Отзыв ведущей организации (Изучение электронного и атомного строения нанослоев Al2O3 при контакте с TiN и диэлектриков на основе SiO2), страница 2

Taкже, нrоoМнrннo вtDкIloTo'ЧTo пoкaзaнo' Чтo B стpyкTypr Y.Alzoз мoжет oбpaзoвьIвaтьсядефицит кислopo.цa.цax(eцpисpaBнитeлЬнoнизкиx теМпepaтypaxпpи пoсле'цyloщrм нaнесrнии MeтaЛлиЧeскoгoэЛeктpo.цaTiNПoсЛe пpедBapитeлЬнoгo BЬIсoкoTrмIlepaтypt{oгooтxмгa'yстpal{яIoщегo дефициткиcлopoдa. Пoлy.rенные peзyлЬTaTы .цoDкI{ЬIспoсoбствoBaтЬ пot{имaниIo фopмиpoвaнияэнеpгетичeскиx бapьepoB ДJIя нoсителей тoкa нa гpaницr .цaHных oкси.цoB c paзлиtlнЬIМифyнкциoнaлЬныМислoями.Пpaктиveскaя знaчи}loсть paбoтьl сoстoит B ToМ,ЧTo ПoЛr{rнныr prзyлЬтaTЬIМoГyгбьrть взяты зa oснoBy ДJUIсoBеpшrнсTBoBaнI4ятеxнoлoгии синTeзa low-k .циэлeщpикoв нa-6-oснoBe Sioz, ПoзBoJIяIoщиxэффeкгивнoизoЛиpoBaтЬМeTaЛличeскиесoeдинителЬныr ЛИНkI|4BМикрoЧипr у| yшreньIшrтгЬпapaзlтгнylo gМкoсть' a тaЮI(е oни дoJDкны cпocoбствoвaтьoптимaлЬнoмy выбopy кpисTllллическoй фaзы Al2oз .ЦJIяrгo испoлЬзoBaниJIB кaЧeсTBrпoдзaтBopнoгo ДиэлеКгpикaB Mffi.щaнзисTop.lxB кaЧeстBеблoкиpyощeгo ДиэЛеКгpикaBэнеpгoнeзaBисиМыxэлеМентaxпaМяTи.C тoчки зpeния ПpaктшlеокoгoпpиМенеHи,IoоoбeннoвФlfi{ы: yстalroBЛение Ir{еxaнизМaoбpaзoвaния пoJlяpизaциol{HoгoсЛoя нa гpaницr YAlzoз/TiN; yсTaнoBлениeoтсyтсTBия oкcи.цaтитaнa Tio2 щи oкиолении TiN сo cTopoны TAlzoз.Bыявленные зaкoнoмepнocти BarкI{ы NIЯ пpaBилЬнoгo пpедскaзaния BeЛичиныэнepгетическoГoбapьepaB cисTrмax oксиД/метaлл.Pезyльтaты, пpе.цстaвлeнныеB Диcсepтaции,пpедсTaBJIяIoтнесoмненный интеpec ДЛЯшиpoкoгoщpyгa исследoвaтелей вoблaсти физики кoн.цrнсиpoBaннoгo сoстoяния,спeциaлистoв в oблaсти изуIeния и синтезa мнoгoслoйныx M$-систeI\iI и мнoгoсЛoйныxэлeМентoB pентгeнoвскoйoптики.спeциaлистaми' paбoтaroщиl,tи вПoлщенныrIOжнoмpезyлЬтaTЬI бyдyгвoсщебoвaныфeдepaльнoм yнивepоигrте' Bopoнeясскoмгoсy.цapстBеннoм yнивrpситeтe, Инотитщe oбщей и нropгaническoй XИN1|4ИиМ.

I{. C.Кypнaкoвa PAH, I{ИI{ <КypчaтoвскийинcтиЦ/T)' Инстltгще нropгaншleскoй химии Co PAHи ФTИ PAH.Hayvнaя нoвизнa paбoтьt вo Мнoгoм oпpодeJIяeTсяaКtyaлЬнoсТЬIoцeЛи и pешaеМыxзa.цaчисслoдoBaния' a тaкI(r opигинaJlЬtloстЬюпoдxo.цa.БoльlпинстBo экспеpиМеHTЕlЛЬнЬIxpезyльтaтoB'пpе.цстaвлrнныxв дaннoй paбoте,былo пorryueнoBпepBыe.Пo диссepтaциoннoйpaбoте кoнarrryкaA.C. мoжнo сделaTЬслeдyloщие зaмечaния:1) B пеpвoй и Bo Bтopoй чaстяx тpeтьeй глaBы пpиBo.ЩrгсясoBMещrHиe в единyюэrrеpгeтичeскyro шкaпy pеHтгенoBскI{x спeктpoв пoгЛoщeни,l И фoтoэлeкгpoнныxспеКгpoB вaлентнoй зoны с испoлЬзoвaнием энepгий сBязи Bнyгprнних щoвней,oпpeдeленныxпo фoтoэлeкгpoннымcпеКгpaМфис.

3.5 сщ. 81 kI p|4c.3.10 стp. 99).У.tитывaя, чтo Sioz я А|zОз яBJlяIoтся .циэЛeщpикaМи,пpиМrнениe pеrrггeнoвскoйфoтoэлекгpoннoй спeкгpoскoпии .цoл>Iснoбыть oслo)кнeнo эффeкгoм пoдзapядкидиэлrщpичeскиxoбpaзцoв. flaннaяпpoблемa BecьМa Barкнa NIЯ пpaвильнoйинтrpпpeтaции пoлyчeнныx pезyлЬтaтoB,oднaкo aBтop ниг.це в paбoтe нe oбсyждaет* T-Boпpoс пo,цзapядки_ кoMпеI{сиpoBaЛacьЛи oнa Bo Bpel\,rяизМepения уlЛИ кaк-TorlитыBaЛaсЬ пpи oбpaбoтке.'2',) Aвтopoм aнaЛизиpyoтся сoвМeстI{opеIITгeнoBскиeсПeщpы пoгЛoщeния' изМеpенныеспoМoщЬIo пoлнoгo кBaнтoBoгo Bыхoдa BIIeшнeгo фoтoэффeкгa, и фoтoэлeкTpot{ныесПеrrгpывaлeнтнoй30ны' изN{eprнныедля Sioz пpи вoзбyж.цaющейэнepГии 1486,6 эB идля Alzoз пpи энrpгии 700 эB.

Пpи этoм глyбиньl фopмиpoBaни'IcпеКгpoв пoгЛoще}IиJIи фoтоэлектpoнныx спrктpoB мoгyт зaмrтнo paзличaTься' B сBязи о че}l щебyютоясoBМeотнoгoдoпoЛнитеЛЬныекoМмeнTapиипo пoBoдy кopprlсгI{oсTиПpе.цсTaBЛeннoгoaнaлизa.3) Bo втopoй чaсти тpeтьей глaBЬIaBтopoIvlпpoвo.цитсяoценкa шиpинЬIзaпprщеннoй зoньIT-Alzoз и aм-Alzo3 пfгеМ aппpoксиМaции скaЧкa фoнa неyпpyгo paссеянныx olsфoтoэлекгpoнoв фyнкциeй видa y=a(Е-Еc)b(с. 99). Пpи этoм было пoлщrнo знaчrниепoкaзaTeJIястепени b:0.75, B тo Bpемя кaк .цJIяпpяМoзoннoгo диэлектpикa .цaнньIйIIapaI\,rеTpдomкен быть paвен 0.5, кaк сaм aBтop и yпoМинaеT .цurЛеe.oстaетсянlпoнятным'пoчrмyзнaчrние пapaМETpa bнебьlлo фиксиpoвaнo paBнЫМтropeтичoскoмy0,5.4) B пoсЛrднеМ Пo.цptвделr тpетьей Чaсти щетьей ГЛaBы пpeдсTaBЛeны prзyЛЬTaTЬIoПpе.цeлrни,IтoЛщин слoеB' oбpaзoвaнных paзнЫми сoе.цинeнИЯ\nуITИTaнac aToМaNdи''нaсToящий''кисЛopo,цaи aзoтa и сoсTaBIяIoщиxэлeктpoд TiN фис.

3.18, с. |20).PeзyльтaтпoЛ)п{rн спoМoщЬюaппpoксимaциитеopетиЧeскиN,rи криBЬII\,rизaвисиМocTейинтенсивнoстейсooTBетсTByIoщID(экспеpиме}rгuшьнЬIxфoтoэлекгpoнныxпикoB oT yглa эМиссии. К сoжaлeниIо'aBтop ниг.цeне yк:rзЬIBaеттoЧнoстЬ oпpeдrленияToлщин слoеB' xoTя эTo слrдoBaлoбы с.целaть.s)Есть нeкoтopые зaмeчaния пo oфopмлению paбoты. B paбoте сoдеpжиTоя некoTopoeЧиолo мeлкиx oпeЧaToк(нaпp.' }Ia сTp. 82, |03, B Пoдписи к pис. 3.5). Taюке стoитoтметиTЬ' чтo нaимеt{oBaнияoсeй нa всex гpaфикax B paбoте сдeлaны нa aнглийокoмязЬIкe.oтмeчeнныe зaМeчaния нe зaтpaгиBaIоT oснoBныx peзyльтaтoв и вьIBoдoB диссepTaциии нe снижaloт нay.lнoй знaчимoсти paбoты.-B,{исcepтaцияКoнaIшyкaA.C.пpeдстaBляeT сoбoйзaвеpшeнIryюнayЧнo-квaлификaциoннyю paбoтy пo aКгyaльнoй тeмe иссЛe.цoвaнияэлеКгpoнI{oгo и aToМнoгoстpoения нaнoслoeB Alzoз пpи кoнтaКге c TiN и диэЛrщpикoB Ha oсHoBе Sioz с цrЛЬюBЬlяснения oснoBньIx фaкгopoв, BЛияющиx Ha Bеличинy энrpгетичecкиx бapьepoв .цJIянocитeлей тoкa нa гpal{ицe .цaнныx oкси.цoBc дpyгиМи фyнкциoнaлЬными сЛoяMи.

B нейпoлy{ен pяд вшкньtx нayЧныx peзyлЬтaтoB'и BьIвo.цoB'кoтopЬIeв.Dкныкaк с нayЧнoй, тaк и спpaКгическoй тoчки зpения и пoзBoJlяIoTпpoдBинyTьсяB пoниМaции физики фopмиpoвaнияpaбoтьIизЛoженьIBэнepгетичeскиxбapьеpoвB систeМarсмeтaл.г/oкcи.ц.oснoвныe pезyЛЬTaTьI|7 пeчaтныx paбoтaх, B тoМ чиcлe в 7 отaтЬях B poцeнзиpyeМых нarlныxжyp}IaЛaхбиблиoгpaфичeскиxбaз дaнньтxWеb of Sсirnсе и Sсopus.Aвтopeфepaт .циcсepтaциипpaвиЛЬlto и пoлнo oTpa)кaетоoдepжaниедиссеpтaционнoйpaбoты.Пo oбъемy и opигинaльнoсти pезyЛьтaToв'дoстoBepнoсти' нaуlнoй и пpaктичeскoйзнaчимoсти выBoдoB fiиссepтaция Кoнaшryкa A.C. yДoвЛeтBopяеT BсеDr тpeбoвaниямкПoлoжении o пpисy)к.ценииуIеtIых степeней>>BAК MинooбpaзoвaнИЯ И НaУl.<иPФ (вpедaкции пoстaнoвЛенияПpaвrгелЬстBa PФ oт 24 cewrябpя201^Зг.

Nэ 842), пpeДъяBляемЬrмк кaн.ци.цaтскПм.ц]rссepтaцпям.Aвтop нeсoМнeнI{oзaслy)кивaeтпpисy)i(денияeмy щeнoйотепeни кaндиДaTa физикo-мaтeмaтиЧrскиx нayк пo опeциЕlЛьtloсTи0l.04.07 _ физикaкoнденсиpoBaннoгoоoсToяния.Paбoтa Кoнaшyкa A.C. дoклaДыBaлaсЬнa сeN{инapекaфедpыэкспеpиMентaльнoйфизикиCaнкг-Петеpбypгскoгo Гoсyдapствeннoгo Поли:гexниЧeскoгo yl{иBepоиTrтa' oтзЬIB бьrлoбсyждeн нa этoМ сrМиHapeи oдoбpен.Зaключeниeкflиссеpтaция Кoнalпyкa A.C. сooтBeтстByeтBсrМ тpeбoвaниям BAК, пpе.цъявЛяеМыМкaнДи.цaтскимдиссepтaцияМнa coиcкaниe уlенoй сTeпeникaнди,цaтaфизикo-мaтeМaTшIeскиxнayк' a ее aBTopкoнаrrryкAлeксей Cepгeевиu пo сoвoкyПнoстиBыпoлнeнных иссЛeДoвaниЙипoлr{eннЫx peзyлЬтaToB'tllсol,lнlннo' зaолy)киBarTпpисyx(.цrниященoй сTепени кaндидaTaфизикo-мaтеМaTичrокихнayк пo специaлЬнoсти 0l.04.07 _ физикa кoндrноиpoBaннoгoсoстoяния.-g-oтзыв вeдyщeй opгaнизaциинaдиосrpтaциIo Кoнalпyкa A.C.

<ИзyнeниеэлeКгpoннoгoиaтoмt{oгo сTpooния нaнoслoeB Alzoз пpи кoЕгaктe с TiN и .щrэлещpикoBнa ocl{oBе Sio2>>yгвeрxtдёH нa зaсeдaнии кaфедpы экспrpимeнтaльнoй физики Caнкг-Петepбypгскoгoпoлитexническoгo yниBepcитrтa Пeщa Beликoгo, пpoтoкoл Jt{!5 oт |7 янвapя 2018 гoдa.oтзывcoстaвил пpoфecсop кaфeдpы экспepимeкгaпьнoй физики, дoктopфизикo-мaтrмaтIтtrскиx нayк Ивaнoв Ba.цимКoнстaнтинoBI,Iч.Зaведyroщийкaфедpoйэкcпеpимeнтaгlьнoйфизики CПбПУ,нayк, пpoфeсcopдoкгop физикo-мaтеN{aтшleскиxЕ.Г. ArryшкинcкийCекpетapь кaфедpыЭкcпеpименгaльнoйфизики CПб[Ty,кaн.цидaтфизикo-мaтeмaтическIо(нayк' дoцентH.A. Кyзьминa|7 янвapя20l8 г.Cвeдeния oб Ивaнoвe Baдиме Кoнотaкгинoвичeloкгop физикo-мaтемaтичrскиxнayк пo спeциaльнoсти0 1.04.02.Пpoфecсop кaфeдpыэкспеpиN,Irнтaльнoйфизики Caнкг-Петеpбypгскoгo пoЛитexничecкoгoyниBеpситrтaПетpaBеликoгo,|9525I'Poссия, Caнкт-Петepбypг,yл.

Пoлитеxничeскaя,Д.29.Teлeфoн:8 (812) 5527790Е-mail : ivanov@physiсs.spbstu.ru.