Сведения о результатах защиты (Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения)

ПРОТОКОЛ № 4-2018заседания диссертационного совета Д 212.157.06при ФГБОУ ВО «НИУ «МЭИ»от 07.06.2018 г.ПРИСУТСТВОВАЛИ:№Фамилия И.О.Ученая степень,шифр специальностив советеПримечание1.Мирошникова Ирина Николаевнад.т.н., 01.04.10председатель2.Гуляев Александр Михайловичд.т.н., 01.04.10зам. председателя3.Сарач Ольга Борисовнак.т.н., 01.04.10ученый секретарь4.Антонов Владимир Александровичд.т.н., 01.04.10член совета5.Арсеньев Павел Александровичд.т.н., 01.04.10член совета6.Астахов Владимир Петровичд.т.н., 01.04.10член совета7.Афанасьев Виктор Петровичд.ф.-м.н., 01.04.10член совета8.Балбашов Анатолий Михайловичд.т.н., 01.04.10 физ-матчлен совета9.Воробьев Михаил Дмитриевичд.т.н., 05.27.01член совета10. Воронков Эдуард Николаевичд.ф.-м.н., 01.04.10член совета11.

Григорьев Андрей Андреевичд.т.н., 05.27.01член совета12. Кулешов Валентин Николаевичд.т.н., 05.27.01член совета13. Мнацаканов Тигран Тиграновичд.ф.-м.н., 01.04.10 техн.член советад.ф.-м.н., 01.04.10член совета15. Мурашев Виктор Николаевичд.т.н., 05.27.01член совета16. Попов Анатолий Игоревичд.т.н., 01.04.10член совета17.

Ринкевичюс Бронюс Симовичд.ф.-м.н., 05.27.01 техн.член совета18. Царапкин Дмитрий Петровичд.т.н., 05.27.01член совета19. Чернояров Олег Вячеславовичд.ф.-м.н., 05.27.01 техн.член совета20. Шевалеевский Олег Игоревичд.ф.-м.н., 05.27.01 техн.член совета21. Шнитников Александр Сергеевичд.т.н., 01.04.10 физ-мат.член совета14. Морозова Наталия КонстантиновнаСостав диссертационного совета утвержден в количестве 24 человек. Присутствовалина заседании 21 человек.Начало заседания: 16-10, продолжительность: 90 мин.ПОВЕСТКА ЗАСЕДАНИЯ: Защита диссертационной работы Анурова АлексеяЕвгеньевича«Методымикроэлектроникииформированиямикросистемнойобъемныхтехникимикроструктуркосмическогоустройствназначения»,представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук поспециальности05.27.01–«Твердотельнаяэлектроника,радиоэлектронныекомпоненты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах».СЛУШАЛИ:Председателя диссертационного совета д.т.н., профессора Мирошникову И.Н.

опредставлении диссертационной работы к защите.Ученого секретаря к.т.н. Сарач О.Б. о представлении материалов личного деласоискателя.Доклад соискателя – Анурова Алексея Евгеньевича по теме кандидатскойдиссертации.Вопросы задавали:Члены диссертационного совета: д.ф.-м.н. Афанасьев В.П., д.т.н. Попов А.И., д.ф.м.н. Морозова Н.К., д.ф.-м.н.

Мнацаканов Т.Т., д.ф-м.н. Воронков Э.Н., д.т.н. АстаховВ.П., д.т.н. Шнитников А.С., д.т.н. Гуляев А.М.;к.т.н. Дидык П.И. (АО «Российские космические системы»).СЛУШАЛИ:Выступление научного руководителя – доктора технических наук Жукова АндреяАлександровича, начальника отдела АО «Российские космические системы».Ученого секретаря к.т.н. доцента Сарач О.Б.

о заключении организаций, гдевыполнялась работа (ФГБОУ ВО «Московский авиационный институт(национальный исследовательский университет)» и АО «Российские космическиесистемы»), об отзыве ведущей организации (Национальный исследовательскийуниверситет «МИЭТ», г. Москва), об отзывах, поступивших на автореферат.Ответы соискателя на замечания в отзывах ведущей организации и отзывах,поступивших на автореферат.Выступление официального оппонента – Одинокова Вадима Васильевича, докторатехнических наук, заместителя генерального директора по науке ОАО «Научноисследовательский институт точного машиностроения».Выступление официального оппонента – Обижаева Дениса Юрьевича, кандидататехническихнаук,заместителяначальникаотделанаучно-технологическогокомплекса нанои микротехнологий научно-исследовательского центрананотехнологий государственного научного центра РФ ФГУП «Центральный научноисследовательский институт химии и механики».Ответы соискателя на замечания официальных оппонентов.В дискуссии приняли участие: д.ф.-м.н.

Афанасьев В.П., д.ф-м.н. Воронков Э.Н.,д.т.н. Гуляев А.М., к.т.н. Басовский А.А. (АО «Российские космические системы»),д.т.н. Жуков А.А. (АО «Российские космические системы»).Выбор счетной комиссии: д.т.н. Гуляев А.М. – председатель комиссии, д.ф-м.н.Воронков Э.Н., к.т.н. Сарач О.Б. – члены комиссии.При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 21человека, из них 7 докторов наук по специальности 05.27.01 (технические науки),участвовавших в заседании, из 24 человек, входящих в состав совета, проголосовали:за 19, против нет, недействительных бюллетеней 2.ПОСТАНОВИЛИ:1.

ПрисудитьАнуровуАлексеюЕвгеньевичуученуюстепенькандидататехнических наук по специальности 05.27.01 – «Твердотельная электроника,радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника, приборы наквантовых эффектах» на основании защиты диссертации «Методы формированияобъемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемнойтехники космического назначения».2. Утвердить Заключение диссертационного совета по диссертации Анурова АлексеяЕвгеньевича.Председательдиссертационного советаД 212.157.06Ученый секретарьдиссертационного советаД 212.157.06Мирошникова Ирина НиколаевнаСарач Ольга БорисовнаЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.157.06НА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО БЮДЖЕТНОГООБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ«НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «МЭИ»МИНИСТЕРСТВА ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТАНАУКаттестационное дело № ________________________решение диссертационного совета от 07 июня 2018 г.

протокол № 4/2018ОприсужденииАнуровуАлексеюЕвгеньевичу,гражданинуРФ,ученой степени кандидата технических наук.Диссертацияустройств«Методымикроэлектроникиформированияиобъемныхмикросистемнойтехникимикроструктуркосмическогоназначения» в виде рукописи по специальности 05.27.01 – «Твердотельнаяэлектроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника,приборы на квантовых эффектах» принята к защите 26 марта 2018 протокол№ 3-2018диссертационнымсоветомД 212.157.06,созданнымнабазеФедерального государственного бюджетного образовательного учреждениевысшего образования «Национальный исследовательский университет «МЭИ»,МинистерстваобразованияКрасноказарменная, д.

14инаукиРФ,111250,г.Москва,ул.(приказ Минобрнауки РФ № 1777-765/1508 от02.10.2011 г.).Соискатель, Ануров Алексей Евгеньевич, 1986 года рождения, в 2009году окончил ФГБОУ ВО «Московский авиационный институт (национальныйисследовательский университет)».Освоил программу подготовкинаучно-педагогическихкадров васпирантуре ФГБОУ ВО «Московский авиационный институт (национальныйисследовательский университет)» в 2013 году.

В настоящее время работаетначальником цеха в АО «Российские космические системы», Госкорпорация«РОСКОСМОС».Диссертация выполнена на кафедре «Конструирование, технология ипроизводстворадиоэлектронныхсредств»ФГБОУВО«Московскийавиационный институт (национальный исследовательский университет)» и вАО «Российские космические системы», Госкорпорация «РОСКОСМОС».Научный руководитель – доктор технических наук Жуков АндрейАлександрович, начальник отдела АО «Российские космические системы».Официальныетехническихоппонентынаук,исследовательскийОдиноковоткрытоеинститутВадимакционерноеточногоВасильевич,обществомашиностроения»,доктор«Научно-заместительгенерального директора по науке, и Обижаев Денис Юрьевич, кандидаттехнических наук, государственный научный центр Российской ФедерацииФедеральное государственное унитарное предприятие «Центральный научноисследовательский институт химии и механики», заместитель начальникаотдела научно-технологического комплекса нано- и микротехнологий научноисследовательского центра нанотехнологий, дали положительные отзывы надиссертацию.Ведущая организация Национальный исследовательский университет«МИЭТ», г.

Москва в своем положительном заключении, подписанномдиректором института нано- и микросистемной техники МИЭТ докторомтехнических наук, профессором Тимошенковым С.П., профессором институтанано- и микросистемной техники МИЭТ доктором технических наук, доцентомКалугиным В.В. и утвержденном проректором по научной работе МИЭТдоктором технических наук, профессором Гавриловым С.А. указала, что новыенаучные результаты, полученные диссертантом, имеют существенное значениедлясозданияновыхисовершенствованиясуществующихустройствмикроэлектроники и микросистемной техники, выполненных на основеобъемных микроструктур, выводы и рекомендации обоснованы.Соискатель имеет 14 опубликованных работ,в том числе по темедиссертации – 9 работ, в рецензируемых научных изданиях – 2 работы.

Порезультатам работы получены 4 патента РФ. Основные научные результатыдиссертации опубликованы в рецензируемых научных изданиях.Наиболее значимые научные работы по теме диссертации:1.Ануров,А.Е.Анализсовременныхтехнологийобъемногомикропрофилирования кремния для производства чувствительных элементовдатчиков и МЭМС [Текст] / Л.В. Соколов, А.А.

Жуков, Н.М. Парфенов,А.Е. Ануров; Нано- и микросистемная техника, № 10, 2014. – с. 27-35.2. Ануров, А.Е. Влияние технологических параметров на свойствананоразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связаннойплазме [Текст] /А.Е. Ануров, А.А. Данилов, А.А. Жуков. Наноматериалы инаноструктуры-XXI, № 4, 2011. – с. 43-47.Патенты:3.Пат.2555891РоссийскаяФедерацияB81B7/04,B64G1/58.Микроструктурная многослойная экранно-вакуумная изоляция космическихаппаратов [Текст] / А.Е. Ануров, А.А. Жуков; заявитель и патентообладательАО «Российские космические системы» – № 2014129942/11; заявл.

22.07.2015;опубл. 10.07.2015. – 11 с.: ил.4. Пат. 2518283 Российская Федерация, H01L21/318. Способ осаждениянитрида кремния на кремниевую подложку [Текст] / Ануров А.Е., Жуков А.А.,Долгополов В.М.; заявитель и патентообладатель АО «Российские космическиесистемы» – № 2012153091/28; заявл. 07.12.12; опубл. 11.04.14, Бюл. № 16. – 8с.: ил.5.Пат.2623845РоссийскаяФедерация,H01L21/336.Способизготовления силового полупроводникового транзистора [Текст] / БасовскийА.А., Рябев А.Н., Ануров А.Е., Плясунов В.А.; заявитель и патентообладательГоскорпорация "Роскосмос", АО "Российские космические системы" – №2016127021; заявл.

06.07.16; опубл. 29.06.17, Бюл. № 19. – 10 с.: ил.6.Пат.2629926РоссийскаяФедерация,H01L21/768.Способизготовления сквозных металлизированных микроотверстий в кремниевойподложке[Текст]/А.Е. Ануров,А.А.Жуков,С.Г.Подгородецкий,Ю.М. Заботин; заявитель и патентообладатель АО "Российские космическиесистемы" – № 2016123687; заявл. 15.06.16; опубл. 04.09.17, Бюл. № 25. –5 с.: ил.Все представленные в диссертации положения, выносимые на защиту,были в полном объеме представлены в научных публикациях.Доля авторского участия соискателя в работах 2, 3, 4 составляет 75 %, вработах 1, 6 составляет 50 %, в работе 5 составляет 25 %.Диссертацияотвечаеткритериям,установленнымПоложениемоприсуждении ученых степеней, утвержденного постановлением ПравительстваРоссийской Федерации от 24 сентября 2013 г.