0752-5-freview (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры)

ОТЗЫВ на автореферат диссертации Эннса Якова Борисовича «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры», представленной в диссертационный совет Д 212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — технология для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Диссертационная работа Эннса Я.Б., посвящена разработке конструкции, методов управления, технологии изготовления нелинейной микроэлектромеханической системы с бистабильными состояниями. Данное направление, имеет высокую актуальность для коммутационной и ВЧ компонентой базы. При этому особая важность создания микромеханических элементов с двумя устойчивыми состояниями является возможность их применения в жестких эксплуатационных условиях в сфере атомной и космической промышленности.

Это условие выделяет, исследуемые в научной работе, устройства от их полупроводниковых аналогов. Важно отметить, что разработанная автором технология изготовления и примененные технологические методы базируется на типовых технологических операциях электроники и микроэлектроники, что позволяет обеспечить внедрение результатов исследования на отечественном производстве и подтверждает научную и практическую значимость результатов диссертационного исследования Эннса Я.Б..

Автореферат выполнен на высоком профессиональном уровне в соответствии с требованиями к научной работе. Исследования были проведены с использованием современных экспериментальных методик и методов численного моделирования. Представленные автором результаты показали, что: формирование арочного профиля может быть достигнуто путем технологического управления внутренними напряжениями; механическая устойчивость стабильных состояний может быть увеличена путем использования локальных концентраторов напряжений, управляющее напряжение переключения между устойчивыми состояниями может быть снижено с использование предложенной схемы управления, Стоит отметить, что разработанные конструкции и технологические методы были использованы при изготовлении энергонезависимых спецстойких ячеек микромеханической памяти и омических микропереключателей.

Кроме того, автором детально рассмотрено применение данных нелинейных микромеханических структур с потерей устойчивости в качестве компонентов коммутационной базы. Генеральный директор АО «Специальное конструкторско-тех бюро по релейной т кандидат техническ Капралов Геннадий Николаевич о АО «Специальное к ическое бюр по релейной технике» Россия, 173021, г. Великий Новгород, ул. Нехинская, 55 тел. (816 2) 62-17-35; факс (816 2) 61-62-58 е-та11: ой1се®з)с1Ьг1.ги «В» мая 2019 г. Материалы диссертации были представлены на российских и международных конференциях и опубликованы в трех изданиях рекомендованных ВАК РФ. В целом работа производит впечатление завершенного труда, выполненного на высоком научном уровне и имеющего большие перспективы для промышленного применения.

Считаю, что диссертационная работа Эннса Якова Борисовича соответствует требованиям, предъявляемым ВАК РФ в пп. 9-11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. № 842 (ред. от 01,10.2018 М 1168) к диссертациям по специальности 05.27.06, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук. .