Курсовая работа: САУ для лабораторной установки нанесения тонких пленок в вакууме с горизонтальной осью

Содержание

Задание на проект……………………………………………………..…………3

Введение………………………………………………………..….……..………4

Описание процессной модели……………………………..………..…..………5

Деление технологии на процессы………………………………….….……..5

Выбор сервисных функций………..……………………………….……...…5

Выбор функций коррекции цели………………..………………….……..…6

Описание комплексной принципиальной схемы………………..……….……7

Расчет электропитания………………………………………………………….9

Техническое задание на элементы и узлы машины……………….…………11

Описание схемы соединений на машину…….…………………...…………..17

Заключение……………………………………………………………...………18

Список использованной литературы………...…………………..…….…....…19

Приложения……………………………………….….………………………....20

ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Тема проекта Лабораторная установка для нанесения тонких пленок в вакууме с горизонтальной осью и камерой большого диаметра

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав ее основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Составить технические задания на проработку отдельных компонентов.

4. На уровне эскизного и рабочего проекта проработать предложенный компонент САУ.

Содержание графической части.

1. Процессная модель машины..................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. Схема соединений на машину...............................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

1. Введение.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Описание комплексной принципиальной схемы.
4. Технические задания на элементы и узлы машины.
5. Описание схемы соединений.
6. Заключение.

Введение

В настоящее время все большее число производств переходит на использование автоматизированного и автоматического оборудования. Без управляющей электроники уже не может обойтись ни одна отрасль промышленности, особенно- электронное машиностроение, где необходимо управление множеством технологических параметров при высочайшей точности и жестких требованиях к соблюдению технологии.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

Задачи проекта состоят в:
—распределении функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
—постановке четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
—выполнении технической документации на электронные компоненты.

В итоге для упрощения работы оператора и повышения производительности предложен вариант полностью автоматизированной установки вместо существующей установки с ручным управлением.

Курсовой проект выполнен в объеме 4-х листов А3 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм работы установки и таблица процессов. На втором и третьем листах- комплексная принципиальная схема установки- механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе- схема соединений на машину. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения СУ установки, даны описания листов проекта.

Описание процессной модели

В данном курсовом проекте разрабатывается процессная модель автоматического управления для лабораторной установки нанесения тонких пленок в вакууме с горизонтальной осью и камерой большого диаметра (см. лист «Процессная модель» ).

Деление технологии на процессы

В работе установки можно выделить следующие основные процессы:

1. Загрузка;
2. Форвакуумная откачка;
3. Байпасная откачка;
4. Высоковакуумная откачка;
5. Технологический процесс;
6. Травление, полирование или активация поверхности образца;
7. Нанесение тонкой пленки методом ионного распыления или ионного осаждения;
8. Байпасное выключение;
9. Выключение;
10. Выгрузка.

На листе «Процессная модель » приведена подробная последовательность действий при проведении каждого из процессов, а также общий алгоритм работы машины.