«установка нанесения
многослойных покрытий »

Москва

2013 г

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу

«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».

Тема проекта: Установка нанесения многослойных покрытий

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Комплексная принципиальная схема САУ...................................1 л.
2. Комбинированная функциональная схема....................................................1 л.
3. Алгоритм работы установки..................................1 л.
4. Монтажная электрическая схема соединений САУ……………...1л.
5. Интерфейс программы управления установкой……………...1л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
6. перечень элементов ПЭ;
7. перечень потоков и сигналов ПС;
8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
11. Заключение.

Содержание

Аннотация. 5

1. Введение. 6

1.1 Описание интерфейсов установки. 8

2. Описание комплексной принципиальной схемы.. 9

3. Описание алгоритмов работы установки. 10

3.1. Ответственность программного обеспечения ПК.. 10

3.2. Ответственность программного обеспечения ПЛК.. 10

3.3. Правила обмена данными между ПЛК и ПК.. 11

3.4. Структура описания программного интерфейса ПЛК.. 13

3.5. Алгоритм взаимодействия ПЛК и ПК.. 13

4. Информационный поиск элементов САУ.. 14

4.1. Система управления. 14

4.2 Двигатели и контроллеры управления двигателями: 21

4.3 Газовая система. 24

4.4 Обработка подложек. 26

4.5 Вакуумная система. 30

4.6 Терморегулирование. 31

Заключение. 33

Список использованных источников. 34

Приложение А. Перечень элементов. 35

Приложение Б. Перечень потоков. 37

Аннотация

Курсовой проект содержит 5 графических листов, выполненных в програмных пакетах Autodesk AutoCAD Mechanical 2010. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 33 листов , 20 рисунков и 3 таблицы. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения многослойных покрытий.

1-ой лист содержит алгоритм работы установки

2-ий и 3-ый листы содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.

На 4-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.

На 5-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.

1. Введение

Основной целью курсового проектирования является разработка документации на САУ установки нанесения многослойных тонкопленочных покрытий. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Установка нанесения многослойных покрытий предназначена для нанесения покрытий путем распыления материалов мишеней с использованием магнетронного распылителя, вакуумная система снабжена диффузионным насосом и механическим пластинчато-роторным насосом. В камере предусмотрен ввод вращения, для перемещения заготовок в вакууме в процессе напыления.

Рисунок 1 - Общий вид установки

Основными элементами установки являются:

• Вакуумная система (диффузионный и механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики);
• Камера;
• Система напыления (3 магнетрона);
• Система очистки поверхности (автономный источник ионов (АИИ);
• Газовая система (2 баллона с азотом и аргоном, система клапанов, регуляторы расхода газа);