0752-3-freview (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры)

отзыв на авпгореферат диссергггагггги Эннса Якова Борисовича «Исследовангге попгери усгпойчивосгпи для нелинейной гиггкромеханггческой сгпрукпгурыгч предстсгвленной в диссертауггонный совгпп ггг212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по сггеиггагьносгпи 05.27.0б — технология для производсгпва ггогуггроводников, лгатериагов и приборов элекпгронной техники. Диссертационная работа Эннса Я.Ь.. посвящена разработке конструкции нелинейной микроэлектроягеханической системы и технологических методов ее формирования. Интерес к нелинейным микроструктурам, в частности к явлению потери устойчивости механических эггементов.

обусловлен особенностями их статического и динамического поведения, возможностью создания двух и более стабильных состояний за счет бифуркации механической системы. Определяющую роль в создании устройств на их основе имеют технологии формирования нелинейных микромеханических элементов, которые в настояшее время являются недостаточно разработанными, что сдерживает развитие данного направления. "Это доказывает безусловную важность проделанной исследовательской работы и актуальность темы диссертации. Работа выполнена на высоком экспериментальном и научно-техническохг уровне, обладает научной новизной и имеет большое практическое значение. Особенно стоит отметить большое количество экспериментальных исследований, хорошо согласующихся с результатами численного моделирования.

Диссертантом бьши разработаны технология изготовления и конструкции ряда микрос истемных устройств. основанных на потере механической устойчивости упругих элементов„с последующим их изготовлением. Н ходе экспериментов были определены механические параметры напьшяемых пленок, изучено динамическое поведение бистабильных микросистем, основанных на явлении потери устойчивости. Автореферат написан хорошим литературным языком и дос ваточно и;шюстрирован. Однако, автореферат не лишен ряда недостатков: Из автореферата не совсем ясен переход между исследованиями пленочных нелинейных микросистем к изделиям, выполненным по объемной технологии микросистемной техники.

В автореферате обсуждается корреляция зависимости внутренних напряжений металлических пленок. полученных в ходе магнетронного напыления от давления рабочего газа., однако не приводится достаточной аргументации причины данного поведения. В автореферате не приведена аргументация выбора исшгльзуемых для изучения статического и динамического повеления геометрий прототипов датчиков, В целом, несмотря на отмеченные недостатки, автореферат диссертации 3ннса Якова Борисовича свидетельствует о высоком научном уровне проделанной работы. и. несомненно.

удовлетворяет требованиям ВАК РФ. предъявляемым в нп. 9-11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. № 842 (рсд. от 01.10.2018 1( 1168) к диссертациям по специальности 05.27.06. а ес автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук. Яшанин Игорь Борисович, кандидат физико- математических наук, главный научный сотрудник, филиала Федерального государственного унитарного предприятия «Российский федеральный ядерный центр— Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики» «Научно-исследовательский институт измерительных систем им.

1О.Е, Седакова», 603951, Россия, г. Нижний Новгород, Бокс № 486, тел. (83!7 462-59-03, е-та~1: ъ?ы1заптГй тйз. ппою.т ???О»????СЬ .7??Цй, ??О~ь????В?Я~ 0 ????? з~? в? Подпись ФОО заверяю: Ученый секретарь филиала, ,.~санд1здат'' твхнических наук '( Г.В. Труфанова ть организации Федеральное государственное унитарное предприятие «Российский федеральный ядерный центр — Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики», Государственная корпорация по атомной энергии «Росатом», 607188, Нижегородская обл., г,Саров, проспект Мира, д.37 .