Сравнение установок совмещения и экспонирования пластин (1036417)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Куликова Людмила Андреевна, МТ11-18 (М)

Установка совмещения и экспонирования ЭМ-5026

Установка предназначена для совмещения изображений на фотошаблоне и полупроводниковой пластине и переноса изображения с фотошаблона на пластину контактным экспонированием фоторезистивного слоя пластины при фотолитографических процессах изготовления интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.

Рисунок 1 – излучения, которые используются при экспонировании

В современных установках достигнуты новые рекорды в точности совмещения и качестве экспонирования. Точность современного оборудования достигает 0,1 микрон а однородность пучка до 1%. Так же оборудование в зависимости от назначения может обладать гибкостью в использовании для разных задач. С другой стороны, установки для массового производства создаются для выполнения одной цели в указанных пределах погрешности. Говоря о первых – установки могут обладать сменными лампами для различного рода излучений, а так же работать с различными размерами и геометрическими формами пластин, тогда как установки для массового производства предназначены для чего-то одного. Так же установки обладают различной степенью автоматизации. В наше время наиболее распространены автоматические и полуавтоматические установки. Полуавтоматические установки позволяют человеку контролировать процессы на каждом этапе, тогда как автоматические позволяют работать вне зависимости от человека и в опасной среде.

Таблица 1 – Сравнительный анализ аналогов трёх установок

Исходя из этих показателей качества, в современном мире требуется работать в сторону повышения качества. Исходя из этого будет модернизирован координатный стол с точки зрения повышения комфорта работы оператора на установке при увеличении или, как минимум, не ухудшении точности. В работе будет выполнен анализ и синтез структурно-компоновочных схем проектируемого объекта; сравнительные расчёты вариантов по критериям работоспособности и выходным параметрам. Обоснование и выбор оптимального варианта на основе анализа аналогов выбранного оборудования. Будет составлено техническое задание на требуемые параметры разрабатываемого узла объекта, а так же подразумевается разработка принципиальной схемы установки.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания