Отзыв ведущей организации (Маршрут автоматизации системного проектирования микрооптоэлектромеханических систем)

МИНОИ ИАУКИ РОССИИ федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образованна «Санкт-Петербургский государственный ЭЛЕКТРОТЕХИИЧЕСКИЙУНИВЕРСИТЕТ «ЛЭТИ» им. В,И, Ульинова (Ленина)» (сибгэту лэти») ул. Профессора Попова, 5, С.-Петербург, 19737б Тел.: (812) 34б-44-87 Факс: (812) 346-27-58 Е Ы: »Ы)ЯМюйхл ОКПО 02068339 ОГРН 1027804873381 ННН/КПП 7813045402/781301001 Г Учбному секретарю диссертационного Совета Д.212.125.02 МАИ А.Н.

Ульлшнной (МАИ) Волоколамское ш. дом.4, Москва АЗО, ГСП вЂ” 3 125993 У~У, гт Р 4.4»Ф Яо 474"''~Е42 А~' и »М"иЩ 65.32Й Сопроводительное письмо Направляем Вам отзыв ведущей организации на диссертаци(о Косолапова Ильи Алексеевича на тему". «Маршрут автоматизации системного проектирования микрооптоэлектро-механических систем», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.13.12 — «Системы автоматизации проектирования (в электронике, радиотехнике и связи)». Проректор по научной работе Шестопалов М.Ю.

миноврнлукироссии федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет <еЛЭТИн наа.В.И, Ульинона (Ленина)» (СПбГЭТУ есЛЭТИ») ув. Профессора Попова, в5, Санкт-нетареург, 197376 тееефон: (И2) 346-44-87 Факс: (812) 346-27-58 Еена(1: И!~дЬЯВ1189(ЬШ Ьаркч нвае.евсеева ОкпО 02068539 Огрн 1027806875381 Окнэд 80.3. 735 Октмо 40392000000 ИННД(ПП 7813015402(781301001 Г ,."' Утверзкдак»' ПРОП(фастОР ПО'ЯаУНИРП Ра(тотЕ к.т.~лоцевт .."=-у У3, ~'~~~ ~~~~5 ' № ~У7„.~ЩЯ;„9('.7 а №~~О ет ет',а№Г Г связи)».

Развитие микроэлектроники в области разработки датчиков, основанных на сочетании различных физических эффектов имеет особое значение, поскольку позволяет получить принципиально новые устройства, обладающие лучшими, по сравнению с существующими аналогами, харак'гернстиками и не подверженные различным негативным эффектам. На сегодняшний день экспериментальный подход к проектированию микрооптоэлектромеханических систем является неприемлемым из-за непредсказуемого возрастания количества необходимых экспериментальных образцов для получения необходимых данных. Поскольку существующие САПР не позволяют проводить математическое моделированИе механических, Оптических н электронных эффектов в едином цикле моделирования ведущей организации на диссертационную работу Косолапова Ильи Алексеевича на тему: «Маршрут автоматизации системного проектирования микрооптоэлектро-механических систем», представленну5б7 на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.13.12— «Системы автоматизации проектирования (в электронике, радиотехнике и необходима разработка маршрута автоматизации : проектирования микрооптоэлектромеханических систем, основанного на системном подходе.

Основная иа чнаи ель иссе та ии — разработка маршрута автоматизации системного проектирования микрооптоэлектромеханических систем, позволяющий на основе исходных параметров получить в качестве результата структуру микрооптоэлектромеханической системы и зависимость выходных характеристик от точности воспроизведеиия параметров механической подсистемы. Главным нап авлением весле ований, проведенных в диссертационной работе, является разработка маршрута автоматизации системного проектирования микрооптоэлектромеханических снстем. 1. Ак альность темы МЭМС и МОЭМ устройства базируются на использовании различных физических эффектов: электрических, оптических, механических и др. Экспериментальные исследования таких устройств связаны с большими временными затратами в связи со сложностью создания экспериментальных образцов, что делает разработку алгоритмов моделирования и автоматизированного проектирования подобных устройств актуальной задачей.

Разработка методов„позволяющих выполнить междисциплинарное моделирование МОЭМ устройств в одном программном комплексе позволяет снизить стоимость разработки микросистем за счет уменьшения материальных затрат на проведение экспериментальных исследований, а 'также повысить процент выхода годных микросистем в серийном производстве.

Однако применение существующих САПР для проектирования микросистем затруднено из-за больших вычислительных затрат, связанных с необходимостью решения систем уравнений большой размерности. На этапе проектирования сложных микрооптоэлектромеханических систем возникает основная проблема — невозможность моделирования оптических, механических и электрических эффектов в рамках одного программного комплекса, а так же невозможность проведения экспериментального исследования поведения разрабатываемого устройства в рамках одного программного комплекса. На данный момент решением данной проблемы может стать. разрабатываемый маршрут автоматизации системного проектирования микрооптоэлектромеханических систем, позволяющнй проводить моделирование разрабатываемого устройства вне зависимости от входных параметров данного устройства и получать в резупьтате структуру разрабатываемого устройства.

В связи с изложенным, диссертация, посвященная разработке маршрута автомативаиии гметемиого ироеатироввииа МОЭМС, явяяетов агпувчвиор и безусловно имеет существенное значение для науки и техники, экономики и обеспечения информационной независимости страны. 2. Новизна и ове енных иссле ований и пол ченных льтатов В настоящее время построение математической модели механической подсистемы осложняется тем, что получение математической модели на языке УНТ.-АМЯ возможно только при определенных геометрических размерах, построение математической модели механической подсистемы основано на матричном уравнении, включающем в себя частные случаи прохождения светового луча через интерферометр Фабри-Перо. В диссертационной работе автором сформулирована и решена важная задача разработки маршрута автоматизации системного. проектирования микрооптоэлектромеханических систем, позволяющих получить в результате маршрута получить структуру МОЭМС и зависимость выходных характеристик устройства от точности воспроизведения параметров механической подсистемы.

Предложена математическая модель оптической подсистемы, основанная на матричных уравнениях. К числу новых научных результатов, полученных автором, следует отнести: Маршрут автоматизации системного проектирования микрооптоэлектромеханических систем; Математическая модель оптической подсистемы, основанная на матричных уравнениях; Алгоритм получения математической модели механической подсистемы на языке формального описания УНШ.-АМБ; — Зависимость выходных характеристик устройства от точности воспроизведения параметров механической подсистемы. Результаты и выводы диссертации являются теоретической и практической основой для разработки новых и модернизации существуюЩих маршрутов и алгоритмов проектирования МОЭМС. 3.

Значение ез льтатов иссе та нонной аботы ли на Диссертантом предложен новый маршрут автоматизации системного проектирования микрооптоэлектромеханическнх систем. Разработанные математические модели, предложенные алгоритмы и маршрут позволяют сформировать научную базу для исследования влияния точности воспроизведения механической подсистемы на выходные характеристики. Необходимо также отметить, что сформулированными в диссертации выводы и рекомендации позволяют сократить время моделирования МОЭМС, 4. Значение з льтатов нссе та нонной аботы ли н оизво ства Полученные в работе результаты имеют высокую практическую ценность и способствуют использованию новых алгоритмических решений при проектировании микрооптоэлектромеханических систем.

Представленные в диссертации положения позволяют снизить временные и материальные затраты на разработку и проектирование микрооптоэлектромеханических систем. 5. Использование ез льтатов и выво ов исее та ии .Полученные результаты исследований использованы при выполнении исследований по грантам Российского Фонда Фундаментальных Исследований (гранты 10-07-0171а и 13-07-00073а), Полученные результаты внедрены в учебный процесс в МГТУ им.

Баумана. Результаты диссертационной работы могут быть использованы в деятельности предприятий микроэлектронного комплекса и других научно- производственных и промышленных предприятиях, выполняющих работы по разработке и серийному производству изделий микроэлектроники, в том числе в ОАО «РКС», ФГУП «ФНПЦ НИИИС им.

1О.Е. Седакова», а также в учебных курсах по специальностям микроэлектроника, технология полупроводникового приборостроения в МГТУ им. Н.Э. Баумана. б. Заключение о соответствии иссе та ии т ебоввииим БАК РФ к Результаты работы были апробированы на 7 международных и всероссийских конференциях, ряде семинаров.

По теме работы опубликовано 11 печатных работ, в том числе 3 работы изданиях из перечня, утвержденного ВАК РФ для публикаций трудов соискателей ученых степеней, а так же 1 публикация включенная в индекс цитирования БСОР1Л В научных трудах Косолапова И.А. достаточно полно представлены направления и результаты его диссертационного исследования, Автореферат отражает основные научные положения диссертации и подготовлен в соответствии с требованиями ВАК РФ. 7. Замечания и не остатки Диссертация Косолапова И.А.

не свободна от ряда недостатков, как технического, так и методологического и оформительского характера. К наиболее существенным можно отнести: 1. Из текста диссертации не ясно, насколько можно распространить разработанные модели и методы на другие конструкции. Однако для каждой новой конструкции придется изменять матричные уравнения. в среде Ма6 аЬ и редактировать разработанную на языке АРШ, программу, что может представлять сложность для неопытного пользователя. 2.