Установка вакуумного напыления УВН-1

г. Москва, 2014

Аннотация

Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в программе Компас-3D V13. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 26 листов и 17 рисунков, 1 таблицы. В проекте разработана система автоматического управления установкой и процессная модель вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления.

1-ой и 2-ий листы содержат содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.

3-ий и 4-ый листы содержат алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы

На 5-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.

На 6-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.

Содержание

Введение. 4

1 Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.. 4

2 Процессная модель. 5

2.1 Описание процессной модели и целевых параметров. 5

2.2 Сервисные функции. 9

2.3 Функции коррекции цели. 9

3 Описание комплексной принципиальной схемы.. 10

4 ТЗ и ТП на САУ установкой. 12

4.1 Общие требования к алгоритму управления. 12

4.2 Перечень сигналов. 14

5 Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 16

2.1. ТЗ на элементы САУ.. 16

2.2. ТЗ на элементы вакуумной системы.. 19

2.3. ТЗ на силовой модуль и источники питания. 23

Заключение: 25

Список используемой литературы.. 26

Введение.

Установка вакуумного УВН-1 предназначена для проведения лабораторных работ по нанесению тонких пленок 3 различными методами: дуговым, термическим и магнетронным.

Цель курсового проекта: разработка процессной модели автоматического магнетронного напыления, составление ТЗ на подбор электронных компонентов оборудования САУ, подбор данных компонентов, разработка принципиальной комплексной, принципиальной электрической схем. Создание интерфейса взаимодействия установки с оператором.

1. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины

Механический интерфейс спроектированной установки включает в себя:

• Клапан-бабочка VAT Series 612 Ду63 (61236-PAGC)
• Угловой клапан VAT 26428
• Пропорциональный клапан напуска газа Aalborg TD1293
• Насос спиральный Edwards xDS10i
• Насос турбомолекулярный Edwards eXT 75
• Шаговый двигатель

К энергетическому интерфейсу относятся:

• Контроллер турбомолекулярного насоса и вакуумметров Edwards TIC
• Блоки питания клапанов
• Контроллер шагового двигателя
• Программируемый логический контроллер Advantech ADAM 5510
• Источник питания постоянного тока TruPlasma Bias 3003