Отзыв на автореферат 4 (Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке)

ОТЗЫВ на автореферат диссертационной работы Фирсовой Н.Ю. «ЛОКАЛЬНЫЙ ОТЖИГ ИЗЛУЧЕНИЕМ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРА БЛИЖНЕГО ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА И НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА МИКРОСТРУКТУР ЦИРКОНАТА-ТИТАНАТА СВИНЦА НА ПЛАТИНИЗИРОВАННОЙ ПОДЛОЖКЕ», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 (Технология н оборудование лля производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники) Цирконат-титанат свинца (ЦТС) входит в число материалов. широко используемых в микроэлектронике.

Связано это с сочетанием ряда серьезных преимутцеств по сравнению с другими сегнетоэлектрическими материалами. В частности. в тонких пленках ЦТС переключение состояния сегнетоэлектрической поляризации осуществляется при приложении малых электрических полей. Технология их нанесения на полупроводниковые подложки, совместимые с основными устройствами микроэлектроники, являются не только разнообразными, ио и относительно недорогими, пригодными для коммерческого производства. Более того, соединения ЦТС сохраняют свои сегнетоэлекгрические свойства в течении длительного времеви. Технология изготовления пленок ЦТС включает в себя стадию кристаллизацию в фазу перовскиту, в которой и проявляетоя сегнетоэлектрические свойства материала. Высокие температуры (в случае ЦТС температура кристаллизации может достигать 700 'С) недопустимы для компонент микроэлектронных структур, изготовленных на кремниевой подложке.

Предложенная в данной работе технолопи кристаллизации тонких пленок ЦТС под воздействием фемтосекундного лазерного излучения является практически значимой. Кроме того, практическая ценность работы дополнена методикой одновременной диагностикой данного процесса. В работе подробно описаны различные варианты отжига сегнетоэлектрического слоя после его нанесения на подложку, а также рассмотрены особенности взаимодействия фемтосекундного излучения с веществом с целью его использования для локального отжита и одновременной диагностики сегнетозлектрического состояния. Автором предложена не только методика отжцга пленок ЦТС цод воздействием лазерного излучения, но и методики диагностики процесса кристаллизации ((и-з(зп н ехкйш) на основе генерации второй оптической гармоники.

Представленные результаты позволяют говорить о пригодности методики для практического применения в производствевном (технологическом) процессе. В качестве замечания можно отметить следующее: 1. В автореферате не приведены нзоображения, полученные в пьезо-силовом режиме, в то время как подтверждение возможности переключения поляризации в отожженных пленках является принципиально важным результатом, особенно для рассматриваемого процесса кристаллизации в перовскитную фазу.

2, В работе фигурируют две аббревиатуры для исслелуемого материала: РХТ н ЦТС. Хотя обе аббревиатуры являются корректнымн и одинаково используются в научнотехнической литературе, нх совместное использование в тексте автореферата затрудняет восприятие н может ввести читателя в заблуждение. Указанные замечания, однако, не снижают положительного впечатления от представленной работы. Результаты работы в достаточной степени отражены в научной печати, проделанная работа изложена в автореферате подробно и ясно.

В целом, представленная диссертационная работа Н.1О. Фирсовой удовлетворяет требованиям ВАК РФ к кандидатским диссертациям, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06. Кандидат технических наук, доцент, кафедры «Материалов функциональной электроники» Национального исследовательского университета «МИЭТ», 124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1 Тель 89032979141, е-гпа11: я1 цзфпта11.ги Максим Викторович Силибин ,4".

уу..6ь Хл Подпись М.В. Силибина заверяю,, Н.М. Ларионов Ученый секретарь МИЭТ, к.т н, профессор .