Неофициальный отзыв (Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения)
Описание файла
Файл "Неофициальный отзыв" внутри архива находится в папке "Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения". PDF-файл из архива "Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве НИУ «МЭИ» . Не смотря на прямую связь этого архива с НИУ «МЭИ» , его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Отзывна автореферат диссертации Анурова Алексея Евгеньевича«Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроникии микросистемной техники космического назначения»,представленной на соискание ученой степени кандидата технических наукпо специальности 05.27.01 — «Твердотельная электроника, радиоэлектронныекомпоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах»Актуальность данной работы связана с совершенствованием методовплазмохимического травления объемных высокоаспектных микроструктур в кремнии,полиимиде и методов осаждения слоев нитрида кремния.
Теоретическиеи практические результаты работы представляют интерес для разработчиков изделиймикро- и наноэлектроники и технологов соответствующих производств. Стоитотметить вклад работы в исследования процесса формирования сквозныхмикроотверстий в пластинах кремния и разработку технологии изготовления силовыхтранзисторов с вертикальным затвором.Анализ автореферата диссертации позволяет высказать следующие замечания:1. Не приведено математическое выражение и не проанализирована зависимость угланаклонастенкиканавкиприварьируемоймощностиВЧ-смещения,продемонстрированная в автореферате на рисунке 2.2.
Практически линейная зависимость скорости травления полиимидного слояот напряжения ВЧ-смещения, иллюстрируемая рисунком 4 в автореферате,математически не выражена, и соответствующая аппроксимирующая прямаяна рисунке не приведена.3. Не приведены результаты исследования стехиометрического состава по всейтолщине пленок, полученных разработанным методом при помощи процессаплазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы.4.
Не приведены результаты сравнения получаемых пленок с пленками нитридакремния, получаемыми осаждением из дихлорсилана и аммиака.Сделанные замечания не влияют на положительную оценку диссертации,которая полностью соответствует требованиям п. 9 «Положения о порядкеприсуждения ученых степеней», предъявляемым ВАК РФ к кандидатскимдиссертациям, а её автор, Ануров Алексей Евгеньевич, заслуживает присужденияученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 —«Твердотельнаяэлектроника,радиоэлектронныекомпоненты,микрои наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах».Инженер II категории,канд.
техн. наукСинев Леонид СтаниславовичОрганизация: Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийскийнаучно-исследовательский институт автоматики им. Н. Л. Духова» (ФГУП «ВНИИАим. Н. Л. Духова»)Адрес организации: 127055, Москва, ул. Сущёвская, д. 22Телефон: +7 499 972-84-99 доб. 12-09E-mail: mailbox303@vniia.ruweb-сайт: www.vniia.ruПодпись Синева Леонида Станиславовича заверяюНачальник отделаВоронин Андрей Александровичкадровогоделопроизводства2018 г.и подбора персонала.
