Технология изделий интегральной техники - лекции
Введение в технологию изделий интегральной техники
Физическая природа свойств твёрдых тел в микроэлектронике
Фазовые диаграммы и твердые растворы в микроэлектронике
Структура твердотельных интегральных микросхем
Диффузионные процессы в твердых телах
Основы ионного легирования полупроводников
Технологические основы микроэлектроники: эпитаксия и подготовка пластин
Литература по технологии интегральных схем











