Механизм проникновения ионов в подложку
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Механизм проникновения ионов в подложку
Введем понятия:
R - общая длина пробега;
Rp - проецированная длина пробега;
DRp - флуктуации величины;
Rp DRt - боковое рассеяние.
Распределение внедренных атомов по глубине мишени оценивается с помощью симметричной функции распределения Гаусса:
максимизируем на расстоянии x = Rp. Через дозу
Оказалось, что экспериментальные профили не симметричны. Для учета несимметрии необходимо более тщательное исследование профилей распределения ионов.