" установка нанесения экспериментальных многослойных упрочняющих покрытий"

Москва — 2012 г

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по курсу

«Основы проектирования систем автоматического управления оборудования электронных технологий».

Тема проекта: Установка нанесения экспериментальных многослойных упрочняющих покрытий

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Дать техническое задание и техническое предложение на САУ и основные элементы машины.

4. Разработать принципиальную электрическую схему элемента САУ или САУ в целом.

Содержание графической части.

1. Комплексная принципиальная схема САУ...................................1 л.
2. Алгоритм работы установки....................................................2 л.
3. Комбинированная функциональная схема..................................1 л.
4. Монтажная электрическая схема соединений САУ……………...1л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение. Описание целевого, механического и энергетического интерфейса спроектированной технологической машины.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Техническое задание и техническое предложение на систему управления машины по приведенной в Приложении 1 форме.
4. Описание комплексной принципиальной схемы ФС. Обоснование структурно-компоновочного решения, выбор и согласование уровней потоков элементов.
5. Документы, сопровождающие комплексную принципиальную схему:
6. перечень элементов ПЭ;
7. перечень потоков и сигналов ПС;
8. технические задания на основные подсистемы и узлы машины ТЗ.
9. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ, описание целевого, механического, энергетического и информационного интерфейса этих элементов ОЭ.
10. Расчет и описание принципиальной электрической схемы.
11. Заключение.

Содержание

1. Аннотация. 4

2. Введение. 5

2.1 Описание интерфейсов установки. 9

3. Описание комплексной принципиальной схемы.. 10

4. Описание процессной модели. 11

5. ТЗ и ТП на САУ установкой. 14

5.1 Общие требования к алгоритму управления. 14

5.2 Процессы, реализуемые в системе. 15

5.3 Построение аппаратной части САУ.. 17

5.4 Описание комбинированной функциональной схемы.. 18

6. Информационный поиск элементов САУ.. 20

6.1 Двигатели и контроллеры управления двигателями: 28

6.2 Газовая система. 32

6.3 Обработка подложек. 35

6.4 Вакуумная система. 37

6.5 Система подачи воды на охлаждение компонентов. 43

7. Заключение. 45

8. Список использованных источников. 46

9. Приложение А. Перечень элементов. 47

10. Приложение Б. Перечень потоков. 49

• Аннотация

Курсовой проект содержит 6 графических листов, выполненных в програмных пакетах Autodesk Inventor Professional 2013 и Autodesk AutoCAD Mechanical 2013. Расчетно-пояснительная записка выполнена в Microsoft Word 2010, содержит 49 листов и 29 рисунков. В проекте разработана система автоматического управления установкой нанесения экспериментальных многослойных упрочняющих покрытий.

1-ой и 2-ий листы содержат алгоритм работы установки, разбитый на подпроцессы и схема блочного соединения САУ

3-ий и 4-ый листы содержат комбинированную функциональную схему установки с указанием всех энергетических и управляющих сигналов и перечнем всех элементов.

На 5-ом листе представлена монтажная электрическая схема соединений САУ.

На 6-ом листе представлен интерфейс программы управления установкой.

• Введение

Основной целью курсового проектирования является закрепление знаний, полученных при изучении дисциплины САУ, применение их на практике в процессе разработки документации на САУ установки нанесения многослойных тонкопленочных покрытий. Поставлена задача разработки максимально эффективной САУ с учетом особенностей установки и протекающих процессов.

Установка нанесения многослойных покрытий относится к установкам периодического действия и предназначена для нанесения покрытий на торцевую поверхность пяты осевого резервного подшипника (РП) турбины модульно-гелиевого реактора. В основе работы установки лежит способ распыления материалов мишеней с использованием магнетронного распылителя, вакуумная система снабжена диффузионным насосом с водяной проточной ловушкой и механическим пластинчато-роторным насосом. Заготовка (рисунок 1) в вакуумной камере установки получает вращательное движение от мотор-редуктора через привод. Это вращение необходимо для равномерного нанесения покрытия на всю рабочую область заготовки.

Рисунок 1 - Пята осевого РП

Общий вид установки представлен на рисунке 2.