12_Литография (1002200), страница 2
Текст из файла (страница 2)
Рис. Матрица инжекторов.
Рис. Схема печати полимерных материалов на гибком основании и фотография матрицы полимерных транзисторов.
Рис. Капельная печать на неплоскую поверхность изолятора.
Химический сканирующий туннельный микроскоп. Возможна печать с помощью «наночернил» (nanoink), стекающих в водной среде (Water) с зонда СТМ (Ink-coated Pen) на подложку (Substrate).
Рис. Печать с помощью «чернил» NanoInk.
По аналогичной схеме проводится термохимическая литография полимерной пленки. Кремниевый зонд АСМ нагревается до температуры порядка 1000ºС. Повышенная температура способствует переходу гидрофобности полимерной пленки в гидрофильность и, следовательно, появляется возможность присоединения ионов металлов и ряда химических веществ к полимерной пленке. Разрешающая способность термохимической литографии - 12 нм, скорость нанесения: S = 0.0001 мм/с. Вакуум не требуется.
Рис. Схема установки для термохимической литографии на основе многозондовой АСМ.
Перенос изображения со штампа. Технология основана на методе микроконтактного печатания и обеспечивает высокую точность. Используемые для печати растворы можно менять, также можно составлять библиотеки готовых образцов и быстро их наносить.
Рис. Литография гибкой электроники.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
