Неофициальный отзыв 2 (Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения)
Описание файла
Файл "Неофициальный отзыв 2" внутри архива находится в папке "Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения". PDF-файл из архива "Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве НИУ «МЭИ» . Не смотря на прямую связь этого архива с НИУ «МЭИ» , его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
ОТЗЫВ на автореферат диссертации Анурова Алексея Евгеньевича «Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — «твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах». Диссертационная работа посвящена исследованиям плазменных методов формирования объемных микроструктур и разработке на этой основе новых конструкций и устройств микроэлектроники и микросистемной техники косми~ес~ого назначения.
Данное направление является актуальным, поскольку разработанные методы формирования объемных микроструктур п03ВОляют создать новые микроэлектронные приооры с улучшенными техническими характеристиками. Автором разработаны силовой полупроводниковый транзистор, микросистемное устройство терморегуляции поверхности КА и СВЧ ЯФ-фильтр, что подтверждает универсальность разработанных методов при изготовлении приборов различных типов. Разработанные приборы имеют ряд преимушеств перед известными аналогами благодаря новым техническим решениям, защищенным патентами РФ. Автором диссертации предложены методы плазменного высоко аспектного травления кремния, а также метод плазменного ~низкотемпературного) осаждения мало напряженного нитрида кремния.
Важно, что предложенные методы и технологии реализованы на практике. Для исследований методов формирования объемных микроструктур было использовано оольшинство современных методов исследований (оптическая, электронная и атомно-силовая микроскопия, стилусная профилометрия, энсргодисперсионная спектрометрия, спектральная эллипсометрия и электрография), что обуславливает достоверность полученных результатов. В качестве недостатка следует отметить: в автореферате не обоснованы выводы по низкой дефектности пленок из нитрида кремния, а также по количественной оценке уровня остаточных механических напряжений в пленке.
Однако эти замечания не снижают общей высокой оценки диссертации. В целом, диссертация соответствует требованиям ВАК, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор, Ануров Алексей Евгеньевич, заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах». .вгенов А.В.
Филиал Открытого акционерного общества «1'аменское приборостроительное конструкторское бюро» в городском округе Жуковский. Адрес: РФ, 140180, г. Жуковский, ул. Туполева, д.18. Тел.: +7 (495) 55б50-82 Сайт: Ыр:/Мжч.п11аохи е-1тЕа: еуЛеоо еееи11ао ео Главный специалист„доктор технических наук, старший научный сотрудник, профессор МАИ Подпись Соколова Л,В. заверяю; Директор филиала АО «РПКБ» в городском округе Жуковский Леонид Ваваииирови«« Соиоаов «15» мая 2018 г.
ии ~~~ .