Отзыв на автореферат 5 (Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке)

отзыв на автореферат диссертационной работы Фирсовой Н.Ю. «Локальный отжпг излучением фемтоеекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цнрконата-тктаната свинца на платнннзнрованной подложке», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27.06 (Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники) Тонкопленочные сегнетоэлектрические структуры составляют основу нового поколения устройств микро- н наноэлектроники и микросистемной техники.

Для перехода аморфной илн пирохлорной пленки в перовскитную (сегнегоэлектрическую) фазу еб подвергают отжигу. Классической технологией кристаллизации таких пленок является термический отжиг в печи. Лазерный отжиг применяется для локальной кристаллизации аморфных пленок в сегнетоэлектрическую фазу с целью минимизировать нагрев элементов, окружающих функциональную область. Диссертационная работа Фирсовой Натальи Юрьевны посвящена совершенно новой проблеме использования фемтосекундного лазера для кристаллизации сегнетоэлектрика, в ее задачи входило исследование основных закономерностей процесса формирования локальных областей сегнетоэлектрической перовскитной фазы в пленках цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке при многоимпульсном фемтосекундном лазерном отжиге.

В работе предложена оптическая схема для отжига пленок РХТ и методика диагностики кристаплизацин в процессе отжига, основанная на генерации второй гармоники. Комплекс исследований отожженных пленок (сканирование ГВГ, сканирующая и просвечивающая электронная микроскопия, атомно-силовая микроскопия пьезоотклика) показал, что отжиг под воздействием фемтосекундн ого лазерного излучения позволяет кристаллизовать пленки РХТ, и автором приводятся параметры лазерного излучения н длительность воздействия, приводящие к недеструктивной кристаллизации образцов. Использование в представленной работе современных методов и оборудования для получения и анализа экспериментальных материалов обуславливают достоверность представленных результатов.

В качестве замечания можно отметить то, что рекомендуемые автором параметры лазерного излучения и длительность воздействия, необходимые для кристаллизации, справедливы только для пленок той толщины, которая была исследована в работе. Следовательно, проведенные исследования были бы более полными, если бы результаты содержали и зависимость от толщины образцов.

В изложении работы автором использованы неудачные, на мой взгляд, термины — «одномодовый фемтосекундный лазер» и «более мягкая фокусировка», В описании экспериментальной установки нет информации о регистраторе второй гармоники. Тем не менее, указанные замечания не снижают положительного впечатления от представленной работы. По материалам исследований Н.Ю. Фирсовой опубликовано достаточное количество научных работ: 1 статья в журнале, входящем в Перечень ВАК РФ, 1 статья в зарубежном журнале, индексируемом в ФеЬ оТ Зс1епсе, 1 статья в сборнике трудов Международной конференции, индексируемом в Бсорпв, 1 статья в журнале, индексируемом в РИНЦ, 2 статьи в сборниках трудов международных конференций.

Представленная диссертационная работа удовлетворяет требованиям ВАК РФ к кандидатским диссертациям, а ее автор Н.Ю. Фирсова заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б (Технология и оборудование лля производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники).

Доктор технических наук, ведущий научный сотрудник лаборатории «Лазерных методов исследования вещества» Института автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения РАН б90041, г. Владивосток, улица Радио, дом 5 Тел:. 89502955575, е-гпа11: пзауог®1аср.бчо.ги Майор Александр Юрьевич .