Фролов Е.С. - Вакуумная техника (1037534), страница 55
Текст из файла (страница 55)
0,1073 0,1317 0,4380 0,4916 5,0810 '4,7320 0,5986 0,6444 0,3446 0,3877 0,2540 0,2567 .1,7370 . 1,6620 Прод жение табл д !6 Продолжение табл. 9.16 ел к у>гм и ые нлсасы МЕХАНИЧЕСКИЕ 276 Гввбсислснвслримс нисссм 279 ОМС»О о о с СО) 0»СО О)С4 )ОС» О О О со ооосч О) Ч' "4' 40 Мм О СО )О 0 С'» '» '» о о о сч соч о '» ь' сс )О СО СО и» СО»» ФСЧ о сь с) сч мя мо ммом ОЧЧО» ооо- 4 СОС4 С» Ч' ЬО СО 'Ф СО Ч' 0» ЬО ооо- О ь 4 О и О Оо С- С- О СОСЧ О 00Ч Я СО о о о»' 00 СО С) м о сч— йсч О С4 О О О 00 СО'Ф»О о о о сч ОЧ ОЯ м »ОЧ 00 СО О 4' о о осч 4 СО О) С сч $ сч ь СО»ЬО о о о сч СОМО)' » СО ОЧ М СО О Сои ) с»ь- ооо- и О с и 0 и 6 и и и 40 м ОЯЯ са 0) СО О о о о е и» )1) )О С) са СЯО 00 Сч СО СО О О О Со — ММО 40ОСОО С'» 04 С."» СО Ч' 40 СР М-ЮО 04 СОС» 000»МЬО ОС'4 С) ОООСЧ ОООСО СО О) С- С» О »со С 4 О] 0» СО СОСО ) СЧ о о о сч ЬО О» С'» С) ооо- О» СО С) О» С»О) С и» О) и» СО СО С ооо г Со Ч' СО Я с'» и» СО СЧ СО С» ооом м--о С'» С4 М ~О~ О О О СО о о о сч со ~~ са О 4-С СОЧ Ь-СЧ О СЧ ь 0» ЬЧ' о о о сч Π— и» О Ч' Сч 04 Ч' Со С- ЬО Ь- ь- С'» С'» О) ооо- й)х ер уср+ 5т ср (9.55) )П ер уср «т ср С-Ч СО О Ь и»О)— счс- ко 00 ЬО) О О О 0 чс сь 0) С4 СО СО -О)СЧ О СΠ— СО Сч о о о чо О)С»4 С) 'Ф СЬ») О» О -сосо сО сч и» 4 ооом 4 ОСЧСЬ о о о со Ом С'» Ч' С) Ч' СО )О С4 Ь С4 4'СО о о о сч 4 000» СЬ Жмдо ООО04 где з!и а 7„= а — — )п ((а!Ь)з —, 2а/Ь 4 со и» о о мч» ОО оооч> омо~ СО С- ООО ооо г ооось Р Сч Ь- О С'4)О С ооом и» О Ч' Я 0» О) Р ФЯ о о о сч — -оо ЬО С'» 0» СО О О) 'О с'» ЬО С4 С'» СЧ О О О 04 (9.53) ооо с » —.ь О СЧ М О) счч м"— ооом СО СО С) Си) 3 ч' и» сч о о оч> ооом" о о о сч о о о сч (9.56) ЬОСЧ СО Ь-Ос-С- 4' С'4 С 4 и) оооо ь' ~ Я С» 3- ОО ОООО с» сч — я С'» Ч' О) 4 )О Ь' Ь' о о очд ОООСО ОЯмй 0 Я Ч' о о осе 0 ОБ Я с» )О и» сч м ч о о осч 6т ср — — агсзгп [(и!он) з>п а[ -(- (! — — 1 х а/Ь ! )' ! — (и/о;)з>п сс 'и' [(а!Ь) — сова) +[! — (и/о»и)]з>п'а (н/о„) ып а (и!Он) з>ь> сс сч со со О Ом СЧ М Я мо~ -.
сьоо 0 и»4 О)С) оооо 3........ счс о мсоо С» О СО С»О)С»СЧ счмм мови О О О 4 о о о со о о о сч . + )' — ). ). ) „. . » . с °, + Ь С) — 4. .( а!'>м'Г(п ))' ! — (и /ой)зш сс — (и/ои) сова ]. 2а/Ь ~~" чав 'и ! — (м%4) щп'а+(н/ои) сова 1 >'сс)- ")', )) — ) ')С)). ":)) )ссь) ) ))')ь) — "' ) 4.)) — ) ') 'Х ' — ) )~)хиь) —, Ьл шй ~31 жжьс « -Ьс~й ЗС>С>К « к с ЬК>С "С М >СЬСЬС «~ к к П и ни >С "С~ «' ы" й ГС>СЩ 4 нн (9.57) рости с, = и/ои построенные по выз>кеиинм соответственно (9.62) и (9 5!) при различных значениях а' и а!Ь.
Наиболее простые выражения для определения вероятностей перехода молекул через межлопаточные каналы на противоположные стороны „абочего колеса (со стороны 1 — ! на ~горану 1! — 1! и наоборот) пол)чеиы иа основании теоретической модели (рис. 9 60), в которой взаимодействие молекул газа со стенками междопаточного канала подчнаяе>ся диффузному закону (за направление отражения молекул принято преимущественное, совпадающее с нормалью к поверхности стенок канала), а скорости всех молекул одинаковы и равны наиболее вероятной скорости он теплового движения молекил. В этом случае результирующая вероятность перехода молекул через рабочее колеса мсх (421 ср й)п ер)/и = !(1 /(и, )(1 = ьрг ер/>г', )(и срп с /п. (9 54) Средние значения углов ср и 1 ср ср11, характеризующих вероятное>и перехода молекул через межлопаточные каналы рабочего колеса со стороны пониженного давления на сторону по. вышенного давления и в обратном направлении, в предположении, что все молекулы, соударяющиеся с набегающей стенкой лопатки, переходят на сторону повышенного давлении, а молекулы, соударяющнеся с уходящей поверхностью лопатки, переходят на сторону пониженного дав.щния (6>= = ! = О).
определяют по формулам: — 2 (а/Ь) соз сс -(- ! ] -! (! сов а ] Х вЂ” —,) Х~О,бн — а+ асс!6) а! соз ], З(П )Х МЕХАНИЧЕСКИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ э,з аг ээ з йг по аз йг с, г) г) Тогда результирующая вероятность 4 перехода молекул через рабочее колесо:: при учете уравнений (9.55) Кмзз = 9))т ср/я . (9.58) Максимальную быстроту откачки колеса определяют по формуле (9.50). Максимальное о~ношение даеленэй в рабочем колесе ТМН /9.59) тмзз ~Р1 ор)ч11 ср' Уравнения (9.58] и 19.59) дли апре деления основных параметров от качной характеристики рэбочег~ колеса ТМН применимы при сз =- и'ои (1,0 по пРинЯтомУ допуще иию. Ступень ТМН состоит иэ враже"' щегося рабочего колеса и распел ' - поло' женного эа ним неподвижного статер ного колеса, имеющего, как правил ' Рзс, В.ВВ. тзорзтдчзгззз модель язззчодз мозззуз гззз через моизоззточзыз каналы рабочего «оззгз ори постоянстве из скорости з отззигииз от ооззэзиогзм ззмззоз яо иоэмззм Рдз.
В.ВВ. эззисммость зозудьтмвуммза зовозтмогтз к „(а- ° ) и мззгзмззьзого озмоызмиз дзззззиа т (г-з) от отзосмтззьиоа скорости гт ояв рзззичоыз зззчзззз» а оззз и а/Ь Гвдбомо гзвззрзмг загомз те ж Р Р ° что и РотоРное колесо. Из результатов таоретическог Прн рассмотрении процесса перехода лиза следует. и гекул газа через межлопаточные для обеспечения высокой вероятно. к палы или пазы статорного колеса сти перехода молекул через рабочее ,чнтывэют ноздействие вращающихся колесо, а следовательно, и й о ных колес, Ротор ес, расположенных быстроты откачки при удовлетво и.
яо обе стоРоны от статоРиого колеса, тельных значениЯх т б о етвори. нео ходимо „а скорость теплового движения мо- выбирать угол наклона паза . н паза нли уста. лекую нонки лопатки в пределах сг = 35 ... ((отоки молекул газа, проходящих 40' при а/Ь = 1,0 ... 1,4. через межлопаточные каналы или пазы для достижения позы повышенных значе- стэторного колеса на его противо- иий т при обеспече мз» ри еспечении достаточно иоложные стороны, определяют, как высоких значений К б нео ходимо я для роторного колеса, с учетом вли- принимать а = 10 ... 20' /ь =- яиия окружной скорости роторных = 0,6 ...
0,8; при оЬ=- хсьтес, т. е. по формулам (9.54) — для увеличения быстроть ( . ) .. !6 в зависимости рабочего колеса и отмок~ения давлений д Еуз нлн по табл. 9. д откачки от геоыетрнческих параметров меж- необходимо увеличивать его частоту донаточных каналов и относительной вращения; скорости с, для улучшения откачной характериВсзи с какой. либо стороны статор- стики рабочего колеса практически ного колеса нет роторного колеса нецелесообразна закрутка лопаток (э начале илн конце пакета рабочих по радиусу. кодес), пои определении реэультнру- Эти рекомендации важны при фор- ющей вероятности перехода молекул мировании пакета рабочих колес на- газа с этой стороны угол грср полагают соса.
Использование в пакете рабо- Рээным Усв т е Каза = ру ср/н, чих колес с малыми значениями сз эричем тмз» = (уер+ рт ср)/уев прн и а/Ь оправдано при малом потоке отсутствии Роторного козеса после зазовыделення с )етазей т статооного, т = з с, алей ротора и вну- Р низ = Уср(уср )'зср] тренней поверхности корпуса насоса при отсутствии роторного колеса перел При большом потоке выделения газов стзториым с большои молекулярнои массой для Откачная характеристика рабочего . всего рабочего пакета может оказаться колеса н ее основные параметры (ма- целесообразным применение колес Вснмальная быстрота откачки и ма- с открытыми межлопаточиыми кана- Всимально«отношение давлений) при лами постоянной относительной скорости с, При работе на газах с разл ичиой Р ютс геометрией межлопа- молекулярной нассой быст ота дей- точных каналов или пазов.
рота деВыбо ' гла Вз ствия ТМН зависит от скорости теплоыбор угла Вз нанлона паза или ваго движении молекул откачиваемого установки лопот ок и отношения о/Ь газа, влияющей иа сопротивление учадля межлопаточи ого канала прн кон-, стка от входного сечения всэсыва. т б ВРетных значениях с ре ованнями, п с, определяется юшего патрубка до первого рабочего чему колесу ТМ редъявляемыми к рабо- колеса со стороны всасывання. Нз .
быстроту действия насоса влияет так- Ро"и всасыванн ервые рабочие колеса ТМН 1со сто- же проводимость кольцевого заз я) должны создавать через который перетекает откачива- ет Вхсималь но в качки, так к оэможную быстроту емый гаа: поток газа воэрастае п и зк они определяют меньшеннн молекулярной массы газа, т р огу д " твия вакуумного на- гсменьшение отношение давлени" м 'гтрстз ейс лу щи рабочие колеса значительнее, чем меньше малек ляа После ю ие й те д лжны обеспечивать макси ная масса откачиваемого газа ВСОСа о отношение данае. Снижение температуры откачнва' эчьно возможное чтобы необходимое общее атно- емого газа незначительно алия а иие давлений с ет н создавалось насосом быстроту действия насоса и приводи меньшим числом рабочих к существенному увеличению отиошеозможно т ния давлений.
/ПЕХАНИЧЕСКИЕ ЕАКУУЩНЫЕ НАСОСЫ ууяаеыелеяуеляыые насосы С еэ/50 (4125 Ф00 (9.63) где (9.64) Ряс. 9.Ш. Схеме е расчету диеэеэеге ра" Зеееге «елеее Расчет рабочих колес ТМН. Задача ' расчета рабочего колеса ТМН состоит в определении конечного и начального диаметров лопаток или высоты паза (эля принятой геометрии межлопатачных каналов), числа лопаток или па. эоэ, ширины рабочего колеса, прн которых для минимального наружного диаметра обеспечивается заданная быстрота откачки.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
