Установка вакуумного напыления УВН-1 »

Расчетно-пояснительная записка

Москва, 2012 г.

Содержание

Содержание.. 2

1. Введение.. 3

2. Описание процессной модели.. 4

2.1. Деление технологии напыления тонких плёнок методом магнетронного распыления на процессы.. 4

2.2. Выбор сервисных функций. 7

2.3. Выбор функций коррекции цели. 7

3. Описание комплексной принципиальной схемы... 8

4. Информационный поиск датчиков и исполнительных элементов машины и ее САУ.. 9

4.1. ТЗ на элементы САУ.. 9

4.2. ТЗ на элементы вакуумной системы.. 11

4.3. ТЗ на силовой модуль и источники питания. 13

5. Расчет и описание принципиальной электрической схемы... 14

Для определения места положения и порядка соединения элементов КПС при сборке или ремонте разработана схема соединений (Лист 4 – «Схема соединений» ). На схеме соединений представлены элементы БЭА и МП и их соединения. 14

6. Заключение.. 15

Список литературы... 16

ПРИЛОЖЕНИЕ.. 17

1. Введение

Целью данного курсового проекта является автоматизация процессов нанесения тонкопленочных покрытий на малогабаритной вакуумной установке модульного типа, овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок электронных компонентов оборудования САУ.

К механическому интерфейсу установки относятся:

• клапана;
• затворы;
• вентиля;

К энергетическому интерфейсу установки относятся:

• блоки питания;
• контроллеры;
• ПК.

Задачи проекта состоят в:

• распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
• постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнении технической документации на электронные компоненты.

Для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме 4 листов А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм протекания процессов работы установки, таблица процессов (процессная модель). На втором, третьем – комплексная принципиальная схема установки: механика, энергообеспечение, системы автоматического управления. На четвертом листе - принципиальная схема электрических соединений. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.