Discovery500(1)_RU (Раздаточные материалы)
Описание файла
Файл "Discovery500(1)_RU" внутри архива находится в следующих папках: Раздаточные материалы, Вакуумные покрытия и оборудование. PDF-файл из архива "Раздаточные материалы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-химические основы нанотехнологий (фхонт)" из 4 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "физико-химические основы микро- и нанотехнологий" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Discovery 500Cryofox Discovery 500 — это очень компактнаясистема для осаждения тонких пленок. Благодаря своеймалогабаритной конструкции, эта система легкоинтегрируется в среду большинства существующихлабораторий и чистых комнат, а также удовлетворяетбольшинство основных потребностей в области осаждениитонких пленок в исследовательских и университетскихлабораториях.Эта система может работать как в полностьюавтоматическом режиме, так и в режиме ручногоуправления. Использование этой системы дает операторуширокий диапазон возможностей для осаждения металлови неметаллов в хорошо контролируемых условиях.Для DC/RF распыления в этой системе встандартном исполнении устанавливаются либо до трех 4дюймовых магнетронов, либо до шести 3-дюймовыхмагнетронов.Расположение магнетронов в камере →КонструкцияКонтроль процесса Камера из нержавеющей стали Полностьюавтоматическийконтроль Объем камеры: 48 лтехнологического процесса Держательподложкисавтоматической Полностьюавтоматическоеилиручноесистемой позиционированияуправление системой Габаритные размеры: 1044 мм Х 624 мм Х 1848 Оченьудобныйинтерфейсуправлениямм (Г х Ш х В)системой на основе надежного ПЛК-управленияОбеспечение процесса Контроль и управление системой через Безмасляный насос для низкого вакуумаИнтернет (дополнительно) Крионасос или турбомолекулярный насос для Системапротоколированияданныхвысокого вакуума(дополнительно) Один регулятор массового расхода для аргона Анализатор остаточных газов и ПК для(дополнительные регуляторы по запросу)протоколирования (дополнительно) Водяное охлаждение ответственных деталей Процесс Магнетроны постоянного тока: макс.
три с 4технологического оборудованиядюймовой или шесть с 3-дюймовой мишенью Нагреви/илиохлаждениеподложки Блок питания постоянного тока 1 кВт с(дополнительно)распределительной коробкойДополнительное оборудование Возможна плазменная очистка (травление) ЧиллерГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫЭксклюзивный представитель в России ООО «ЭмЭсЭйч Техно», МоскваТел/факс: +7 (495) 722-12-90, +7 (495) 543-60-25; Эл.почта: info@msht.ru; Веб-сайт:www.msht.ruPolyteknik AS, Moellegade 21, DK-9750 Oestervraa • Тел.: +45 9689 2800 • Факс +45 9689 2801 • www.polyteknik.dk • sale@polyteknik.dk.
