Неофициальный отзыв 5 (Повышение импульсно-частотных, тепловых и инжекционных характеристик биполярных кремниевых структур методом радиационно-термической обработки)

отзыв на автореферат диссертации Лагова Петра Борисовича «Повышение импульсно-частотных, тепловых и инжекционных характеристик биполярных кремниевых структур методом радиационно-термической обработки», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника. радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах В настоящее время применение ускорителей заряженных частиц для проведения радиационно-термической обработки биполярных кремниевых структур является одним из наиболее перспективных научно-технических направлений. Проведенные в данной области исследования, а также полученные результаты внесут существенный вклад в развитие радиационно-технологических процессов, совершенствование традиционных приборов твердотельной электроники, а также в создание новых приборов па основе квантовых эффектов.

В связи с этими диссертационная работа Лагова П.Б, нацрввдецняя на развитие научно-технических основ совершенствования 'бййолярнвзх 'и биполярнгополевых кремниевых приборов, повышение их функциональных и эксплуатационных характеристик с применением радиационно-термических обработок на ускорителях заряженных частиц. представляется актуальной. Как следует из автореферата, работа отличается комплексным характером, глубокой проработкой физических и технологических аспектов рассматриваемой темы. При этом подход автора отличается оригинальностью: предложен новый способ протонной обработки полупроводниковых структур, сочетающий преимущества обработки протонами и электронами, что во многом обуславливает научную новизну работы.

Ключевой аспект практической значимости результатов работы заключается в использовании рекомендаций и предложений в разработке многофункциональной установки ВЕЬА на базе ЭЦР источника и ускорителя протонов. Данная установка предназначена для отработки технических решений по созданию компактных промышленных комплексов на базе линейных ускорителей протонов, в частности, для нужд электронной промышленности. Большое количество актов о внедрении результатов работы подтверждаю г высокую практическую значимость проведенного исследования, Достоверность результатов также не вызывает еомнейнй и обеспечив«ается применением как высококачественных образцов полупроводниковых структур, высокоточного измерительного оборудования, так и применением уникального ускорительного оборудования (и оборудования контроля дозиметрии пучка) ведущих российских научных организаций в области радиационных технологий и ускорительной техники.

Результаты работы достаточно полно отражены в публикациях ведущих российских и зар>бежных научных изданий (в том числе индексируемых в базах данных ЖеЬ оГ эс1епсе и Ясорпз), а также многократно докладывались на международных и российских конференциях. В рамках диссертационной работы получено достаточное количество патентов РФ на изобретения и ноу-хау. По автореферату можно выделить следующие замечания: 1.

~е совсем ясно, исходя из чего выбран диапазон энергий ионов при расчете зависимости среднего нормального пробега (рисунок 2) и как данная зависимость соотносится с параметрами адаптированных моделей транзисторных структур для моделирования радиационно-термической обработки. 2. Вероятно, не корректна подпись к рисунку 4, поскольку представленная зависимость характеризует «отношение потерь энергии на структурные повреждения в объеме кремния к потерям энергии в диоксиде кремния» 1как следует из текста автореферата — стр. 15), а не «отношение ионизации защитного диэлектрика к структурным повреждениям в объеме».

3. Из теста автореферата не ясно, за счет каких конструкторско-технологических решений в предлагаемом компактном ускорителе протонов будет обеспечиваться площадь обработки не менее 150х150 (200х200) мм' при использовании пучка протонов с энергией 1-10 МэВ и флюенсе 5.10 -5 10ы см . 4. В тексте автореферата имеется некоторое количество опечаток и озпибок пунктуационного характера!например — стр. 4, 26).

Указанные замечания не уменьшают научную и практическую ценность проведенного исследования. В целом, считаю, что диссертационная работа являе'гся законченным научным исследованием, по своей структуре и содержанию отвечает критериям Полозкения о порядке присуждения ученых степеней, а ее автор, Лагов Петр Борисович, заслуживает присуждения ученой степени доктора технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. Доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой «Нано- и микроэлектроника», Федерально~о ~ осударственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «Пензенский государственный университет». 440026, Пенза, улица Красная 40, корпус 8 тел.: 8 (8412) 36-82-61 е-та!1: папо-ппсгоГа~ша!!.гп Аверин Игорь Александрович 09 января 2018 г.

Ученый секретарь ученог ФГБОУ ВО «Пензенский к.т.н., доцент О.С. Дорофеева .