Металлизация с использованием магнетронного источника
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Металлизация с использованием магнетронного источника
Идея метода
Электроны, ускоряясь в электрическом поле, производят ионизацию газа, например, аргона. Ионы аргона ускоряются в электрическом и магнитном полях и фокусируются на поверхности металлической мишени. При этом плотность потока ионов достигает значительной величины.
В промышленных установках используют конический или планарный источники (см. рис. 1, 2).
В коническом магнетроне используют концентрический анод и катод, а магнитное поле создают постоянными магнитами.
В планарном магнетроне используют как постоянные, так и электромагниты.
Преимущества метода
- низкий импеданс изготавливаемых приборов,
- высокая скорость формирования пленок (1 мкм/мин),
- возможность одновременной обработки большого числа пластин (использование планарных держателей подложек),
- относительно малый поток проникающего излучения (за счет меньшей, чем при ионном распылении величины напряженности электрического поля).
Недостатки метода
- внедрение аргона в пленку,
- наличие проникающего излучения.