Отзыв на автореферат 2 (Локальный отжиг излучением фемтосекундного лазера ближнего инфракрасного диапазона и нелинейно-оптическая диагностика микроструктур цирконата-титаната свинца на платинизированной подложке)

ОТЗЫВ иа автореферат диссертационной работы Фирсовой !!.!О. ИЛОКАЛЬНЫЙ ОТЖИ! ИЗЛУЧЕНИЕ!Я! ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРА БЛИЖНЕГО ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА Н НЕЛИНЕЙНО-ОПТИЧЕСКАЯ ДИАГНОСТИКА МИКРОСТРУКТУР ЦИРКОНАТА-ТИТАНАТА СВИНЦА НА ПЛАТННИЗИРОВАННОЙ ПОДЛОЖКЕЬ, представленной на соискание ученой степени канчидата технических наук по саециальгющ!н О5,27.06 (Технолог!!я н оборудование для производства полупроводников, материалов н приборов злсь граиной техники ! Диссертационная работа Н.Ю.

Фирсовой посвящена разработке методики локальной кристаллизации аморфных плщюк циркащпа-титщшта свинца ~РЕТ! пад дейс!вием фсм юсскуиднаго лазерного излучения ИК днааазощг, В рабгггс показано. гю иснальзОВаннс фсытасскуз!дгп1!х л!Ззсрньсг импульсОВ инфракраснОго диапазО1и1 для локального отвгнга пленок ру р даст ряд пренмтщсств по сравнению с известным раисе методом атягнга с помошыа видимых лазеров.

Орнгнналыщя идея использования области прозрачности пленки РЛ для нагрщга н криста!1лизацнн среды со стор!>ны падлоххки снимает ряд ограничений трвднцнониага лазерного атгкига, связанных с глубиной проникнавсция г!Сс!ар!гога излучгищя в пленку. Олины из наиболес вахснь!х преимуществ !гред13гасмой мс годики являеп я ВазмОхснО11 ь ЯОгп раня к!Вгс пц!гщзгщни на меньших масщтааах, что в болыгюй мсрс определяется маловым составам лазерного излз"!синя. Благодаря гауссавому распределению интенсивности в поперечном сечении пучка, одноро:щая его фокусировка возможна в меньшую область.

'!'аким образом, исследование ггрсдсзавггястся асзусловно акг)щгьным в нерву!о ггчсрсдь для области бурна развивающихся технологий микро н наноустройств. Диссертационную работу махаю смело назвать меггсзнсциплннарпой, так как для !юлу генных в ней новых научных рсзулгггвгогг бьщи обьелнпены щкие разные аблаем! как физика фазовых переходов и пелшгейпая оптика. Возмагкпость контроля процесса кристаллизации с помощью нелинейно-оптической диагностики Вьщеляется среди преимушеств предлагаемой методики. Одним из оригинальных результатов является устаиОвлснис ианбОлсс ВсраЯтнаго механизма криста!!ли!анни !Взрывная кристах1изация!, Огмсчсио, чта прн сверхмалых временах оикига (до ! с! процесс кристаллизации проходит двухсталийнгь с переходом От вгрьгвиой в самопадлергкивакннуктся Достоверность получеиньщ результатов не вызывает сомнений, так как автором представлен целых ряд взаимодополняющих исследований различными методами.

подтвсрягдакицих научныс вьшады. В рабате использовалась комбинация твердотельных методик — атомно-сплавай микроскопии. в там числе се пьсзочувствнгсльной модификации, просвечивающей злекгронной мнкроскошщ, а '!Вкяге генерации шарой щыическай гармоники в крис галлизовапных областях. Исследование отожженггг гх ООразцаа мстОдОьг атомно.сплавай ьщкрокапнн пьсзОатклика ПОдтВсрдила вазыаягпость переклгоченпе поляризации в пленках. Кроме того, наблюдалось согласование результатов микроскопии генерации второй оптической гармоники и атомно-силовой микроскопии ньезоотклика: нерея.гючасыыс области совпади па размеру и форме с областями, в которых происходит наиболее иптеисивщгя генерация ВГ. Следует отметить, что проведенные исследования именж существенн)зо практичеекуто значимость.

Так, например, предложенная оптическая схема позволяет не только проводить отжиг, по н одновременно дпагностировать ее кинетику по временной зависимости интенсивности оатнческой второй гармоники, Более таз о, показана достаточность совокупности методов нелинейно-оптической 1тихйи и ет-.оти диагностики для определения качества сегнетозлектрнческих микроструктур, В качестве замечания можно отметить то, что в авторефсрате не отражено влияние толпзины пленок на криетал.зизацн~. что было бы интересно исследовать как с научной, так и с практической точки з)и:иия.

Указанное замечание нс снижает общего положительного впечатления от представленной работы. Результаты работы в достаточной степени отражены в научной печати, проделанная работа изложена в автореферате подробно и ясно. В целом, представленная диссертационная работа 11.К). Фирсовой удовлетворяет требованиям ВАК РФ ь кандидатским диссертациям. а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по спепиальпости 05,27А)б. Кандидат физико-математических наук, научный еотрулпик Фелералыгого государственно~о бкьзжегног о образовательного учреждения выепьего образования еМосковского государственного университета имени М.В, Ломоноеовая 119991. ГСП»1, Москва, Ленинские горы,. 1 кора.

2 (физический факультет) Тела ~-71910)4171132, е-гпа11; ~3о1йоъафпапо1аЬ.р)зузлпзплп Подпись Т.В. Долговой заверяю. У ясный секретарь Ученого совета физического факультета, профессор .