ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

1. Проработать описание работы машины, выбрать и обосновать состав ее основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов машины. Составить технические задания на проработку отдельных компонентов.

4. На уровне эскизного и рабочего проекта проработать предложенный компонент САУ.

Содержание графической части.

1. Процессная модель ………….................................................1 л.
2. Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
3. _______________________________

_______________________________________

_______________________________________.....................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки

1. Аннотация.
2. Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
3. Описание комплексной принципиальной схемы.
4. Технические задания на элементы и узлы машины.
5. __________________________________________________

(Описание предложенных к проработки элементов САУ0).

1. Заключение.

Московский Государственный Технический Университет

им. Н.Э. Баумана

Кафедра: Электронное машиностроение

кУрсовой проект

по САУ

На тему: «Автоматизированная напылительная установка»

I. Разработка автоматической системы управления.

Система автоматического управления (САУ) предназначена для освобождения оператора от непосредственного участия в производственном процессе, а следовательно, повышении степени непрерывности процесса производства. Автоматизацию производственных процессов проводят по двум направлениям: внедрение нового более совершенного оборудования, механизмов, технологических процессов; модернизацию действующего оборудования. В нашем случае для создания САУ необходимо используется два этих направления. Технология нанесения покрытия разделяется на следующие операции:

• загрузка заготовок;
• формирование низкого вакуума;
• формирование высокого вакуума;
• ионная очистка;
• напуск рабочего газа Аr;
• осаждение М_оS₂;
• контроль изменения сопротивления;
• напуск воздуха в ВК;
• выгрузка.

1. Анализ и выбор физических принципов

проведения процесса.

• Загрузка заготовок осуществляется в ручную. В приводе вращения предусмотрено специальный зажим.
• Формирование низкого вакуума происходит после подачи питания на механический насос. Подача питания осуществляется электромагнитным пускателем, который управляется сигналом поступающий с клавиатуры ПК. Процесс идет до тех пор пока давление в камере не достигнет определенного значения вакуума (Р£1 Па), позволяющего включить диффузионный насос.
• Формирование высокого вакуума осуществляется с помощью диффузионного насоса. Клапаны VE1.1-1.2 должны быть открыты (см. лист 2, комплексная схема установки). Давление в камере контролируется терморезистивным и магниторазрядными датчиками, сигналы которых преобразуются блоком БПДВ-8. По достижению определенного(Р£10^-2 Па) давления начинается следующий процесс.
• Ионная очистка управляется контролером ионной очистки (КИО). После окончания процесса сигнал с КИО поступает на микропроцессор (МК).
• Напуск рабочего газа происходит после открывания клапана VE4. Поток газа регулируется в ручную натекателем VF3 (поток газа устанавливается по мере необходимости).
• Распыление М_оS₂ с помощью магнетрона осуществляется автоматически после подачи рабочего газа в камеру, при определенном давлении. Процесс длится примерно от 30 мин. до 1 часа, при этом заготовка должна вращаться для этого вкл. привод вращения.
• Толщина покрытия, контролируется с помощью «свидетеля» и блока измерение сопротивления. При достижении заданного сопротивления процесс напыления должен быть прекращен.
• Напуск воздуха осуществляется посредством натекателя VF1. Производится в ручную.
• Выгрузка заготовок осуществляется в ручную после остывания образцов.

Критерии начала и конца операций смотри на первом графическом листе.

2.Выбор управляющих и управляемых переменных.

В качестве контролируемых переменных будем использовать следующие:

• сигнал с датчика D1 наличия воды;
• сигнал с датчика D2 наличия воды;
• сигнал с датчика низкого вакуума;
• сигнал с датчика высокого вакуума;
• сигнал с БR.

В качестве управляющих используются:

• сигнал включения магнетрона;
• сигнал включения мех. насоса;
• сигнал включения диф. насоса;
• сигнал включение клапана VE1;
• сигнал включение клапана VE2;
• сигнал включение клапана VE4;
• сигнал КИО «очистить» CL;
• сигнал включение электродвигателя привода вращения;
• сигнал включение КИО «готово».

3. Выбор сервисных процессов.

К сервисным процессам в данном случае можно отнести: индикацию процессов, времени нанесения покрытия и заданное заранее значение сопротивления т.к. это создает удобство в работе и контроле за процессами происходящими в ВК.