Содержание

Аннотация…………………………………………………………………………2

1.Введение. Описание интерфейсов установки……………………………..…..3

2.Описание комплексной принципиальной схемы………………………..……5

3.Описание процессной модели…………………….……………………………6

4.Описание программы управления установкой………………………………..9

5.ТЗ и ТП на САУ установкой…………………………………………………10

6.Документы сопровождающие комплексную принципиальную схему…….13

7.Информационный поиск элементов САУ……………………………………18

8. Расчет и описание принципиальной электрической схемы…………….….38

9.Заключение……………………………………………………………….....…39

10.Список литературы…………………………………………………….…….40

Аннотация

Курсовой проект содержит 5 графических листов, выполненных в пакете АСКОН КОМПАС V12. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 40 листов. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения тонких пленок металла.

1-ый лист (САУ К6-1-1.00.00.000 ПМ) содержит процессную модель работы САУ. На нем же содержатся 4 алгоритма работы отдельных процессов. Алгоритмы максимально облегчены для более понятного чтения, в РПЗ содержится подробное описание работы САУ.

2-ой и 3-ий листы (САУ К6-1-1.00.00.000 ФС) содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов, а также схема блочного соединения САУ.

На 4-ом листе (САУ К6-1-1.00.00.000 Э3) представлена принципиальная электрическая схема соединений САУ.

На 5-ом дополнительном листе представлен предполагаемый экран оператора с перечнем отображаемой информации на нем.

1.Введение. Описание интерфейсов установки

Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки нанесения тонких пленок металла. Данная установка является установкой лабораторного типа на основе напылительной системы фирмы Balzers. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Общий вид установки представлен ниже:

Рис.1 Общий вид установки

Основными элементами являются:

• Вакуумная система (диффузионный и механический насосы, система клапанов, вакуумные датчики)
• Камера (нержавеющая сталь, цилиндр: ø330 мм, высота 420 мм)
• Газовая система (2 баллона с азотом и кислородом, система клапанов)
• Система приводов (на образец, на заслонки)

Технические требования:

1.Напряжение питания 3 50 Гц, 380 В/ 220 В

2.Давление охлаждающей воды 1,5 атм, расход не менее 0,5 м /ч, температура от 5 до 20 С

3.Сопротивление системы заземления не более 4 Ом

Технические характеристики:

1. Предельное давление в камере - 10 Торр

2. Время достижения в камере давления 10 Торр без прогрева

рабочего объема камеры - порядка 30 мин

3. Ток разряда каждого магнетрона - 0,6..2,2 А

4. Подача рабочих газов (аргон, кислород) с точностью поддержания

заданного расхода - не более 1%

5 Внутренний диаметр камеры - 450 мм

6. Расстояние от оси вращения вакуумного ввода до каждого

из магнетронов и АИИ - 180 мм