ДЗ №2 - Установка электронно-лучевого напыления Temescal FC2000 (1036419)
Текст из файла
Рубцов Максима Алексеевич, МТ11-18 (М)
Установка электронно-лучевого напыления Temescal FC2000
Установка предназначена для нанесения тонких плёнок различных материалов на подложки электронно-лучевым методом. Идея заключается так же в том, чтобы наносить несколько слоёв за один процесс. Таким образом данная установка позволяет наносить покрытия для резистивных элементов и для создания транзисторов.
Рисунок 1 – схема электронно-лучевого распыления
В настоящее время существует большое количество видов нанесения тонких плёнок. Электронно-лучевой метод распыления является очень универсальным с повышенной точностью, хотя с другой стороны , подобное оборудование является очень дорогим на современном рынке. Данная установка скорее является универсальной, так как она подходит и для массового производства чипов, так и для экспериментов: это является большим плюсом при разработке и отработке технологии производства.
Таблица 1 – Сравнительный анализ трёх аналогов установки
| № | Наименование показателя качества, дополнительная информация | Temescal FC2000 | Kurt J. Lesker lab18 | STE EB 48 |
| 1 | Фотография |
|
|
|
| 2 | Страна | США | Великобритания | Россия |
| 3 | Ссылки | https://www.temescal.net/systems/BJD-2000/ | http://equip.eltech.com/1829-ustanovka-vakuumnogo-napyleniya-kurt-j-lesker | http://www.rusnanonet.ru/download/nano/file/ste_eb_48.pdf |
| 4 | Быстродействие | 6 подложен 100х100 за 1 час | 4 подложки за 45 минут | Одна подложка за 30 минут |
| 5 | Надёжность | Высокая | Высокая | Средняя |
| 6 | Безопасность | Не высокая (рентгеновское излучение) | Высокая (полностью закрытый корпус) | Средняя |
| 7 | Точность | До 1% при использовании масок (не работает в случае многослойного напыления) | До 5% | До 5 % |
| 8 | Комфорт | Очень комфортабельная | Работать на этой установке – одно удовольствие | Средний комфорт |
| 9 | Эстетика | Современный красивый вид | Кому как нравится, но единый корпус в одном стиле добавляет к эстетической характеристике | На вкус и цвет, но открытая установка у многих не вызывает эстетического наслаждения |
| 10 | Транспортабельность | Перевозка оборудования не вызывает особого труда | Транспортабельность осложнена размерами, однако удобна за счёт того, что установка в одном корпусе | Сложно транспортировать так как есть большое количество открытых коммуникаций, приводов и т.п. Хотя для перевозки прилагается транспортировочная тара |
| 11 | Автономность | Установка может выполнять процессы полностью в автоматическом режиме, а так же ей можно управлять дистанционно | Установка может работать в автоматическом и полуавтоматическом режиме | Средний уровень автоматизации |
| 12 | Цена | Проблема цены связана с курсом доллара, а так же с закрытостью американских коллег | Высокая за счёт геополитических особенностей современного мира | Дешёвая за счёт отечественного производства |
| 13 | Универсальность | Возможность напыления на любые подложки любых материалов (до 6-ти тиглей) | До 3-х тиглей – то есть максимум три материала за один процесс | Всего один материал можно наносить за один процесс |
На предприятии ОАО «НПП «Пульсар» наибольший уклон делается не на скорость производства, а на качество. Исходя из этого работа будет основана на увеличении точности напыления различных материалов с помощью анализа и модернизации системы вращения подложек. Таким образом будет уменьшена погрешность, что очень важно, так как эта операция является одной из первых в цепочке производства современных плат. Чем точнее проходит первая операция – тем логичней будет производиться анализ последующих операций.
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
