0752-8-freview (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры)

Отзыв па автореферат диссертационной работы Якова Борисовича Эннса «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической струткуры», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06— Технология и оборудование для производства полупроводников. материалов и приборов электронной техники Амиров Ильдар Искандерович. доктор физико-математических наук, замести>ель директора по научной работе, Ярославского Филиала Федерального государственного бюджетного учреждения науки' Физико-технологического института им.К.А.Валиева Российской академии наук.

150007, г. Ярославль. ул.Университетская, д.21, тел.: (4852) 246552, Б-гпа!1: !!Лап>!ток'и. апйех,ги. Заместитель директора по научно работе ЯФ ФТИАН им К.А.Валиева РАН, д.ф.-м.н. И.И. Амиров 14.05.2019 Я, Амиров Ильдар Исканде данных в документы, связанные обработку. е своих персональных с и их дальнейшую В настоящее время в мире проводятся интенсивные исследования в области создания устройств и датчиков микроэлектромеханических систем (МЭМС) на основе элементов с нелинейными характеристиками, Поэтому диссертационная работа Я.Б. Эннса посвященная разработке конструкций, методов управления, технологии изготовления микромеханических структур с бистабильными состояниями является, несомненно. актуальной.

В работе были проведены теоретические и экспериментальные исследования нелинейного, неустойчивого поведения арочных структур. Исследования были проведены с использованием современных методов численного моделирования и экспериментальшях методик. На основе таких исследований была предложена новая схема управления перехода элементов МЭМС от одного устойчивого состояния к другому со значительным уменьшением напряжения срабатывания.

Было показано, что формирование необходимого арочного профиля балочных структур может быть достигнуто путем контролируемого управления нх внутренними напряжениями. Исследование выполнено на высоком научном уровне. Важно, что разработанные конструкции и технологии нелинейных микроэлектромеханических структур применены при изготовлении энергонезависимых оптоэлектромеханических переключателей и омических микропереключателей. Полученные результаты имеют болыпую практнческук> значимость. Материалы диссертации были опубликованы в трех статьях в журналах и представлены на многих конференциях. На основании представленных в автореферате результатов диссертационной работы можно заключить, что диссертация соответствует специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников. материалов и приборов электронной техники и критериям и п.9 «Положения ВАКО для диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук.

а ее автор Е!.Б. Энне заслуживает присуждения искомой степени по указанной специальности. .