0752-concl (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры), страница 3

// Биотехносфера. – 2015. –№. 6. –С. 41-47.3. Корляков, А. B. Актюаторы на основе ионных полимер-металлическихкомпозитов / А.В. Корляков, В.В. Лучинин, И.К. Хмельницкий // Нано- имикросистемная техника. – 2016. –T. 18. – №. 5.– С. 277-285.4.Асташенкова,O.Н.Механизмыформированиямеханическихнапряжений в плёнках карбида кремния и нитрида алюминия, полученныхмагнетронным методом / O. Н.

Асташенкова, А. B. Корляков // Современнаянаука: исследования, идеи, результаты, технологии. – 2014. – № 2. –C. 57-61.- официальный оппонент, кандидат технических наук, начальник отдела«Центр микросистемотехники» открытого акционерного общества «Авангард»,Дзюбаненко Сергей Владимирович, является ведущим специалистом в областипроектированиякомпонентовтехнологииизготовлениямикросистемнойтехники,ивконструкцийчастности,электронныхоснованныхнаповерхностной технологии микросистемной техники. Публикации оппонента поспециальности 05.27.06 – «Технология и оборудование для производстваполупроводниковых приборов, материалов и приборов электронной техники», вчастности, представлены в работах:1.

Dzyubanenko, S.V. Modeling of the kinetics of reactivediffusion of galliumin copper particles / S.V. Dzyubanenko, V.D. Lukyanov // Nanosysterns: Physics,Chemistry, Mathematics.–2015.–V. 6.–N. 3. –P. 332-345.2. Конаков, С.А. Влияние явления проскальзывания скорости на режимыработы и другие характеристики газового химического микрореактора / С.А.Конаков, С.В. Дзюбаненко // Нано- и микросистемная техника. – 2017. –№. 10. –C.

598-604.123. Korotkov, A. Fabrication and Testingof MEMS Technology BasedThermoelectric Generator / A. Korotkov, V. Loboda, S. Dzyubanenko, E. Bakulin //2018 7th Electronic System – Integration Technology Conference (ESTC), Dresden,Germany, – 2018.4. Bakulin, Е. Thermoelectric Peltier micromodules processed by thin-filmtechnology / Е. Bakulin, S. Dziubanenko, S. Konakov et al // Journal of Physics:Conference Series.–2018.–V. 1124.– P. 616-617.- ведущая организация – Акционерное общество «ГИРООПТИКА» −широко известна своими научными исследованиями в области разработкитехнологий и конструкций микросистемной техники (включая исследованиявлияния нелинейных эффектов на их технические характеристики), а такжеразрабатываетисерийнопроизводитизделиянаосноветехнологиимикросистемной техники. Основные публикации по специальности 05.27.06 –«Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов,материалов и приборов электронной техники», в частности, представлены втекстах работ:1.

Popova, I. Comparative analysis of multi-mass high precision vibratoryMEMS gyroscopes / I. Popova, A. Lestev. M. Fedorov et al // Conference Smartsystems integration, Copenhagen, Denmark.–2015. – P.457-4602. Lestev, A.M. Combination Resonanses in MEMS Gyro Dynamics //Gyroscope andNavigation.–2015.

–V.6.–N. 1, – P.41-44.3. Черемухин,В.В. Конструктивные особенности микромеханическогогироскопа с повышенной вибростойкостью / Научная сессия ГУАП. Часть 1.Технические науки. Сборник докладов. –2014. – C.290-292.4. Лестев, А.М. Нелинейные явления в динамике микромеханическихгироскопов / А.М. Лестев, М.А.

Лестев // Научная сессия ГУАП. Часть 1.Технические науки. Сборник докладов.–2012. –С.184-185.13Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненныхсоискателем исследований:-Разработана конструкция и технология изготовления микромеханическихэлементов с двумя устойчивыми состояниями на основе внеплоскостныхплёночныхметаллическихкомпозиций,сформированныхметодоммагнетронного осаждения, и кремниевых структур, созданных методомглубокого плазмохимического травления;-Предложен новый подход к решению проблемы управления внутренниминапряжениями плёночных покрытий, основанный на изменении давлениярабочего газа в ходе магнетронного осаждения, а также предложен метод,позволяющий существенно повысить устойчивость стабильных положенийарочных упругих элементов, базирующийся на формировании локальныхконцентраторов напряжений;-Доказана возможность снижения значений управляющих нагрузок,необходимых для обеспечения перехода между устойчивыми состояниями, засчет резонансного возбуждения и смещения полосы пропускания нелинейноймикромеханической структуры.Научная и теоретическая значимость исследований обоснована тем,что:-Получены новые экспериментальные данные о влиянии давлениярабочего газа на внутренние напряжения металлических плёночных композиций,сформированных методом магнетронного напыления, а также определены ихмеханические параметры;-Предложен технологический метод формообразования аркообразныхмеханическихэлементов,основанныйнамагнетронномосажденииметаллических плёнок при варьировании давления рабочего газа;-на основе применения методов математического моделирования ирезультатов экспериментальных исследований установлены механические игеометрическиехарактеристики,оказывающиенаибольшееустойчивость стабильных состояний арочных микроструктур;14влияниена-Доказано, что применение модуляции толщины профиля аркообразногоупругого элемента приводит к повышению устойчивости стабильных состояний;-Получены экспериментальные данные о нелинейном динамическомповедении аркообразных структур и влиянии на него упругих свойствматериалов и внешних диссипативных факторов, таких как вязкоупругоедемпфирование, термоупругие потери;-Предложена новая схема управления переходами между устойчивымисостояниямимикромеханическойсистемысприменениемчастотноговозбуждения колебаний и смещения резонансной частоты постоянной нагрузкой.Значение полученных соискателем результатов исследования дляпрактики подтверждается тем, что:– полученные в ходе выполнения работы результаты использованы приразработке конструкции и технологии изготовления следующих поверхностныхи объёмных нелинейных микромеханических структур: оптоэлектрическийпереключатель для широкополосных систем связи (составная часть ОКР«Разработка и изготовление оптических модулей на основе оптических ключей,разветвителей и коллиматорных соединителей, выполненных на базе объемной иповерхностной технологии микромеханики»); контактное электромеханическоереле (составная часть НИР «Исследование возможности создания рядаэнергонезависимых модулей хранения информации, стойких к СВВФ, потехнологии LTCC»); вибрационный микромеханический гироскоп (ПНИЭР«Разработка конструкции и технологии производства микромеханическихчувствительных элементов для навигационных систем повышенной точности»);– Разработан комплекс методик определения упругих свойств плёночных иобъёмныхструктуриметодикизмерениянелинейныхдинамическиххарактеристик МЭМС;– Определены направления использования основных результатов работыпри разработке и создании энергонезависимых микромеханических систем идатчиков, основанных на потере механической устойчивости структурных слоёв.15Результатыработырекомендуютсядляиспользованиянапредприятиях электронной промышленности, занимающихся производствомразличных микроэлектронных приборов и/или изделий микросистемнойтехники, в том числе АО «ГИРООПТИКА» (Санкт-Петербург), ОАО«Авангард» (г.

Санкт-Петербург), АО «СКТБ РТ» (г. Великий Новгород), АО«Концерн «ЦНИИ «Электроприбор»»» (г. Санкт-Петербург), АО «Ангстрем»(г. Москва, Зеленоград), АО «НПП «Радар ММС»» (г. Санкт-Петербург), ПАО«Микрон» (г. Москва, Зеленоград), ФГУП РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им.

Ю.Е.Седакова» (г. Нижний Новгород).Крометого,полученныерезультатыпредставляютинтересдляиспользования в НИИ и университетах, занимающихся исследованиями вобласти микросистемной техники, микро- и наноэлектроники, в частности вСанкт-Петербургском«ЛЭТИ»им.государственномВ.И.Ульянова,электротехническомСанкт-Петербургскомуниверситетегосударственномуниверситете, Физико-техническом институте им. А.Ф. Иоффе Российскойакадемии наук, Московском физико-техническом институте, НациональномисследовательскомуниверситетеМИЭТ,Томскомполитехническомуниверситете и т.д.Оценка достоверности результатов исследования выявила, что:- результатытеоретическихполученыисиспользованиемэкспериментальныхкомплексаметодик исследованиясовременныхизасчетприменения современного технологического и аналитического оборудования.- достоверностьполученныхрезультатовподтверждаетсявысокойповторяемостью результатов, отсутствием противоречий в выводах автора, атакже хорошей согласованностью всех полученных результатов как междусобой,такисопубликованнымидругимиавторскимиколлективамирезультатами, в тех случаях, когда такое сравнение представлялось возможным.Личный вклад соискателя состоит в:16в постановке цели и задач исследования, в выборе объектов и методовисследования; поиске и анализе литературных данных по теме исследования;изготовлении тестовых образцов нелинейных микромеханических структур ипроведении экспериментов по магнетронному осаждению металлическихпокрытый; проведении экспериментальных и теоретических исследованиймеханических свойств микроструктур и их статического и динамическогоповедения; обработке и интерпретации полученных экспериментальных данных;обсуждении результатов работы и подготовке публикаций по теме диссертации.Диссертационный совет считает, что диссертация Эннса ЯковаБорисовича представляет собой завершенную научно-квалификационнуюработу, которая соответствует критериям, установленным п.п.

9 – 14«Положения о присуждении ученых степеней», утвержденного постановлениемПравительства Российской Федерации от 24 сентября 2013 г. N 842(ред. от01.10.2018 N 1168), а именно содержит решение актуальных задач по разработкетехнологии изготовления и методов повышения устойчивости стабильныхсостояний микроструктур с двумя стабильными состояниями. Экспериментальноизучены механические характеристики плёночных структур, сформированныхмагнетронным осаждением, в зависимости от давления рабочего газа, иустановлены основные параметры, оказывающие доминирующее влияние наустойчивость стабильных состояний. Полученные результаты были успешноапробированыприизготовлениинесколькихустройствмикросистемнойтехники.Автор диссертационной работы, Эннс Яков Борисович, заслуживаетприсужденияискомойстепеникандидататехническихнаукпоспециальности 05.27.06 – «Технология и оборудование для производстваполупроводников, материалов и приборов электронной техники».При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве18 человек, из них 5 докторов наук по специальности рассматриваемойдиссертации, участвовавших в заседании, из 23 человек, входящих в составсовета, проголосовали:17.