Discovery500-2solar(1)_RU (Раздаточные материалы)
Описание файла
Файл "Discovery500-2solar(1)_RU" внутри архива находится в следующих папках: Раздаточные материалы, Вакуумные покрытия и оборудование. PDF-файл из архива "Раздаточные материалы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-химические основы нанотехнологий (фхонт)" из 4 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "физико-химические основы микро- и нанотехнологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Discovery 500-2 SolarСистема Cryofox Discovery 500-2 Solar специально спроектирована для разработкисолнечных элементов путем осаждения тонкой пленки аморфного кремния на 3-дюймовыепластины или образцы аналогичного размера.Полностью автоматическая система предназначенадля эффективной разработки и опытного производствапартий солнечных элементов из аморфного кремния,включая задний и передний электроды в тонкопленочныхсолнечных элементах второго поколения.Эта система в стандартном исполнении оснащаетсяшестью 3-дюймовыми магнетронами. Два магнетронапостоянного тока служат для напыления заднего электродаи, если необходимо, дополнительного металлическогослоя, а четыре высокочастотных магнетрона для n-Si, i-Si,p-Si и TCO (ZnO и ITO).Расположение шести магнетронов в камере →КонструкцияКонтроль процесса Камера из нержавеющей стали Полностьюавтоматическийконтроль Объем камеры: 48 лтехнологического процесса Держательподложкисавтоматической Полностьюавтоматическоеилиручноесистемой позиционированияуправление системой Габаритные размеры: ОченьудобныйинтерфейсуправленияВакуумный модуль:системой на основе надежного ПЛК-управления1004 мм Х 816 мм Х 1848 мм (Г х Ш х В) Контроль и управление системой черезМодуль управления:Интернет (дополнительно)1044 мм Х 624 мм Х 1848 мм (Г х Ш х В) СистемапротоколированияданныхОбеспечение процесса(дополнительно) Анализатор остаточных газов и ПК для Безмасляный насос для низкого вакуума Крионасос или турбомолекулярный насос дляпротоколирования (дополнительно)Процессвысокого вакуума Три регулятора массового расхода для аргона, DC магнетроны, 2 шт., 3-дюймовая мишень,блок питания постоянного тока 1 кВтводорода и кислорода Водяное охлаждение ответственных деталей RF магнетроны, 4 шт., 3-дюймовая мишень,высокочастотный блок питания 1 кВттехнологического оборудования Нагреви/илиохлаждениеподложки Возможна плазменная очистка (травление)(дополнительно)Дополнительное оборудование ЧиллерГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫЭксклюзивный представитель в России ООО «ЭмЭсЭйч Техно», МоскваТел/факс: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25; Эл.почта: info@msht.ru; Веб-сайт:www.msht.ruPolyteknik AS, Moellegade 21, DK-9750 Oestervraa • Тел.: +45 9689 2800 • Факс +45 9689 2801 • www.polyteknik.dk • sale@polyteknik.dk.
