Отзыв на автореферат Прудник (Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке)

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ Б1ОДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ МЕЖВЕДОМСТВЕННЫЙ ЦЕНТР АНАЛИТИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ В ОБЛАСТИ ФИЗИКИ, ХИМИИ И БИОЛОГИИ ПРИ ПРЕЗИДИУМЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК МЦАИ РАН тел./факс. 8-499- ! 35-20-58, 8-499- ! 35-88-25 пса)гав®1р1гаи.ги !19333, г, Москва, В-ЗЗЗ, ул. Вавилова, д.44, кори.2 '~ . /'.2014 г. № 10222/~~' отзыв на автореферат диссертационной работы Фирсовой Н.Ю. «ЛОКАЛЬНЫЙ ОТЖИГ ИЗЛУЧЕНИЕМ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРА БЛИЖНЕГО ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА И НЕЛИНЕЙНО- ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА МИКРОСТРУКТУР ЦИРКОНАТАТИТАНАТА СВИНЦА НА ПЛАТИНИЗИРОВАННОЙ ПОДЛОЖКЕ», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27,06 (Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники) В настоящее время одним из активно развивающихся направлений является исследование свойств гетороструктур, содержащих сегнетоэлектрнческие слои.

Пленки цирконата-титаната свинца в силу сочетания уникальных диэлектрических, электромеханическ их, пироэлектрических и других характеристик занимают особое место. Одним нз важнейших технологических параметров при приготовлении пленок РЕТ является температура кристаллизации в фазу перовскита, которая достигает б00 — 700'С. Высокие температуры недопустимы для компонент микроэлектронных структур, изготовленных на кремниевой подложке. Кристаллизации пленок Р2'.Т под воздействием лазерного излучения уменьшают тепловое воздействие на подложку. Следовательно, проведенные в диссертационной работе исследования основных закономерностей процесса формирования локальных областей сегнетоэлектрической перо вскитной фазы в пленках РЕТ на платинированной кремниевой подложке являются В диссертационной работе подробно описаны различные варианты отжига сегнетозлектрического слоя после его нанесения на подложку, а также рассмотрены особенности взаимодействия фемтосекундного излучения с веществом с целью его использования для локального отжига и одновременной диагностики сегнетозлектрического состояния, Н.Ю.

Фирсовой предложена не только методика отжига пленок РХТ под воздействием лазерного излучения, но и методики диагностики процесса кристаллизации 11п-яа и ех-з1Ш) на основе генерации второй оптической гармоники. Как можно понять из автореферата, неясен выбор длин волн излучения фемтосекундного лазера 1800 нм и 1040 нм). Тем не менее, указанное замечание не снижает положительного впечатления от представленной работы. Хотелось бы отметить, что результаты работы в достаточной степени апробированы на множестве российских и международных конференциях и симпозиумах. Считаю, что представленная диссертационная работа Н,Ю.

Фирсовой удовлетворяет требованиям ВАК РФ к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06. В.Ф. Стенин Доктор технических наук, профессор, Главный научный сотрудник МЦАИ РАН 1119333, Москва, ул. Вавилова, д,44, корп 2.. Тел:. 89067705028, е-пза11: пыа1гапф1р1гап.га " "'орудии :=Ъ Подпись Н.В. Прудникова за1ЙЬ$~~:' Зам. директора МЦАЙРАН.::;;,".,::: "'. "';..:-' т ков Николай Владимирович .