Введение
Введение
Научный этап в развитии вакуумной техники начинается еще с 1643 года, когда в Италии Торричели измерил атмосферное давление. В 1672 г. в Германии О.Герике изобрел механический поршневой насос с водяным уплотнением, что дало возможность проведения исследований свойств разреженного газа.
В 1873 г. А.Лодыгин изобрел первый электровакуумный прибор - лампу накаливания с угольным электродом. В 1883 г. Т.Эдиссон открыл термоэлектронную эмиссию.
В начале ХХ века были изобретены широко применяемые в настоящее время вакуумные насосы - вращательный, криосорбционный, молекулярный, диффузионный.
Техническое применение вакуума непрерывно расширяется, но с конца прошлого века и до сих пор наиболее важное его применение - электронная техника. Низкий и средний вакуум применяется в осветительных приборах и газоразрядных устройствах. Высокий вакуум - в приемно-усилительных и генераторных лампах, в электронно-лучевых трубках и сверхвысокочастотных приборах. Особенно широко вакуумная техника применяется в производстве микросхем, где процессы нанесения тонких пленок, ионного травления обеспечивают получение элементов электронных схем субмикронных размеров.
В металлургии плавка и переплав металлов в вакууме освобождает их от растворенных газов, благодаря чему они приобретают высокую механическую прочность, вязкость и пластичность. Сверхчистые вещества, полупроводники, диэлектрики изготавливаются в вакуумных кристаллизационных установках.
Диффузионная сварка в вакууме позволяет получать неразъемные герметичные соединения материалов с сильно различающимися свой-
ствами. Высококачественное соединение материалов с однородными
Бесплатная лекция: "7.3 Вопросы, задания и тесты" также доступна.
свойствами обеспечивает электронно-лучевая сварка в вакууме.
Применение вакуумных технологий позволяет получать упрочняющие и защитные покрытия, обладающие уникальным набором свойств.
Вакуумное осаждение выгодно отличается от других методов прецизионностью, практически неограниченными возможностями управлять структурой и свойствами покрытий, возможностью получать сочетания металлических и неметаллических материалов в покрытии практически недостижимые другими способами.
Типовая вакуумная установка включает в себя вакуумную камеру, насосы, соединительные трубопроводы, вакуумные затворы и средства контроля вакуума. Стандартами приняты следующие условные обозначения элементов вакуумных систем, рис 1:
Рис. 1. Условные обозначения элементов вакуумных систем на схемах