Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026 (1036418)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Куликова Людмила Андреевна, МТ11-18 (М)

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026

Установка предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину контактным экспонированием фоторезистивного слоя пластины при фотолитографических процессах изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

В современных установках достигнуты новые рекорды в точности совмещения и качестве экспонирования. Точность современного оборудования достигает 0,1 микрон а однородность пучка до 1%. Так же оборудование в зависимости от назначения может обладать гибкостью в использовании для разных задач. С другой стороны, установки для массового производства создаются для выполнения одной цели в указанных пределах погрешности. Говоря о первых – установки могут обладать сменными лампами для различного рода излучений, а так же работать с различными размерами и геометрическими формами пластин, тогда как установки для массового производства предназначены для чего-то одного. Так же установки обладают различной степенью автоматизации. В наше время наиболее распространены автоматические и полуавтоматические установки. Полуавтоматические установки позволяют человеку контролировать процессы на каждом этапе, тогда как автоматические позволяют работать вне зависимости от человека и в опасной среде.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания