Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Технология приборостроенияМЭМСМЭМС
2023-09-022023-09-02СтудИзба
Реферат: МЭМС
Описание
Содержание
1. Основные понятия и определения………………………………….……….3
2. История развития МЭМС……………………………………………………3
3. Изготовление МЭМС устройств…………………………………………….7
3.1. Материалы для изготовления……….………………………….……..7
3.2. Технологии изготовления………………………………………….….7
3.2.1. Кремниевая объемная обработка…………..…………….….7
3.2.2. Кремниевая поверхностная микрообработка…………..…10
3.2.3. LIGA технология……………..……………………………..11
3.2.4. SIGA технология……………………..……........…………..14
3.2.5. Волоконная технология…………………………………….15
3.2.6. Технология корпускулярно-лучевого формообразования………………………………………….15
4. Актюаторы…………………………………………………………………..17
4.1. Электростатические актюаторы…………………………………….18
4.2. Магнитные актюаторы………………………………………………19
4.3. Пьезоэлектрические актюаторы…………………………………….21
4.4. Гидравлические актюаторы…………………………………………22
4.5. Тепловые актюаторы……………………………………...…………22
5. Области применения технологии МЭМС………………………………...24
5.1. Датчики давления…………………………………...……………….24
5.2. Инерциальные датчики……………………………………………...25
5.3. Измерительные преобразователи…………………………………...27
5.4. Микромеханические иглы…………………………………………...28
5.5. Микрохирургические инструменты………………………………...28
Список литературы……………………………………………………………..30
1. Основные понятия и определения………………………………….……….3
2. История развития МЭМС……………………………………………………3
3. Изготовление МЭМС устройств…………………………………………….7
3.1. Материалы для изготовления……….………………………….……..7
3.2. Технологии изготовления………………………………………….….7
3.2.1. Кремниевая объемная обработка…………..…………….….7
3.2.2. Кремниевая поверхностная микрообработка…………..…10
3.2.3. LIGA технология……………..……………………………..11
3.2.4. SIGA технология……………………..……........…………..14
3.2.5. Волоконная технология…………………………………….15
3.2.6. Технология корпускулярно-лучевого формообразования………………………………………….15
4. Актюаторы…………………………………………………………………..17
4.1. Электростатические актюаторы…………………………………….18
4.2. Магнитные актюаторы………………………………………………19
4.3. Пьезоэлектрические актюаторы…………………………………….21
4.4. Гидравлические актюаторы…………………………………………22
4.5. Тепловые актюаторы……………………………………...…………22
5. Области применения технологии МЭМС………………………………...24
5.1. Датчики давления…………………………………...……………….24
5.2. Инерциальные датчики……………………………………………...25
5.3. Измерительные преобразователи…………………………………...27
5.4. Микромеханические иглы…………………………………………...28
5.5. Микрохирургические инструменты………………………………...28
Список литературы……………………………………………………………..30
Характеристики реферата
Тип
Предмет
Учебное заведение
Семестр
Просмотров
4
Покупок
0
Размер
2,98 Mb
Список файлов
- Реферат МЭМС (Автосохраненный).docx 2,98 Mb