Неофициальный отзыв 3 (Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения)

на автореферат диссертации Анурова Алексея Евгеньевича «Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 Твердотельная электроника„ радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах Применение устройств микроэлектроники и микрос истем ной техники в условиях космического пространства предъявляет к ним повышенные требования в части расширенного температурного диапазона применения и использования материалов, слабочувствительных к дестабилизирующим факторам космического пространства. Это требует разработки новых или совершенствование существующих конструкций и методов их изготовления.

В этой связи диссертационная работа Анурова А. Е. «Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения» является, безусловно„актуальной. Основная цель диссертационной работы заключается в исследовании и разработке технологий формирования объемных микроструктур для микросистемной техники космического назначения. Для достижения поставленной цели автором: выявлены конструктивные и физико-технологические ограничения при формировании объемных микроструктур силового транзистора, электровакуумной изоляции космических аппаратов и Ы%-фильтра; - исследованы и разработаны плазменные методы формирования объемных микроструктур указанных приборов; исследована и разработана технология плазмохимичес кого осаждения малодефектных пленок нитрнда кремния; разработаны новые конструкции и маршруты изготовления силового транзистора, электровакуумной изоляции космических аппаратов и Ы%-фильтра. Новизна диссертационной работы заключается в следующем: исследованиы технологии получения малодефектных пленок нитрида кремния с требуемой величиной адгезии слоев; исследованы характеристики МОП-транзистора в зависимости от технологических режимов формирования; исследованы технологические режимы формирования волноводов Я%- фильтров, позволяющие снизить вероятность отказов; - предложена новая конструкция экранно-вакуумной изоляции, позволяющая снизить на 15-20;4 скорость изменения температуры космического аппарата.

Теоретическая и практическая значимость работы заключается разработке новых конструкций и технологий устройств космического применения, таких как силовой транзистор с вертикальным затвором, экранно-вакуумной изоляции космических аппаратов, Ы%-фильтра. Главный специалист КБ-5, канд. техн. наук по специальности 05,11.14 — Технология приборостроения В.Е. Пауткин АО «НИИФИ», г. Пенза, 44002б, ул. Володарского, 8/10, тел: (8412) 56 04 47, е-тай: тес!а!ЯВГ~~и Пауткин Валерий Евгеньевич Подпись В,Е. Пауткина верна И.о. начальника отдела но-работе с персоналом АО «НИИФИ» ~2 3 .,~," '.~ д' .В.

Скляренко К числу недостатков автореферата можно отнести неполное описание зависимости величины подтрава под маску от толщины слоя полиимида при глубинном травлении структур экранно-вакуумных изоляций конструкций космических аппаратов. Отмеченный недостаток не снижают общей научной и практической значимости диссертационной работы. Судя по автореферату, можно отметить, что диссертационная работа Анурова А.Е. выполнена на высоком профессиональном уровне, отличается актуальностью и практической значимостью и удовлетворяет требованиям Министерства образования и науки РФ, предъявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук, установленными «Положениями о порядке присуждения ученых степеней». Ее автор Ануров А.Е. заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27,01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.

.