Электрические параметры

2.1. Электрические параметры

Пластины могут иметь p- или n-тип проводимости, определяемый использованным легирующим элементом:

p-тип: B – бор,

n-тип: Р – фосфор, Sb – сурьма,  As – мышьяк.

      Степень легирования определяет удельное  электрическое сопротивление пластин, обычно измеряемое в Ом·см (рис. 2.2., табл.2.1).

Рис. 2.2. Зависимость удельного сопротивления кремния от концентрации легирующих    примесей

Как следует из  рис. 2.1 и таблицы 2.1, при увеличении концентрации примеси (повышении степени легировании) сопротивление кремния уменьшается. 

Таблица 2.1.                                                             Уровни легирования кремния

"3.5 Наличие нескольких целей" - тут тоже много полезного для Вас.

Важным параметром является также радиальное изменение удельного сопротивления от среднего значения по пластине, определяющее разброс параметров формируемых на ней структур.

Для измерения, как удельного электрического сопротивления, так и  его радиального градиента, используется 4-х зондовый метод. В последнем случае измерения в соответствии со стандартом ASTM F81проводятся в пяти точках на пластине (рис. 2.3).

Рис. 2.3. Расположение контрольных точек при измерении радиального градиента электрического сопротивления

Значение Р₁ в центре принимается за удельное  электрическое сопротивление, а его градиент (RRG - Resistivity Radial Gradient) в процентах вычисляется по формуле:

                              .