Explorer 600 LT Flex_RU (Раздаточные материалы)
Описание файла
Файл "Explorer 600 LT Flex_RU" внутри архива находится в следующих папках: Раздаточные материалы, Вакуумные покрытия и оборудование. PDF-файл из архива "Раздаточные материалы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-химические основы нанотехнологий (фхонт)" из 4 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "физико-химические основы микро- и нанотехнологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Explorer 600 LT FlexCryofox Explorer 600 LT Flex — это компактнаявысоковакуумная установка для осаждения тонких пленок.Explorer 600 LT Flex идеально подходит для «Lift Off»процессов и общего испытания материалов.В технологии «Lift Off» требуется очень равномерное(прямолинейное) осаждение материала в процессе нанесенияпокрытия. Благодаря большому расстоянию между подложкой ииспарителем в Explorer 600 LT Flex достигается равномерноеосаждение материала.Технологический процесс осаждения основан наэлектронно-лучевом испарении материала с большогорасстояния и DC/RF распылении с близкого расстояния.
Этопозволяетсвободнокомбинироватьслои,наносимыераспылением и электронно-лучевым испарением, без нарушенияусловий вакуума. Explorer 600 LT Flex очень хорошо подходитдля реактивного и не реактивного процессов осаждения.Explorer 600 LT Flex — это универсальная установка дляприменения в производстве, научных исследованиях и опытноконструкторских разработках.Благодаря своей малогабаритной конструкции, этасистема легко транспортируется и интегрируется в средусуществующих лабораторий.
Она свободно проходит в проемшириной 850 мм и высотой 1900 мм.Все системы Cryofox легко интегрируются в средучистых комнат.Все системы Cryofox разрабатываются, проектируются иизготавливаются компанией Polyteknik AS.КонструкцияКонтроль процессаРасстояние между источником и подложкой:Полностьюавтоматическийконтрольэлектронно-лучевой источник: приблизительно 750технологического процессамм; DC/RF: приблизительно 100-150 ммПолностью автоматическое или ручное управлениеКамера из нержавеющей стали (по запросу:системойэлектрохимически полированная сталь)Очень удобный интерфейс управления системой наПодложкодержатель с возможностью наклона иоснове надежного ПЛК-управлениявращения для плоских подложек (пластин) – до 100 Контроль и управление системой через Интернетмм/4 дюймов(дополнительно)Охлаждение подложкиСистема протоколирования данных (дополнительно)Горизонтальный вращающийся центр для 3D Анализатор остаточных газов и ПК дляизделий без охлаждения (дополнительно)протоколирования (дополнительно)Нагрев подложки (дополнительно)Габаритные размеры:ПроцессВакуумный модуль:Электронно-лучевой источник: один или несколько1047 мм Х 816 мм Х 1848 мм (Г х Ш х В)тиглейМодуль управления:DC/RF магнетроны – круглые (2 шт.)1044 мм Х 624 мм Х 1848 мм (Г х Ш х В)Резистивный испаритель (дополнительно)Плазменная очистка (травление) в загрузочномОбеспечение процессамодулеВакуумный насос с масляным (жидкостным)Система ионного (ионно-лучевого) травленияуплотнением для низкого вакуума (по запросу:(дополнительно)безмасляный насос)Дополнительное оборудованиеКрионасос или турбомолекулярный насос дляЧиллер (по запросу)высокого вакуумаОдин или несколько регуляторов массового расходагаза для подачи газаВодяное охлаждениеГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫЭксклюзивный представитель в России ООО «ЭмЭсЭйч Техно», МоскваТел/факс: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25; Эл.почта: info@msht.ru; Веб-сайт:www.msht.ruPolyteknik AS, Moellegade 21, DK-9750 Oestervraa • Тел.: +45 9689 2800 • Факс +45 9689 2801 • www.polyteknik.dk • sale@polyteknik.dk.
