Курсовая работа: Установка нанесения многослойных покрытий
Описание
Чертежи в PDF

«установка нанесения
многослойных покрытий »
Москва
2013 г
ЗАДАНИЕ
на курсовой проект по курсу
«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».
Тема проекта: Установка нанесения многослойных покрытий
1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.
2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.
3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.
4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.
Содержание графической части.
- Комплексная принципиальная схема САУ...................................1 л.
- Комбинированная функциональная схема....................................................1 л.
- Алгоритм работы установки..................................1 л.
- Монтажная электрическая схема соединений САУ……………...1л.
- Интерфейс программы управления установкой……………...1л.
Содержание расчетно-пояснительной записки.
- Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
- Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
- Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
- Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
- Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
- перечень элементов ПЭ;
- перечень потоков и сигналов ПС;
- технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
- Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
- Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
- Заключение.
Содержание
1.1 Описание интерфейсов установки. 8
2. Описание комплексной принципиальной схемы.. 9
3. Описание алгоритмов работы установки. 10
3.1. Ответственность программного обеспечения ПК.. 10
3.2. Ответственность программного обеспечения ПЛК.. 10
3.3. Правила обмена данными между ПЛК и ПК.. 11
3.4. Структура описания программного интерфейса ПЛК.. 13
3.5. Алгоритм взаимодействия ПЛК и ПК.. 13
4. Информационный поиск элементов САУ.. 14
4.2 Двигатели и контроллеры управления двигателями: 21
Список использованных источников. 34
Приложение А. Перечень элементов. 35
Приложение Б. Перечень потоков. 37
Аннотация
Курсовой проект содержит 5 графических листов, выполненных в програмных пакетах Autodesk AutoCAD Mechanical 2010. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 33 листов , 20 рисунков и 3 таблицы. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения многослойных покрытий.
1-ой лист содержит алгоритм работы установки
2-ий и 3-ый листы содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.
На 4-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.
На 5-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.
1. Введение
Основной целью курсового проектирования является разработка документации на САУ установки нанесения многослойных тонкопленочных покрытий. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.
Установка нанесения многослойных покрытий предназначена для нанесения покрытий путем распыления материалов мишеней с использованием магнетронного распылителя, вакуумная система снабжена диффузионным насосом и механическим пластинчато-роторным насосом. В камере предусмотрен ввод вращения, для перемещения заготовок в вакууме в процессе напыления.
Рисунок 1 - Общий вид установки
Основными элементами установки являются:
- Вакуумная система (диффузионный и механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики);
- Камера;
- Система напыления (3 магнетрона);
- Система очистки поверхности (автономный источник ионов (АИИ);
- Газовая система (2 баллона с азотом и аргоном, система клапанов, регуляторы расхода газа);
Характеристики курсовой работы
Список файлов

Начать зарабатывать