Сравнение различных методов осаждения пленок
2020-06-032021-03-09zzyxelСтудИзба
Сравнение различных методов осаждения пленок
В следующей таблице представлен сравнительный анализ методов осаждения из парогазовой смеси и плазмохимического осаждения.
Методы осаждения из парогазовой смеси | Плазмохимическ. осаждение | |||
Атмосферное давление | Пониженное давление | |||
Низкие температуры | Высокие температуры | |||
Температура, °C | 300-500 | Рекомендуемые материалыFREE Маран Программная инженерия Техническое задание КМ-3. Сравнение CMS-систем. Контрольная работа - выполню за вас в кратчайшие сроки! Задача 435: В задачах 428 – 443 определите энтропию 1 моль газа при указанном давлении p и постоянной температуре 298 K. Укажите, увеличивается или уменьшается энтропия вещества при изменении давления от стандартного к заданному. Значения энтропии пр ТРАНСФОРМАТОР ТМ 1600/35 Трансформатор ТМ 400/35 300-500 | 500-900 | 100-350 |
Материалы | SiO2 | SiO2 | поликремний, SiO2, Si3N4 | SiNx, SiO2 |
Назначение | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивиров., | Пассивирование, изоляция |
Производительн. | Высокая | Высокая | Высокая | Низкая |
Воспроизводим. | Плохое | Плохое | Конформное | Плохое |
Наличие пылевидных частиц | Много | Мало | Мало | Лекция "13 Процесс воспроизводства" также может быть Вам полезна. Много |
Качество пленок | Удовл. | Удовл. | Высокое | Низкое |