0752-1-freview (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры)

ОТЗЫВ на автореферат диссертации Эннса Якова Борисовича «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры», представленной в диссертационный совет Д 212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — технология для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, Диссертационная работа Эннса Я.Б. посвящена решению актуальной задачи современной микросистемной техники — разработке конструкции и технологии изготовления нелинейных микроэлектромеханическнх систем с двумя или более устойчивыми состояниями, В своей работе автор исследует процессы формообразования внеплоскостных пленочных и объемных микробалок, а именно арочных микромеханических структур, форма профиля которых влияет на статическое и динамическое поведение и механическую устойчивость конструкции.

Поставленная автором цель — разработка технологических методов изготовления подобных структур и создания на их основе устройств микросистемной техники представляется весьма актуальной для развития микромеханики. Это подтверждается серией НИР и ОКР, лежащих в основе данной работы, а именно разработками оптоэлектрических переключателей для широкополосной системы связи, контактных микрореле и вибрационных микромеханических гироскопов. Таким образом, следует отметить научную и практическую значимость данного исследования. В автореферате автор приводит широкий спектр экспериментальных и теоретических исследований, направленных на изучение процессов образования внутренних напряжений в пленках металлов, напыле нных магнетронным способом и выявления критериев нелинейного поведения арочных микроструктур.

На основе полученных результатов изготовлены и экспериментально исследованы прототипы устройств микросистемной техники. Кроме того, автор активно представлял результаты своей деятельности на всероссийских и международных конференциях и получил ряд патентов РФ. Содержание автореферата достаточно полно раскрывает цель работы, методики исследования и полученные результаты.

Однако к тексту автореферата имеется ряд замечаний и вопросов: — из текста автореферата не ясно, чем обусловлен выбор исследуемых материалов, а именно пленочной металлической композиции Сг-Си — Сг. — в автореферате приводится метод позволяющий осуществить при магнетронном напылении контроль внугренних'напряжений путем изменения давления рабочего газа, однако не ясно оценивалось ли влияние других параметров магнетронного напыления и другие методы формирования плйнок.

-в третьей и четвертой главе приводятся методы повышения устойчивости стабильных состояний и методы снижения управляющего напряжения микромеханической структуры, выполненной по объдмной технологии микросистемной техники, хотелось бы уточнить на сколько применимы данные методы для структур из~отов~~нных на ос~ове поверхностной технологии микросистемнОЙ техники. СДеланные замечаниЯ не снижают хОрошего впечатления От проделанной автором работы, и не умеиьша~от ценнос~и полученных результатов.

Р~бо~а выполнена на высоком научно-техническом уровне, достоверность результатов подтверждается их воспроизводимостыо, корреляцией экспериментальных и теоретических данных и сомнений не вызывает, Диссертационная работы Эннса Якова Борисовича удовлетворяет всем требованиям ВАК РФ, предъявляемым в пп.

9-11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. М 842 (ред. от О! .10.2018 Х 1163), а ее автор заслуживает присуждения учйной степени Кандидата техниче~ки~ наук по специальности 05,27.06 — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. мной Техники МИЭТ 1имошенков Сергей Петрович Подпись Тимоцзе1гкова Сергея Пе ича удостоверяю Ученый секрекарь ЬЩЭТ -:.,; Ларионов Николай Михайлович :~'~Ъ.

~У 124493 г. Зеленогркдгвтбсква, пл. Шокина, Д.1. МИЭТ, ИНМСТ. 8-495- 720-37-68, зр1®хп1ее.гп .