0752-concl (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры), страница 2

Кондратьевой содержатся следующие замечания:1. На стр. 4-5 автором говорится об измерении упругих свойствнапылённых металлических плёнок и объёмных кремниевых балок и изучениивлияния структурных дефектов на них. Однако из текста автореферата не ясно,какиеаналитическиеметодикииспользовалисьдляоценкиструктурыформирующихся плёнок и балок;2. Вавторефератепредставленбольшойобъёманалитическихиэкспериментальных данных, однако отсутствует упоминание о погрешностяхприменяемых подходов.

Не мог бы автор их представить?В отзыве к.ф-м.н. И. Б. Яшанина содержатся следующие замечания:1. Из автореферата не совсем ясен переход между исследованиямиплёночных нелинейных микросистем к изделиям, выполненным по объёмнойтехнологии микросистемной техники;72. В автореферате обсуждается корреляция зависимости внутреннихнапряженийметаллическихплёнок, полученныхвходе магнетронногонапыления, от давления рабочего газа, однако не приводится достаточнойаргументации причины данного поведения;3. В автореферате не приведена аргументация выбора используемых дляизучения статического и динамического поведения геометрий прототиповдатчиков.В отзыве д.т.н.

С.П. Тимошенкова содержатся следующие замечания:1. Из текста автореферата не ясно, чем обусловлен выбор исследуемыхматериалов, а именно плёночной металлической композиции Cr–Cu–Cr;2. В автореферате приводится метод, позволяющий осуществить примагнетронном напылении контроль внутренних напряжений путём изменениядавления рабочего газа, однако не ясно оценивалось ли влияние другихпараметров магнетронного напыления и другие методы формирования плёнок;3. Втретьейичетвёртойглавеприводятсяметодыповышенияустойчивости стабильных состояний и методы снижения управляющегонапряжениямикромеханическойструктуры,выполненнойпообъёмнойтехнологии микросистемной техники, хотелось бы уточнить насколькоприменимыданныеметодыдляструктур,изготовленныхнаосновеповерхностной технологии микросистемной техники.В отзыве к.т.н. Г.

Н. Капралова замечания по автореферату отсутствуют.В отзыве д.ф-м.н. И.И. Амирова замечания по автореферату отсутствуют.Отзыв официального оппонента д.т.н., А.В. Корлякова, содержитследующие замечания:1. В основных разделах работы автор использует понятия «сжимающие» и«растягивающие» напряжения не в общепринятых в отечественной литературезначениях и, соответственно, знаках механических напряжений, что затрудняетвосприятие результатов исследований;2. В технологической части работы слабо отражено влияние другихважныхфакторов,кромедавления8рабочегогаза,наформированиемеханических напряжений в пленках Cr и Cu;3. Взаимовлияние образования дефектов в плёнке и изменение еемеханических характеристик.

Кроме установления корреляции желательноподтверждение их причинно-следственной связи;4. Нечёткость формулировок типа «сглаживание» и «линеаризация» всочетании с точно определёнными значениями относительно размеров балкиприводит к неоднозначным оценкам границ устойчивости и переключения.

Так,граница «линеаризации потенциальной энергии» оценивается при соотношенииразмеров 5,1 и 4,5 в разных местах автореферата и 4,75 в экспериментальнойчасти, и 5 ровно в выводах по 3 главе диссертации;5. Введённый параметр «относительная глубина потенциальной ямы» Rкак отношение значений энергии «первого максимума ко второму минимуму»(стр.

75) не вполне отражает понятие «глубина ямы» и вряд ли может бытьиспользован как «относительный коэффициент устойчивости» метастабильныхсостояний для механических систем.Официальный оппонент, д.т.н. А.В. Корляков, также отмечает, чтоуказанные замечания не задевают существа диссертации и не влияют на общуювысокуюоценкуполученныхсоискателемрезультатов.Содержаниеавтореферата диссертации и опубликованных работ отражает основныеположения диссертационной работы.

Диссертационная работа Эннса ЯковаБорисовича«Исследованиепотериустойчивостидлянелинейноймикромеханической структуры» представляет собой завершённую научноквалификационную работу, которая по критериям актуальности, степениобоснованностинаучныхсформулированныхдостоверностивположений,диссертации,результатовивыводовновизнеуровнюиирекомендаций,практическойрешенияценности,поставленныхзадачудовлетворяет всем требованиям ВАК РФ, предъявленным в пп. 9-11 раздела II«Положения о порядке присуждения ученых степеней» N 842 от 24.09.2013 (ред.от 01.10.2018N1168), а ее автор заслуживает присуждения искомой ученойстепени кандидата технических наук по специальности 05.27.06– «Технология и9оборудование для производства полупроводников, материалов и приборовэлектронной техники».Отзыв официального оппонента к.т.н., С.В. Дзюбаненко, содержитследующие замечания:1.

На рисунке 2.17 виден явный характер и общая тенденция изменениявнутренних напряжений от давления рабочего газа, однако график построен сиспользованием всего трёх точек. Возможно стоило более детально исследоватьданный вопрос;2. На странице 124 диссертации в таблице 4.1 приведены частотныехарактеристикиэкспериментальнорезонаторовисаркообразнымтеоретически.Следовалоподвесом,быполученныепояснитьпричинырасхождения в 5-7 раз показателей добротности резонаторов для сдвоенныхбалок и с модуляцией профиля балки, при одновременном совпадении этойвеличины для одной из балок. В таблице также не приведены величиныамплитуды колебаний, полученных теоретически.3.Приоформлениидиссертациииавторефератадопущеныграмматические и пунктуационные ошибки.

Например, в списке литературы непроставлены точки в конце ссылки.Указанные замечания носят уточняющий характер и не влияют на общуюположительную оценку диссертации.В заключении официальный оппонент, к.т.н. С.В. Дзюбаненко, отмечает,что диссертационная работа Эннса Якова Борисовича «Исследование потериустойчивости для нелинейной микромеханической структуры» являетсязавершённойнаучно-квалификационнойработой,котораяпокритериямактуальности, степени обоснованности научных положений, выводов ирекомендаций, сформулированных в диссертации, достоверности результатов,новизне и практической ценности удовлетворяет всем требованиям ВАК РФ,предъявляемым в пп.

9-11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24сентября 2013 г. № 842 (ред. от 01.10.2018 N 1168). Уровень задач, решённыхсоискателем, представляется соответствующим требованиям, предъявляемым к10диссертациям на соискание учёной степени кандидата технических наук.Содержание диссертации соответствует специальности 05.27.06 – «Технология иоборудование для производства полупроводников, материалов и приборовэлектронной техники».Автореферат и опубликованные работы достаточно полно характеризуютрезультаты проведённых исследований и отражают основное содержаниедиссертационного исследования.Диссертант, Эннс Яков Борисович, заслуживает присуждения ему учёнойстепени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 – Технология иоборудование для производства полупроводников, материалов и приборовэлектронной техники.Выборофициальныхоппонентовиведущейорганизацииобосновывается их компетентностью, высокой квалификацией, широкойизвестностью своими достижениями в отраслях науки, соответствующих темедиссертации, наличием публикаций в области рассматриваемых диссертантомвопросов и способностью определить научную и практическую ценностьдиссертационной работы, а именно тем, что:- официальный оппонент, доктор технических наук, директор научнообразовательного центра "Нанотехнологии", профессор кафедры «микро- инаноэлектроники» «ЛЭТИ», Корляков Андрей Владимирович, являетсяизвестным и авторитетным специалистом в области исследования методовосаждения и свойств тонкоплёночных покрытий для их применения в качествефункциональных элементов в изделиях микросистемной техники, а такжеявляется признанным специалистом в области разработки конструкции итехнологииизготовленияПубликацииоппонентапомикроэлектромеханическихспециальности05.27.06преобразователей.–«Технологияиоборудование для производства полупроводниковых приборов, материалов иприборов электронной техники», в частности, представлены работами:111.

Корляков, А. В. Разработка и исследование термомеханическогобиморфного микроактюатора / А.В. Корляков, А.П. Бройко, И.К. Хмельницкий идр. // Нано-и микросистемная техника. –2015. – №. 12. – С. 56-62.2. Корляков, А. В. Разработка микроактюаторов на основе злектроактивныхполимеров для биомиметических робототехнических систем / А.В. Корляков,И.К. Хмельницкий, А.П. Бройко и др.