Отзыв оппонента (Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники)

ОТЗЫВ официального оппонента, кандидата технических наук, доцента кафедры «Радиоэлектроника, телекоммуникации и нанотехнологии» федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «Московский авиационный институт ~национальный исследовательский университет)» Васина Владимира Анатольевича на диссертацию Матвеева Егора Владимировича «Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники» представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06— 'Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Диссертационная работа соискателя посвящена изучению пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники.

Подробно исследованы, смоделированы и рассчитаны конструкции пьезокорректоров, пьезосканеров, пьезонасосов и пьезогироскопов. Перед исследователем была поставлена задача разработки методик расчетов многослойных пьезоустройств, обладающих высокой точностью и воспроизводимостью перемещений, энергоэффективных и устойчивых к внешним температурным, электромагнитным и другим видам воздействий. Представленная диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения. Во введении обозначены основные пункты, необходимые для диссертации — объект и предмет исследования, цель работы и т.д.

В первой главе соискателем проведен аналитический обзор современного положения дел в области пьезотехники, применений пьезоустройств и способов их расчета. Во второй главе представлены разработанные и протестированные автором методики расчета многослойных пьезопреобразователей с переменной жесткостью.

Рассмотрены математические модели дисковых, прямоугольных и трубчатых пьезоприводов. В третьей главе приведены практические примеры использования разработанных методик для расчета конкретных устройств оборудования. В четвертой главе подробно рассмотрено моделирование многослойных пьезоприводов для термокомпенсации оптических резонаторов в ходе совместной научноисследовательской работы с АО «НИИ ПОЛЮС им. М.Ф. Стельмаха», где результаты были внедрены в производство и где был получен акт использования результатов. Отмечено, что полученные результаты позволили на практике повысить процент выпуска датчиков с длительным временем работы с 15% до 60',4.

Автор рассматривает в работе только изгибные пьезоприводы. Аналитический расчет в большинстве случаев строится на основе плоской задачи теории упругости для всех видов пьезоприводов с решением частного случая уравнения Гука-Дюгамеля-Неймана. Расчет методом конечных элементов производится на отечественном программном обеспечении АРМ %1пМасЫпе (г. Королев). Экспериментальные исследования проводятся с помощью специально разработанного стенда„включающего сертифицированное оборудование, в частности, генераторы сигналов, осциллографы, высокоточный лазерный измеритель перемещений, машины для механических испытаний материалов.

В целом можно отметить, что работа выполнена на высоком уровне, но имеется несколько недостатков: 1. Во введении заявлено, что изгибные пьезоприводы позволяют достичь наибольших перемещений среди всех форм пьезоприводов. Это не совсем так — существуют конструкции на основе продольных пьезоприводов (т.н. амплитудные усилители перемещений) типа Моопеу и СуптЬа1, которые за счет использования вспомогательных механизмов позволяют достичь величин перемещений в разы больше простых изгибных пьезоприводов.

2. В разделе 1.2.1. литературного обзора приведены пьезоприводы систем микроперемещений, которые относятся к пакетным приводам с продольными деформациями„которые не входят в круг устройств, описываемых с помощью разработанных методик, 3. Не совсем ясно отмечено преимущество разрабатываемых методик по сравнению с расчетами методом конечных элементов пьезоэлектрических устройств, например, в АЯКУЧО.

Не приведено сравнение результатов, полученных разными конечно-элементными пакетами. 4. В разделе 2.4 — Тестирование методик — для проверки корректности методики исследовано лишь по одной модели каждой формы прямоугольной, дисковой и трубчатой, что может быть недостаточным для полноформатного тестирования и составления статистики; В целом, несмотря на отмеченные недостатки, работа оставляет цельное впечатление, она хорошо структурирована, разделы логически следуют друг за другом, а результаты, полученные различными методами, хорошо согласуются друг с другом.

Таким образом, диссертационная работа соискателя Матвеева Е.В. «Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники» удовлетворяет требованиям пункта 9 «Положения о присуждении ученых степеней» ВАК Российской Федерации, предъявляемым к кандидатским диссертация, а ее автор, Матвеев Е.В. заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.

Кандидат технических наук, доцент кафедры «Радиоэлектроника, В.А. Васин телекоммуникации и нанотехнологии» МАИ / / Адрес: 125993, Волоколамское шоссе, д. 4, г. Москва, А-80, ГСП-3 Телефон: +7 905 540 2879. Е-та11: часципжа~а)1Ы.п~ Подпись Васина В.А. ут7а5стрверяМ...

Директор института Мф 111ЙИ;,";-'"', ',"..;;;.„:-.;., к.т.н., доц. П.А. Иосифов .