Сравнение различных методов осаждения пленок
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Сравнение различных методов осаждения пленок
В следующей таблице представлен сравнительный анализ методов осаждения из парогазовой смеси и плазмохимического осаждения.
| Методы осаждения из парогазовой смеси | Плазмохимическ. осаждение | |||
| Атмосферное давление | Пониженное давление | |||
| Низкие температуры | Высокие температуры | |||
| Температура, °C | 300-500 | Рекомендуемые материалыFREE Маран Программная инженерия Техническое задание Управление проектами. 353 ответа на вопросы к экзамену, зачету или тесту Проектирование подстанции 220/35/10 кВ Особенности психологического консультирования при различных реакциях на стресс -51% Задача 4-35 300-500 | 500-900 | 100-350 |
| Материалы | SiO2 | SiO2 | поликремний, SiO2, Si3N4 | SiNx, SiO2 |
| Назначение | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивирование, изоляция |
| Производительн. | Высокая | Высокая | Высокая | Низкая |
| Воспроизводим. | Плохое | Плохое | Конформное | Плохое |
| Наличие пылевидных частиц | Много | Мало | Мало | Лекция "13 Процесс воспроизводства" также может быть Вам полезна. Много |
| Качество пленок | Удовл. | Удовл. | Высокое | Низкое |
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
