгщвых фланпев 7 корпуса монтируют зтехт. родный блок.
Прямонакальные испа. рители 2 Пс-абразной формы выпал сены из тнтаномалибденовой вравалоки. Один канек укреплен на гбщеи часемленной пластняе, другой -- на изолированном такс«вводе Е. Система эаннзацни состоит нз вольфрамового клода 8 и анода с', представляющего собой цилиндрнческчо сетку из молибденовой проволоки. Анод используют также в качестве внутреннего нагревателя прн обезгажнвавни насоса Электроны, вылетающие из катода и испарнтэлн 2, направляются на анодаую сетку, йвхо. дяшуюся пад потенциалам лд! 2 кВ.
При этом электроны совершают ие. сколько колебаний вокруг сетки, прежде чем попа~ть на нее. ионизируя молекулы остаточных газов. Ионизнс ванный газ хорошо сорбируется Глсэаавой пленкой, напыляемой нд ахлаждвсчую водой поверхность стенки ксрпуса, являющегося также коллектором и снов. Для повышения быстроты откачки инертных гааов через боковой патрубок Е подключают параструйный насос.
При мопшости 200 [240) Джсс око. рость испарения титана в насосе. ГИН-0,51М достигает 5 П 5) мг/ч, срок службы испаритэлей - — 1500 (500) ч. Насосы ГИН-2 и ГИН-5 с таемя н шестью прямокакальнымн биметаллическими испарнтелями имеют слсствет. отвеина большую поверхность каидеисапии геттера. При давлении ниже ГО э Па скорость испарения важна уменьшить, не снижая номинальной быстроты откачки; при этом срок служ.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
