Курсовая работа: Установка вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления

Содержание

1.Аннотация…………………………………………………………………………2

2.Введение. ……………………………………..……………………………..…….3

3.Описание комплексной принципиальной схемы………………………..……...7

4.Описание процессной модели…………………….……………………………..9

5.ТЗ и ТП на САУ установкой…………………………………………………....12

6.Информационный поиск элементов САУ……………………………………..18

7. Расчет и описание принципиальной электрической схемы…………….…...46

8.Заключение……………………………………………………………….....…..47

9..Список литературы…………………………………………………….……....48

Приложения……………………………………………………………………....49

1. Аннотация

Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в программе Компас-3D V13. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 49 листов и 29 рисунков. В проекте разработана система автоматического управления установкой вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления.

1-ой и 2-ий листы содержат алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы и схема блочного соединения САУ

3-ий и 4-ый листы содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.

На 5-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.

На 6-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.

2. Введение

Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Установка вакуумного нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления относится к установкам периодического действия и предназначена для формирования чувствительного слоя SnO₂ газового сенсора. Заготовки – стеклянные пластины со слоем диоксида кремния (Sio₂), представляют собой параллелепипеды размером 48х30х1 мм. В основе работы установки лежит способ распыления материалов мишеней с использованием магнетронного распылителя, вакуумная система снабжена турбомолекулярным и спиральным насосами. Заготовки устанавливаются на подложкодержатель в вакуумной камере установки. Подложкодержатель получает вращательное движение от мотор-редуктора через привод. Это вращение необходимо для равномерного нанесения покрытия на всю рабочую область заготовки. Общий вид установки представлен на рис. 1.