Сравнение различных методов осаждения пленок
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Сравнение различных методов осаждения пленок
В следующей таблице представлен сравнительный анализ методов осаждения из парогазовой смеси и плазмохимического осаждения.
Методы осаждения из парогазовой смеси | Плазмохимическ. осаждение | |||
Атмосферное давление | Пониженное давление | |||
Низкие температуры | Высокие температуры | |||
Температура, °C | 300-500 | Рекомендуемые материалыFREE Маран Программная инженерия Техническое задание Управление проектами. 353 ответа на вопросы к экзамену, зачету или тесту Особенности психологического консультирования при различных реакциях на стресс Отчет по производственной практике (по профилю специальности 44.02.01 Дошкольное образование) ПМ 02. Организация различных видов деятельности и общения детей Проектирование подстанции 220/35/10 кВ 300-500 | 500-900 | 100-350 |
Материалы | SiO2 | SiO2 | поликремний, SiO2, Si3N4 | SiNx, SiO2 |
Назначение | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивирование, изоляция |
Производительн. | Высокая | Высокая | Высокая | Низкая |
Воспроизводим. | Плохое | Плохое | Конформное | Плохое |
Наличие пылевидных частиц | Много | Мало | Мало | Лекция "13 Процесс воспроизводства" также может быть Вам полезна. Много |
Качество пленок | Удовл. | Удовл. | Высокое | Низкое |