Курсовая работа: Установка плазмохимического травления

«ОСНОВЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ ЭЛЕКТРОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ»

по теме:

УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

г. Москва, 2015

Ю. Н. Смирнов Ю. Н. Литвак

РЕФЕРАТ

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ, а также правилами и методами составления технического задания на программное обеспечение САУ.

Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в пакете КОМПАС-3D V15. Записка по проекту объёмом 30 страниц машинописного текста, выполнена в программе Microsoft Word 2010. Отчёт содержит введение; пять основных разделов, содержащих 24 рисунка, 2 таблицы, заключение и список использованных источников.

1-й лист (КПС) содержит комплексную принципиальную схему САУ.

2-й лист (ФС) содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, а также пневмосистему.

3-й и 4-й листы (ЭЗ) содержит принципиальную электрическую схему соедине- ний САУ

5-й и 6-й листы (ПМ) содержат процессную модель САУ.

Ключевые слова:

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ, СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ.

СОДЕРЖАНИЕ

Введение............................................................................................................................................. 5

• Описание установки и ее интерфейсов......................................................................................... 6
• Процессная модель......................................................................................................................... 7
• Описание комплексно-принципиальной схемы........................................................................... 8
  1. Перечень сигналов системы управления............................................................................... 9
  2. Перечень элементов системы............................................................................................... 11
• Информационный поиск элементов САУ и исполнительных механизмов............................. 12
  1. Элементы САУ....................................................................................................................... 13
     1. Контроллер ADAM-5510E/TCP..................................................................................... 14
• Элементы вакуумной системы.............................................................................................. 15
  1. Механический насос....................................................................................................... 15
  2. Турбомолекулярный насос Edwards Next400D............................................................ 16
  3. Термопарный датчик вакуума APG.............................................................................. 17
  4. Регулятор расхода газа................................................................................................... 18
  5. Датчик термопарный ТП.ХК(L).................................................................................... 18

1. Источники питания................................................................................................................ 19
   1. ИСП.................................................................................................................................. 20
   2. Нормирующего преобразователя ОВЕН НПТ1........................................................... 22

4.7.4 Блок питания 24 В RS-75-24 (RS-150-24, RS-15-24).................................................... 23

1. Силовое оборудование.......................................................................................................... 23
   1. Рубильник ABB OT25F4N2............................................................................................ 24
   2. Автоматический выключатель ABB S 203-D 20 NA................................................... 24
   3. Автоматический выключатель ABB S 203-C 6............................................................ 25
   4. Реле ABB CR-P024DC2.................................................................................................. 26
   5. Клеммы Conta-Clip ZSRK 2.5........................................................................................ 28

• Описание принципиальной электрической схемы.................................................................... 28

Заключение....................................................................................................................................... 29

ВВЕДЕНИЕ

Автоматизация производства – это процесс в развитии машинного производства, при котором функции управления и контроля, ранее выполнявшиеся человеком, передаются приборам и автоматическим устройствам. Автоматизация производства - это основа развития современной промышленности, генеральное направление технического прогресса. Его целью является повышение эффективности труда, улучшение качества выпускаемой продукции, создание условий для оптимального использования всех ресурсов производства. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно, электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

При плазмохимическом травлении используется широкий спектр опасных газов, поэтому высокая степень защита и оперативное аварийное отключение в случае ЧП. В связи с этим присутствует шлюзовая камера, громоздкая, но необходимая вакуумная система требует постоянного контроля, также отслеживания положения образца. Небольшие потоки газов вкупе с необходимостью поддерживать заданное давление накладывают высокие требования по регулировке параметров и стабилизации процесса. Оператору данная работа не по силам, в то время как компьютер справляется с задачей хорошо. Данными обстоятельствами обусловлены требования, предъявляемые к САУ установки плазмохимического травления.