0752-concl (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры)

ЗАКЛЮЧЕНИЕДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТАД 212.229.02, СОЗДАННОГОНА БАЗЕФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО АВТОНОМНОГООБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ«САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТПЕТРА ВЕЛИКОГО» МИНИСТЕРСТВА НАУКИИ ВЫСШЕГООБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИПО ДИССЕРТАЦИИНА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА ТЕХНИЧЕСКИХ НАУКАттестационное дело № ________________________решение диссертационного совета от 30.05.2019 г.протокол №25О присуждении Эннсу Якову Борисовичу, гражданину РФ,ученой степени кандидата технических наук.Диссертация«Исследованиепотериустойчивостидлянелинейноймикромеханической структуры» по специальности 05.27.06 – «Технология иоборудование для производства полупроводников, материалов и приборовэлектронной техники» принята к защите 21февраля 2019 года, протокол №22,диссертационным советом Д 212.229.02, созданным на базе федеральногогосударственногообразованияавтономногообразовательного«Санкт-ПетербургскийучрежденияполитехническийвысшегоуниверситетПетраВеликого» Министерства образования и науки Российской Федерации(ул.Политехническая, д.

29, г. Санкт-Петербург, 195251), приказ о созданиидиссертационного совета 816 н/к от 18.11.2013 года.Соискатель, Эннс Яков Борисович, 1990 г. рождения, в 2014 г. окончилФедеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшегопрофессионального образования «Новгородский государственный университетимени Ярослава Мудрого» (НовГУ), г. Великий Новгород, с присуждениемквалификациимагистрапоспециальности1210100«Электроникаинаноэлектроника». В период подготовки диссертации (2014-2018 гг.) обучался вочной аспирантуре на кафедре «Физико-химия и технологии микросистемнойтехники» института металлургии, машиностроения и транспорта федеральногогосударственногообразованияавтономногообразовательного«Санкт-ПетербургскийучрежденииполитехническийвысшегоуниверситетПетраВеликого». В 2018 году с отличием окончил аспирантуру по направлениюподготовки 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» (диплом №107824 3810368), по специальности 05.27.06 – «Технология и оборудование дляпроизводства полупроводников, материалов и приборов электронной техники».В настоящее время работает инженером в лаборатории наноэлектроникиФедерального государственного бюджетного учреждения высшего образованияинауки«Санкт-ПетербургскийнациональныйисследовательскийАкадемический университет Российской академии наук» министерства науки ивысшего образования Российской Федерации.Диссертация выполнена на кафедре «Физико-химия и технологиимикросистемнойтехники»институтаметаллургии,машиностроенияитранспорта Федерального государственного автономного образовательногоучреждении высшего образования «Санкт-Петербургский политехническийуниверситет Петра Великого» Министерства образования и науки РоссийскойФедерации.Научный руководитель – кандидат физико-математических наук,ПятышевЕвгенийНилович,заведующийнаучно-исследовательскойлабораторией «Нано- и микросистемная техника» объединенного научнотехнологическогоинститутафедеральногогосударственногоавтономногообразовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петербургскийполитехнический университет Петра Великого».Официальные оппоненты:1.Корляков Андрей Владимирович, доктор технических наук, директорнаучно-образовательного центра «Нанотехнологии», профессор кафедры микроинаноэлектроникиФедерального2государственногоавтономногообразовательного учреждения высшего образования Санкт-Петербургскийгосударственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им.

В.И.Ульянова»,г. Санкт-Петербург,2.ДзюбаненкоСергейВладимирович,кандидаттехническихнаук,начальник отдела «Центр микросистемотехники» открытого акционерногообщества «Авангард», г. Санкт-Петербург,дали положительные отзывы о диссертации.Ведущая организация - Акционерное общество «ГИРООПТИКА»(194044, г.

Санкт-Петербург, ул. Чугунная, дом14) в своем положительномотзыве, подписанном начальником отдела микросистемной техники ИвановымВладимиром Александровичем, заместителем генерального директора помикросистемной технике, кандидатом технических наук Фёдоровым МаксимомВячеславовичем, и утвержденном генеральным директором, Поповой ИринойВалерьевной, - указала, что диссертационная работа Эннса Якова Борисовичаявляется самостоятельной завершенной научно-квалификационной работой, вкоторой решена актуальная задача разработки конструкции и технологииизготовления нелинейных микромеханических структур и изложены научнообоснованные и экспериментально подтвержденные результаты и выводы.Полученные результаты обладают научной новизной и практической ценностью,их достоверность не вызывает сомнений.

Автореферат и опубликованные работыотражают ее основное содержание.Содержание диссертации соответствует п.1 и п.6 паспорта специальности05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников,материалов и приборов электронной техники».В отзыве подчеркнуто, что по научному уровню, полученным результатам,содержанию и оформлению диссертационная работа соответствует требованиям,предъявленным в п.п.9-14 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24сентября 2013 г. № 842 (ред. от 01.10.2018) к диссертациям на соискание ученойстепени кандидата технических наук. Автор диссертации, Эннс Яков Борисович,заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по3специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производстваполупроводников, материалов и приборов электронной техники».В качестве основных замечаний в отзыве отмечено:1.

Висследованииавторомиспользуютсянепрямыеметодыформообразования микромеханических элементов, что может приводить квысокой неоднородности их механических характеристик. Однако в работе вявном виде не представлена данная оценка, что имеет высокое значение дляприменения описанных технологических методов;2. Для сравнительной оценки применённых технологических методовуместно сопоставление с другими методами изготовления арочных структур, втом числе с изменением других параметров магнетронного напыления;3. Во второй главе диссертации детально описан метод управлениявнутренними напряжениями посредством изменения давления рабочего газа входе магнетронного напыления и проведено описание технологии изготовленияизделия в целом, при этом отсутствует её детальное описание;4. Автор рассматривает проблему устойчивости для бистабильной системына основе оценки «линеаризации» функции потенциальной энергии, при этомнепосредственно стойкости компонентов к ударным и вибрационным нагрузкамуделено мало внимания, что, безусловно, важно для исследуемых элементов;5.

В тексте присутствует ряд погрешностей редакционного характера, в томчисле, в некоторых случаях используются англоязычные подписи осей.Соискатель имеет 18 опубликованных работ, из них 18 по темедиссертации, в том числе 3 работы опубликованы в рецензируемых научныхжурналах, рекомендуемых ВАК РФ, и получено 2 патента РФ на полезнуюмодельНаиболее значимые работы:1. Залевская, В.А. Проектирование МЭМС-компонентов коммутационнойтехники / В.А. Залевская, П.Б.

Эннс, Я.Б. Эннс, А.В. Фёдоров, Н.М. Шлеенкова //Техника радиосвязи. –2014. –Т. 22. –№ 2.–С. 83-90.4Вклад Я.Б. Эннса – анализ литературы, теоретический анализ параметровМЭМС-компонентов, участие в обсуждении и интерпретации результатовэксперимента, подготовка текста публикации. (8стр.)2. Пятышев, Е.Н. Тонкоплёночный электромеханический оптический затвор /Е.Н. Пятышев, Я.Б. Эннс, Ю.Д. Акульшин, А.В. Одинцов // Нано- имикросистемная техника. –2018. –Т. 20.

–№ 10. –С. 625-632.Вклад Я.Б. Эннса – разработка технологии изготовления и изготовлениетестовых образцов, проведение экспериментов по изучению морфологии иупругих параметров плёнки, теоретический анализ и численное моделированиевлияния внутренних напряжений на кривизну поверхности плёнки, подготовкатекста публикации. (8стр.)3.

Эннс, Я.Б. Бистабильное микромеханическое реле на основе потериустойчивости нелинейных упругих структур /Я.Б. Эннс, Е.Н. Пятышев, Ю.Д.Акульшин, П.Б. Эннс// Нано- и микросистемная техника. –2018. –Т. 20,–№ 11. –С. 688-695.Вклад Я.Б. Эннса – разработка конструкции и технологии изготовлениябистабильногореле,изготовлениетестовыхобразцов,проведениеэкспериментов по измерению статических и динамических параметровмикромеханической системы устройства, разработка метода повышенияустойчивости стабильных состояний и метода управления микроприводом,подготовка текста публикации. (8стр.)4.

Пат. 173867 Российская Федерация, МНКG01C 19/5621 «Вибрационныйгироскоп LL-типа» / Акульшин Ю. Д., Казакин А.Н., Комаревцев И.М. и др.;заявитель и патентообладатель - ФГАОУ ВО "СПбПУ", N 2016149382; заявл.15.12.16; опубл. 15.09.17; Бюл. №26. –11 c.: ил.Вклад Я.Б. Эннса – разработка конструкции и технологии изготовлениявибрационного гироскопа с использованием нелинейных элементов и подготовкатекста заявки. (11стр.)5. Пат. 179133 Российская Федерация, МНК G01C 19/5621 «Вибрационныйгироскоп LL-типа» / Некрасов Я. А., Казакин А.Н., Комаревцев И.М.

и др.;5заявитель и патентообладатель - ФГАОУ ВО "СПбПУ".- № 2017146369;заявл.27.12.17; опубл. 28.04.18; Бюл. № 13.–15c.:ил.Вклад Я.Б. Эннса – теоретический анализ и численное моделированиевнедрённых конструктивных элементов, подготовка текста заявки (15стр.)На диссертацию и автореферат поступили положительные отзывы от:Ковалева Андрея Сергеевича (к.т.н., начальника лаборатории МЭМС ГНЦ РФАО«Концерн«ЦНИИ«Электроприбор»),МанойловаВладимираВладимировича (д.т.н., заведующего лабораторией «Автоматизации измеренийи цифровой обработки сигналов» Института аналитического приборостроенияРоссийской академии наук), Кондратьевой Анастасии Сергеевны (к.х.н.,заместителя генерального директора ООО «СНДГруп»), Яшанина ИгоряБорисовича (к.ф-м.н., главного научного сотрудника ФГУП «Российскийфедеральный ядерный центр – Всероссийский научно-исследовательскийинститут экспериментальной физики» «Научно-исследовательский институтизмерительных систем им.

Ю.Е. Седакова»), Тимошенкова Сергея Петровича(д.т.н., директора института «Нано и микросистемной техники»национальногоисследовательского университета «Московский институт электронной техники»(МИЭТ)), Капралова Геннадия Николаевича (к.т.н., генерального директораАО«Специальноеконструкторско-технологическоебюропорелейнойтехнике»), Амирова Ильдара Искандеровича (д.ф-м.н., заместителя директорапо научной работе Ярославского филиала физико-технологического институтаимени К.А. Валиева Российской академии наук).В отзывах указывается, что автором проведен анализ большого объемалитературныххарактеризуетсяиэкспериментальныхвысокимнаучнымданных,уровнем,представляемаяпрактическойработазначимостьюрезультатов и по своей новизне и актуальности соответствует требованиямВысшей аттестационной комиссии Российской Федерации.В отзыве к.т.н.

А. С. Ковалева содержатся следующие замечания:1.Отсутствуютвнятныеиллюстрации,поясняющиеаркообразного упругого элемента и особенностей его расчета;6конструкцию2. В автореферате приводятся графики теоретических зависимостей,однако отсутствуют аналитические выражения для их расчета;3. Рисунок 5б иллюстрирует существенное различие численного анализа отэкспериментальных данных, однако пояснений этого не приводится;4. Имеются неточности в употреблении терминов, затрудняющиепонимание. Например, на стр.16 указано, что «…потеря механическойустойчивостичерезнесимметричныеформыприводиткпоявлениюлинеаризации…».

Не ясно, про что ведется повествование.В отзыве д.т.н., доцента В. В. Манойлова содержатся следующиезамечания:1. В тексте автореферата остались недостаточно раскрытыми методы длярешения нелинейных эффектов;2. Из текста автореферата не ясно оценивались ли погрешностирезультатов, полученных при численном моделировании, влияние сетки, а такжестепень влияния параметров моделирования;3. Текст автореферата содержит ряд погрешностей стилистического иредакционного характера.В отзыве к.х.н. А. С.