Курсовая работа: Установка лабораторного типа на основе напылительной системы фирмы Balzers
Описание
Содержание.. 1
Задание на курсовой проект.. 2
Аннотация.. 3
Введение. Описание интерфейсов установки.. 4
Описание процессной модели.. 7
Описание программы управления установкой.. 11
Экран оператора. 11
Работа с программой.. 11
ТЗ и ТП на САУ установкой.. 13
Общие требования к алгоритму управления. 13
Функции системы.. 13
Режимы работы.. 13
Процессы, реализуемые в системе. 14
Основные целевые процессы.. 14
Сервисные процессы.. 15
Процессы коррекции цели. 15
Построение аппаратной части САУ.. 16
Система исполнительных механизмов. 16
Система электропитания и электроавтоматики. 16
Перечень информационных сигналов системы управления. 16
Описание комбинированной функциональной схемы... 18
Информационный поиск элементов САУ.. 21
Описание монтажной схемы... 30
Заключение.. 31
Список использованных источников.. 32
по курсу «Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Принципиальная электрическая схема..................................1 л.
1.Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2.Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3.Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
-перечень элементов ПЭ;
-перечень потоков и сигналов ПС;
-технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
6. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
Заключение.
Курсовой проект содержит 4 графических листа, выполненных в пакете AutoCAD 2008, и 1 лист, выполненный в пакете CorelDraw. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2003, содержит ТТ листов. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения многослойных триботехнических покрытий.
1-ый лист (САУ 23-02.00.00 ПМ) содержит процессную модель работы САУ. На нем же содержатся 4 алгоритма работы отдельных процессов. Алгоритмы максимально облегчены для более понятного чтения, в РПЗ содержится подробное описание работы САУ.
2-ой и 3-ий листы (САУ 23-02.00.00 С2) содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, на листах так же представлено разбиение процесса напыления на подпроцессы и схема блочного соединения САУ.
На 4-ом листе (САУ 23-02.00.00 Э4) представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.
На 5-ом дополнительном листе, выполненном в формате coreldraw, представлен предполагаемый экран оператора с перечнем отображаемой информации на нем.
Введение. Описание интерфейсов установки
Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки нанесения многослойных тонкопленочных покрытий триботехнического назначения. Данная установка является установкой лабораторного типа на основе напылительной системы фирмы Balzers. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.
Общий вид установки представлен ниже:
Рисунок 1
Основными элементами являются:
·Вакуумная система (диффузионный и механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики)
·Камера (нержавеющая сталь, цилиндр: ø330 мм, высота 420 мм)
·Система напыления (АИИ+2 магнетрона)
·Газовая система (2 баллона с азотом и аргоном, система клапанов)
·Система приводов (на образец, на заслонки)
Технические требования:
1.Напряжение питания 3 50 Гц, 380 В/ 220 В
2.Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С
3.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом
Технические характеристики:
1. Предельное давление в камере - 10 Торр
2. Рабочее давление АИИ - 5*10 Торр
3. Рабочее давление магнетрона (3..8)*10 Торр
4. Время достижения в камере давления 10 Торр без прогрева
рабочего объема камеры - порядка 30 мин
5. Ток разряда каждого магнетрона - 0,6..2,2 А
6. Подача рабочих газов (аргон, азот) с точностью поддержания
заданного расхода - не более 1%
7. Частота вращения ввода - 10 , нерегулируемая
8 Внутренний диаметр камеры - 450 мм
9. Расстояние от оси вращения вакуумного ввода до каждого
из магнетронов и АИИ - 180 мм
Напыляемые образцы крепятся на оснастку внутри камеры, перемещения образцов осуществляются между АИИ и 2 магнетронами, процесс напыления прекращается по достижении пленкой определенной толщины.
Целевой интерфейс
Установка предназначена для нанесения многослойных покрытий с использованием 2-ух магнетронов на образцы с оптимальными габаритами до 150 мм. Производительность зависит от конструкции оснастки.
Механический интерфейс
Габаритные размеры установки: 1240х745х2250 мм. Установка не предъявляет особых требований к фундаменту, механический насос для комфортной работы оператора требует демпфирующих подставок.
Энергетический интерфейс
Питание установки производится от сети с напряжением 220×380 В и частотой 50 Гц. Мощность, потребляемая установкой – 10кВт.
Информационный интерфейс
Информационный интерфейс после разработки САУ будет состоять из процессорного модуля СPC-106 фирмы Fastwell, который монтируется в корпусе в стойку. К данному модулю через соответствующие интерфейсы присоединяются локальные микроконтроллеры управления шаговыми двигателями, системой напуска газа, измерения толщины, управления работой магнетронов, панель оператора, система ввода информации (клавиатура).
Предусмотрена работа как в автоматическом режиме, так и в режиме полуавтомата, с контролем действий оператора.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- Установка лабораторного типа на основе напылительной системы фирмы Balzers
- Лист 5.cdr 87,12 Kb
- Листы 1-4.dwg 567,34 Kb
- Презентация.ppt 623,5 Kb
- Прочти меня.txt 141 b
- САУ.doc 4,46 Mb
Начать зарабатывать